一种新型冷却装置的制作方法

1.本实用新型属于半导体制造和太阳能光伏电池制造领域，涉及一种新型冷却装置。


背景技术：

2.现有的气体、液体冷却结构大多采用风冷、水冷的结构形式，不能用于快速冷却腐蚀性气体的需求工况，而现有的高温腐蚀性气体冷却方式有限，大多采用石英盘管、石英盘管浴水冷、石英盘+风冷，金属盘管镀层+水冷、风冷等方式，但是存在石英易碎，冷却效果有限等缺陷，本实用新型有效地解决了这种问题。


技术实现要素：

3.本实用新型为了克服现有技术的不足，提供一种新型冷却装置。
4.为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种新型冷却装置,其特征在于：包括滤筒、滤芯和制冷系统，滤筒内部设置有至少一组用于安装滤芯的过滤腔，制冷系统控制滤芯以及过滤腔的温度，滤芯用于对气体或/和液体的冷却过滤。
5.进一步的；所述滤筒包括筒体、筒板和滤盖，筒体和筒板固设连接，滤盖与筒板固定连接，使过滤腔形成密闭的空间，筒体固设有与过滤腔连通的至少一组进气口和至少一组出气口，进气口、过滤腔以及出气口形成尾气和尾液的流通通道。
6.进一步的；所述滤筒的内表面设有滤筒涂层，滤筒涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质。
7.进一步的；还包括密封结构，密封结构包括密封圈，筒板或滤盖上固设有密封槽，密封圈安装在密封槽内，密封圈采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质。
8.进一步的；所述滤芯可拆卸安装在滤盖，便于安装拆卸以及维修和检修，滤芯的长度与筒体的长度相配，滤芯外表面固设有滤芯涂层，滤芯涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质。
9.进一步的；所述制冷系统包括制冷装置和散热装置，制冷装置对滤芯或/和滤筒制冷，散热装置用于制冷装置的散热，散热装置包括散热座，散热座通过固定板固定安装在滤盖上，散热座上固设有至少一组散热管道，散热管道的进口以及出口分别与散热进口以及散热出口连接，散热座上固设有腔体,制冷装置安装在腔体内，散热装置在散热管道内通入冷却介质。
10.进一步的；所述制冷装置包括半导体冷端和半导体热端，半导体热端安装在腔体内，散热装置通过冷却介质使半导体热端处于散热状态，半导体冷端设置在滤芯或/和滤筒，半导体冷端安装在滤芯的外表面或内部，或/和半导体冷端安装在滤筒的内表面，半导体冷端对滤芯或/滤筒进行冷却。
11.进一步的；还包括自动清洗装置，自动清洗装置包括清洗介质，清洗介质将滤芯或/滤筒收集的有害物质以及结晶物、杂质进行清理。
12.进一步的；还包括干燥装置，干燥装置使冷却装置在清洗或过滤后保持干燥状态。
13.进一步的；所述筒体和筒板一体成型，冷却介质采用液体、气体或两者混合物。
14.综上所述，本实用新型的有益之处在于：
15.1)本实用新型设计冷却装置对尾气和尾液进行冷却过滤处理，在对尾气和尾液冷却的同时收集有害物质以及冷却时产生的结晶物、杂质等，对泵起到关键性的保护作用，极大地延长了泵的维护周期。
16.2)、本实用新型在滤筒设计密封结构，保证滤腔的密封性。
17.3)、本实用新型的密封圈采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质、滤筒的滤筒涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质，滤芯的滤芯涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质，以确保在冷却过滤高温腐蚀性气体时密封圈、滤筒以及滤芯的耐受性。
18.4)、本实用新型的制冷装置采用半导体制冷原理对滤芯或/和滤筒进行制冷，散热装置对制冷装置进行散热，达到快速冷却的目的。
19.5)、本实用新型中滤芯可拆卸安装在滤盖，便于安装拆卸以及维修和检修，方便去除滤芯收集的有害物质以及冷却时产生的结晶物、杂质等，方便直接更换其中若干滤芯。
20.6)、本实用新型中冷却装置通过清洗介质进行自动清洗，可将滤芯或/滤筒收集的有害物质以及结晶物、杂质等自动清理，有害物质以及结晶物、杂质等和清洗后的介质排出至废气和废液收集装置，从而实现了冷却装置在线自维护功能以及杂质在线收集和自动清理功能。
21.7)、本实用新型的冷却装置可对真空系统产生的真空尾气和尾液中的有害物质进行冷却过滤，对泵起到了关键性的保护作用，极大地延长了泵的维护周期，也可对高温腐蚀性气体、特气、高温气体和液体、气液混合物、液体等流体进行快速冷却以及过滤，适用范围广。
附图说明
22.图1为本实用新型的流程图示意图。
23.图2为本实用新型的冷却装置示意图。
24.图3为图2中a-a的剖切示意图。
25.图4为本实用新型的冷却装置分解示意图。
26.图中标识：管道总路11、第一管道分路12、第二管道分路13、加热装置2、真空腔室3、冷却装置4、滤筒41、过滤腔411、出气口412、进气口413、筒板414、筒体415、滤盖416、密封槽417、滤芯42、密封圈44、固定板45、半导体冷端461、半导体热端462、散热座47、散热出口471、散热进口472、散热管道473、腔体474、泵5、第一管路31、第二管路61、第三管路62。
具体实施方式
27.以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况
下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
28.需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
29.本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后、横向、纵向
……
)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
30.实施例一：
31.如图1-4所示，一种新型冷却装置，包括冷却模组、泵5和清洗管道，冷却模组对尾气和尾液进行处理，清洗管道至少与泵5连通，清洗介质沿清洗管道通入泵5对泵5进行清洗。
32.本实施例中，清洗介质可采用气体，如氮气；或液体，如水，或者气液混合物。
33.本实施例的处理系统用于处理真空系统产生的真空尾气和尾液，特别是用于特气、腐蚀性气体、液体的处理，处理系统还包括废气和废液收集装置(图未显示)以及尾气和尾液收集装置(图未显示)，废气和废液收集装置主要收集对泵5清洗后的介质，废气和废液收集装置依据清洗介质的种类包括废气收集箱和废液收集箱，相应的，排污口包括分为废气排污口和废液排污口，尾气和尾液收集装置用于收集经净化处理的尾气和尾液，尾气和尾液收集装置也可根据需要气液分离收集。
34.本实施例中，冷却模组与真空腔室3连通，真空腔室3产生的尾气和尾液依次通入冷却模组和泵5进行净化处理，冷却模组、真空腔室3、泵5、废气收集箱和废液收集箱以及尾气和尾液收集装置之间通过管路系统连接。
35.管路系统至少包括第一管路31和第二管路61，第一管路31分别连通冷却模组的进口和真空腔室3的出口，真空腔室3产生的尾气和尾液通过第一管路31通入冷却模组进行净化处理；第二管路61分别连通冷却模组的出口和泵5的进口，经冷却模组处理的尾气和尾液通过第二管路61通入泵5，泵5的出口与尾气和尾液收集装置连通,净化后的尾气和尾液通入尾气和尾液收集装置。
36.清洗管道包括管道总路11和至少一组分路，分路包括第一管道分路12，第一管道分路12与第二管路61连通，泵5的出口与废气和废液收集装置连通，清洗介质依次沿管道总路11、第一管道分路12以及第二管路61通入泵5，清洗介质对泵5内部结构进行清洗以去除结晶物，提高了泵的维护周期，清洗后的介质通过废气排污口或/和废液排污口排入废气和废液收集装置。
37.处理系统还包括加热装置2,加热装置2安装在管道总路11，清洗介质经加热装置2处理，保持恒温或/和恒压状态，处理后沿管道总路11流通对泵5进行清洗，通过加热装置2的处理，提高了清洗介质对泵5的清洗效率。
38.处理系统还可通过清洗介质对冷却模组进行清洗，具体来说，清洗管道包括管道总路11和两组分路，分路包括第一管道分路12和第二管道分路13，第一管道分路12与第二管路61连通，泵5的出口与废气和废液收集装置连通，清洗介质依次沿管道总路11、第一管道分路12以及第二管路61通入泵5，清洗介质对泵5内部结构进行清洗以去除结晶物，提高
了泵的维护周期，清洗后的介质通过废气排污口或/和废液排污口排入废气和废液收集装置，管路系统还包括第三管路62，第二管道分路13与第一管路31连通，冷却模组的出口与第三管路62连通，第三管路62与废气和废液收集装置连通，清洗介质依次沿管道总路11、第二管道分路13以及第一管路31通入冷却模组，清洗介质对冷却模组内部结构进行清洗以去除结晶物，提高了冷却模组的维护周期，清洗后的介质通过第三管路62、废气排污口或/和废液排污口排入废气和废液收集装置，本实施例中，为保证对泵5的洁净，冷却模组采用单独清洗，即泵5与冷却模组单独清洗，泵5清洗后直通废气和废液收集装置，冷却模组进行清洗时与泵5处于隔离状态，冷却模组清洗后通过通过第三管路62直通废气和废液收集装置。
39.处理系统还包括干燥结构(图未显示)，干燥结构在泵5清洗后对泵5进行吹扫干燥。
40.冷却模组至少包括一路冷却组件，一路冷却组件至少包括一组冷却装置4，冷却装置4对真空系统产生的真空尾气和尾液进行处理，将真空尾气和尾液中的有害物质净化过滤，本实施例有害物质是指尾气和尾液中对泵有害的液体或/和固体粉末物质，包括尾气中含有的未反应物或反应产物，各路冷却组件的进口与第一管路31连通，各路冷却组件的出口与第二管路61连通，即各路冷却组件以并联方式分别与第一管路31和第二管路61连通，即分别与真空腔室3和泵5连通，各路冷却组件的进口设置有阀门，通过上述各路冷却组件的设置，当其中若干路冷却组件需要检修时，剩余一路或若干路冷却组件可继续运行，无需因检修或其他原因影响尾气和尾液的处理，提高尾气和尾液的处理效率。
41.一路冷却组件至少包括一组冷却装置4，各路冷却组件内的若干冷却装置4以串联方式连接，根据图1的视觉角度，一路冷却组件包括两组冷却装置4，两组冷却装置4可过滤相同物质，尾气和尾液依次通过两组冷却装置4，前一组冷却装置4可将尾气和尾液内大部分有害物质进行净化过滤，后一组冷却装置4可将尾气和尾液内剩余有害物质进行净化过滤，从而尽量将尾气和尾液的有害物质净化过滤干净；两组冷却装置4可过滤不同物质，尾气和尾液依次通过两组冷却装置4，前一组冷却装置4可将尾气和尾液内一部分有害物质进行净化过滤，后一组冷却装置4可将尾气和尾液内另一部不同的有害物质进行净化过滤，从而尽量将尾气和尾液的有害物质净化过滤干净；通过上述设定，极大地延长了泵5的维护周期，冷却装置4的数量和过滤种类根据实际需要进行设定。
42.如图2-4所示，冷却装置4包括滤筒41、滤芯42和制冷系统，滤筒41内部设置有至少一组用于安装滤芯42的过滤腔411，制冷系统控制滤芯42以及过滤腔411的温度，滤芯42用于对尾气或/和尾液的冷却过滤。
43.本实施例冷却装置4对尾气和尾液进行冷却过滤处理，在对尾气和尾液冷却的同时收集有害物质以及冷却时产生的结晶物、杂质等，对泵5起到了一个关键性的保护作用，极大地延长了泵5的维护周期。
44.滤筒41采用圆柱型结构，包括筒体415、筒板414和滤盖416，筒体415和筒板414固设连接，优选两者作为整体一体成型，筒板414与滤盖416相配，滤盖416与筒板414固定连接，使过滤腔411形成密闭的空间，进一步的为保证过滤腔411的密封性，冷却装置4还设置有密封结构，密封结构包括密封圈44，密封圈44位于筒板414和滤盖416之间，具体来说，筒板414或滤盖416上固设有密封槽417，密封圈44安装在密封槽417内实现滤盖416与筒板414的密封连接，同时保证滤腔411的密封性；密封圈44采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀
耐高温材质，优选材质耐高温范围大于150℃，以确保在冷却过滤高温腐蚀性气体时密封圈44的耐受性，优选采用特氟龙材质。
45.筒体415固设有与过滤腔411连通的至少一组进气口413和至少一组出气口412，以冷却模组包括一路冷却组件，一路冷却组件包括一组冷却装置4为例进行说明，进气口413与第一管路31连通，出气口412与第二管路61连通，进气口413、过滤腔411以及出气口412形成尾气和尾液的流通通道，尾气和尾液从进气口413通入过滤腔411，经滤芯42冷却过滤后沿出气口412通出；滤筒41的内表面设有滤筒涂层(图未显示)，滤筒涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质，优选材质耐高温范围大于150℃，以确保在冷却过滤高温腐蚀性气体时滤筒41的耐受性，优选采用特氟龙材。
46.滤芯42可拆卸安装在滤盖416，便于安装拆卸以及维修和检修，方便去除滤芯42收集的有害物质以及冷却时产生的结晶物、杂质等，方便直接更换其中若干滤芯42，滤芯42的长度与筒体415的长度相配，滤芯42尽可能延伸至筒体415的下端面，但不接触，使滤芯42在竖直方向上尽可能完全分布在过滤腔411内，从而将尾气和尾液进行完全过滤，本实施例对滤芯42的数量以及各滤芯42的分布方式并不限制，只要能在水平方向上尽可能完全分布在过滤腔411内即可，从而实现快速对尾气和尾液冷却过滤的效果。
47.本实施例中滤芯42起到热交换的作用以冷却过滤物质，滤芯42收集有害物质以及冷却时产生的结晶物、杂质等，滤芯42外表面固设有滤芯涂层(图未显示)，滤芯涂层采用耐酸碱腐蚀材质或/和耐酸碱腐蚀耐高温材质，优选材质耐高温范围大于150℃，以确保在冷却过滤高温腐蚀性气体时滤芯42的耐受性，优选采用特氟龙材；本实施例对滤芯42的形状并不做限定，可设计为圆柱式、类圆柱式、翅片式、散热片式等，只要能实现热交换的作用以冷却过滤物质的效果即可。
48.制冷系统包括制冷装置和散热装置，制冷装置对滤芯42或/和滤筒41制冷，散热装置用于制冷装置的散热，散热装置包括散热座47，散热座47通过固定板45固定安装在滤盖416上，散热座47上固设有至少一组散热管道473，散热管道473的进口以及出口分别与散热进口472以及散热出口471连接，散热管道473在散热座47内部可层u型、盘绕型等，通过加长散热管道473在散热座47内部的长度，提高冷却效率，散热座47上固设有腔体474,制冷装置安装在腔体474内，散热管道473主要用于冷却制冷装置；散热装置通过在散热管道473内通入冷却介质，冷却介质与制冷装置发生热交换，冷却介质始终处于流通状态，从而将制冷装置的热量带走，对制冷装置进行散热处理，使制冷装置处于冷却状态；冷却介质可采用液体、气体或两者混合物。
49.制冷装置包括半导体冷端461和半导体热端462，半导体冷端461和半导体热端462采用现有的技术连接，实现半导体冷端461的制冷功能，根据现有技术，散热装置使半导体热端462处于散热状态，相应的，使半导体冷端461始终保持在较低的温度状态，本实施例中，半导体热端462安装在腔体474内，散热装置通过冷却介质使半导体热端462处于散热状态，相应的，半导体冷端461的温度可稳定的处于较低的温度状态，从而保证滤芯42或/和滤筒41的过滤腔411保持在较低的温度状态，实现快速对真空系统产生的真空尾气和尾液中进行冷却过滤，提高冷却过滤效率；半导体冷端461的数量并不进行限定，可根据需要进行设定，半导体冷端461设置在滤芯42或/和滤筒41，具体来说，半导体冷端461可安装在滤芯42的外表面或内部，半导体冷端461也可安装在滤筒41的内表面，半导体冷端461对滤芯42
或/过滤腔411环境进行冷却，实现对真空系统产生的真空尾气和尾液中进行冷却过滤。
50.本实施例的冷却装置4还包括自动清洗装置，自动清洗装置包括清洗介质，通过清洗介质进行对冷却装置4自动清洗，可将滤芯42或/滤筒41收集的有害物质以及结晶物、杂质等自动清理，有害物质以及结晶物、杂质等和清洗后的介质排出至废气和废液收集装置，从而实现了冷却装置4在线自维护功能以及杂质在线收集和自动清理功能，进一步，冷却装置4还包括干燥装置(图未显示)，干燥装置使冷却装置4在清洗或过滤后保持干燥状态。
51.本实施例中的冷却装置4也可单独运用在现有的设备中，除了对真空系统产生的真空尾气和尾液中的有害物质进行冷却过滤，对泵起到了关键性的保护作用，极大地延长了泵的维护周期，也可对高温腐蚀性气体、特气、高温气体和液体、气液混合物、液体等流体进行快速冷却以及过滤。
52.本实施例中，各管路以及管道设置有阀门，通过阀门实现清洗管道、冷却模组、管路系统、真空腔室3、泵5、废气和废液收集装置和尾气和尾液收集装置。
53.本实施例清洗介质可与尾气和尾液共同通入泵5对泵5进行清洗，无需停机清洗。
54.显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本实用新型保护的范围。