一种半导体加工用除尘装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种半导体加工用除尘装置。


背景技术：

2.目前喷砂是二极管半导体整流心片生产环节必不可少的工序，是通过高压空气带动金刚砂对晶片表面进行处理，利用金刚砂的硬度高于晶片表面硅玻璃，通过高压空气将金刚砂粉尘形成粉尘流体，经特制管路及管口喷岀作用在品片表面，将片表面的磷硅玻璃及硼硅玻璃通过表面打磨的方式去除。在整个喷砂设备运作过程中会产生一些金刚砂粉尘通过排风系统排岀，如果直接排岀会对环璄造成粉尘污染，因此在金刚砂排风系统增加种除尘装置显得尤为重要,例如公告号为cn207372995u的中国专利文件公开了一种半导体晶片喷砂加工除尘装置，包括排风除尘管路和水循环系统，所述排风除尘管路下端设有进风口，排风除尘管路的顶端开口为出风口，进风口连接喷砂机排风系统，排风除尘管路包括由下至上的四级滤网，排风除尘管路底部设有初级沉淀池，该装置由于人工将初级沉淀池内的泥沙排出，费时费力，无法满足需求。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用除尘装置，用于解决现有的半导体加工用除尘装置需要人工将初级沉淀池内的泥沙排出的问题。
4.为了解决上述问题，本用新型提供一种半导体加工用除尘装置，包括除尘筒，所述除尘筒上设有进风口和排风口，所述进风口处连接有吸尘泵，所述除尘筒的一侧连接有沉淀池，所述除尘筒的顶壁吊设有喷淋组件，所述除尘筒内从上至下固定设有多个滤网，所述进风口的下方设有收集板，所述收集板的侧壁均与除尘筒的内壁贴合，所述收集板的底部固定设有第一压力传感器，所述收集板的底部固定设有导向杆，所述导向杆远离所述收集板的一端贯穿所述除尘筒的底壁且固定设有推杆，所述导向杆的中部一体化固定设有摩擦层，所述摩擦层的一侧抵触设有弧形卡块，所述弧形卡块的一侧固定设有滑杆，所述滑杆滑动于限位杆上，所述限位杆的一端固定于所述除尘筒的内壁，所述限位杆上套设有压簧，所述滑杆的一侧固定设有拉绳，所述拉绳远离所述滑杆的一端卷绕于卷绕电机的卷绳轴上，所述滑杆的一侧固定设有顶杆，所述除尘筒的内壁上对应设有第二压力感应器，所述除尘筒的内壁上开设有卡槽和排料口，所述卡槽内设有推板，所述推板的一侧与液压缸的输出端固定连接，所述排料口与所述卡槽以所述导向杆的中心轴线左右对称，所述排料口和所述卡槽的下方均固定设有挡块，所述除尘筒的一侧固定设有plc控制装置。
5.本实用新型提供的半导体加工用除尘装置，还具有以下技术特征：
6.进一步地，所述喷淋组件包括水泵和喷淋盘，所述水泵的抽水端与所述沉淀池的内腔连通，所述水泵的排水端与所述喷淋盘固定连接。
7.进一步地，所述滤网的网径从上至下逐渐递增。
8.进一步地，所述收集板的底部对称设有缓冲块。
9.进一步地，所述缓冲块的材质为橡胶。
10.进一步地，当所述缓冲块与所述挡块贴合时，所述顶杆与所述第二压力感应器抵触。
11.进一步地，所述第一压力感应器、所述第二压力感应器均与所述plc控制装置电性连接。
12.进一步地，所述喷淋盘的底部固定设有多个喷头。
13.进一步地，所述限位杆靠近所述导向杆的一端固定设有限位盘。
14.本实用新型具有如下有益效果：粉尘气体从所述进风口进入所述除尘筒内后，通过所述喷淋组件可对气体进行喷淋除尘，使得泥渣落至所述收集板上，当所述收集板上的泥渣量达到所述第一压力感应器的预定值时，所述卷绕电机立即被启动，通过卷绕所述拉绳，使得所述滑杆向压缩所述压簧的方向移动，从而使得所述弧形卡块与所述摩擦层分离，所述收集板开始下移，当所述收集板下落至所述挡块的顶部时，所述顶杆开始抵压所述第二压力感应器，所述液压缸立即被启动，通过推动所述推板以达到将所述收集板上沉淀的泥渣快速推至所述排料口的目的，省时省力。
附图说明
15.图1为所述半导体加工用除尘装置的整体结构示意图；
16.图2为图1中a处的局部结构放大示意图。
具体实施方式
17.下文中将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型，需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
18.如图1至图2所示的本实用新型的半导体加工用除尘装置的一个实施例中，包括除尘筒1，除尘筒1上设有进风口101和排风口102，进风口101处连接有吸尘泵2，除尘筒1的一侧连接有沉淀池3，除尘筒1的顶壁吊设有喷淋组件4，除尘筒1内从上至下固定设有多个滤网5，进风口101的下方设有收集板6，收集板6的侧壁均与除尘筒1的内壁贴合，收集板6的底部固定设有第一压力传感器61，收集板6的底部固定设有导向杆7，导向杆7远离收集板6的一端贯穿除尘筒1的底壁且固定设有推杆71，导向杆7的中部一体化固定设有摩擦层72，摩擦层72的一侧抵触设有弧形卡块8，弧形卡块8的一侧固定设有滑杆9，滑杆9滑动于限位杆10上，限位杆10的一端固定于除尘筒1的内壁，限位杆10上套设有压簧11，滑杆9的一侧固定设有拉绳12，拉绳12远离滑杆9的一端卷绕于卷绕电机13的卷绳轴上，滑杆9的一侧固定设有顶杆91，除尘筒1的内壁上对应设有第二压力感应器14，除尘筒1的内壁上开设有卡槽和排料口103，所述卡槽内设有推板15，推板15的一侧与液压缸16的输出端固定连接，排料口103与所述卡槽以导向杆7的中心轴线左右对称，排料口103和所述卡槽的下方均固定设有挡块17，除尘筒1的一侧固定设有plc控制装置18，具体而言，粉尘气体从进风口101进入除尘筒1内后，通过喷淋组件4可对气体进行喷淋除尘，使得泥渣落至收集板6上，当收集板6上的泥渣量达到第一压力感应器61的预定值时，卷绕电机13立即被启动，通过卷绕拉绳12，使得滑杆9向压缩压簧11的方向移动，从而使得弧形卡块8与摩擦层72分离，收集板6开始下移，当收集板6下落至挡块17的顶部时，顶杆91开始抵压第二压力感应器14，液压缸16立即
被启动，通过推动推板15以达到将收集板6上沉淀的泥渣快速推至排料口103的目的，省时省力。
19.在本技术的一个实施例中，优选地，喷淋组件4包括水泵41和喷淋盘42，水泵41的抽水端410与沉淀池3的内腔连通，水泵41的排水端与喷淋盘42固定连接。
20.在本技术的一个实施例中，优选地，滤网5的网径从上至下逐渐递增。
21.在本技术的一个实施例中，优选地，收集板6的底部对称设有缓冲块62。
22.在本技术的一个实施例中，优选地，缓冲块62的材质为橡胶。
23.在本技术的一个实施例中，优选地，当缓冲块62与挡块17贴合时，顶杆91与第二压力感应器14抵触。
24.在本技术的一个实施例中，优选地，第一压力感应器61、第二压力感应器14均与plc控制装置18电性连接。
25.在本技术的一个实施例中，优选地，喷淋盘42的底部固定设有多个喷头。
26.在本技术的一个实施例中，优选地，限位杆10靠近导向杆7的一端固定设有限位盘100。
27.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中心分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。