一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备与流程

1.本发明涉及清洗液生产技术领域，尤其涉及一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备。


背景技术：

2.晶圆片一般指硅晶片，在生产过程中机械设备润滑的油脂、金刚砂或工作液中的金属离子以及硅片与空气接触后形成的氧化物层等均可对硅片造成不同程度的污染，需要使用清洗液清洗。
3.清洗液的生产是一个复杂的过程，传统清洗液生产设备制备清洗液后，待清洗液自然冷却后导出保存，制备效率较低，不符合企业效益，因此还需要对生产设备进行改进。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于提供一种晶圆片加工清洗液、生产方法及设备，旨在解决传统清洗液生产设备生产清洗液，清洗液自然冷却降低生产效率的问题。
5.为实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种晶圆片加工清洗液生产设备，用于制备一种晶圆片加工清洗液，其特征在于，包括制备罐和冷却箱，所述冷却箱设置于所述制备罐一侧；所述冷却箱包括箱体、换热器和风冷器，所述箱体设置于所述制备罐一侧，所述换热器设置于所述箱体一侧，所述风冷器包括风机、冷风管、出风板和单向阀，所述风机与所述箱体固定连接，且位于所述箱体外侧，所述出风板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体内，所述冷风管与所述风机连通，并与所述出风板连通，并贯穿所述箱体，所述单向阀设置于所述冷风管靠近所述出风板一侧。
6.其中，所述换热器包括若干导热柱、散热板和若干散热翅片，所述散热板与所述箱体固定连接，且位于所述箱体顶部，若干所述导热柱分别与所述散热板固定连接，并贯穿所述箱体，若干所述散热翅片分别与所述散热板固定连接，均位于远离所述导热柱一侧。
7.其中，所述冷却箱还包括第一防尘网和第二防尘网，所述第一防尘网与所述风机固定连接，且位于远离所述冷风管一侧，所述第二防尘网与所述箱体固定连接，且位于靠近所述散热板一侧。
8.其中，所述制备罐包括罐体、搅拌器和加热组件，所述罐体设置于所述箱体一侧，所述搅拌器设置于所述罐体一侧，所述加热组件分别设置于所述罐体和所述搅拌器一侧。
9.其中，所述搅拌器包括电机、转杆和若干搅拌杆，所述电机与所述罐体固定连接，且位于所述罐体顶部，所述转杆与所述电机输出端固定连接，并贯穿所述罐体，若干所述搅拌杆分别与所述转杆固定连接，均位于所述转杆外侧。
10.其中，所述加热组件包括电磁盘和若干发热块，所述电磁盘与所述罐体固定连接，且位于所述罐体底部，若干所述发热块分别与若干所述搅拌杆固定连接，均位于所述搅拌杆外侧。
11.第二方面，本发明还提供一种晶圆片加工清洗液生产方法，包括以下步骤：将原料导入制备罐内混合制备，得到混合液；混合液导入箱体内，经换热器和风冷组件双重散热冷却，得到清洗液。
12.第三方面，本发明还提供一种晶圆片加工清洗液，包括氨基三甲叉膦酸60%、磺化琥珀酸二辛酯钠盐6%、氢氟酸5%、aeo-9 3%、乙二胺四乙酸钠6%和纯水20%。
13.本发明的一种晶圆片加工清洗液生产设备，所述制备罐和所述冷却箱之间通过导管连通，将原料依次导入所述制备罐内混合加热制备混合液，待混合液制备完成后通过导管导入所述箱体，所述箱体内的混合液，通过所述换热器吸收混合液热量并与外界空气进行热量交换，同一时刻，所述风机运作往所述冷风管内吹风，所述冷风管将风制冷后导入所述出风板，所述出风板将冷风吹入所述箱体，从而对混合液进行风冷散热，待混合液冷却完毕后，得到清洗液，所述单向阀防止混合液流入所述冷风管内，所述冷却箱通过所述换热器和所述风冷器的双重散热，大大的缩短了混合液的冷却时间，有效的提高了清洗液的生产效率，同时，该设备将制备和冷却分开进行，可一边制备新的混合液，一边对所述箱体内的混合液冷却，进一步的提高清洗液的生产效率，解决传统清洗液生产设备生产清洗液，清洗液自然冷却降低生产效率的问题。
附图说明
14.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1是本发明提供的一种晶圆片加工清洗液生产设备结构示意图。
16.图2是本发明提供的一种晶圆片加工清洗液生产设备侧视图。
17.图3是图2沿a-a面的剖视图。
18.图4是本发明提供的一种晶圆片加工清洗液生产方法流程图。
19.图中：1-制备罐、2-冷却箱、3-罐体、4-搅拌器、5-加热组件、6-电机、7-转杆、8-搅拌杆、9-电磁盘、10-发热块、11-箱体、12-换热器、13-风冷器、14-风机、15-冷风管、16-出风板、17-单向阀、18-导热柱、19-散热板、20-散热翅片、21-第一防尘网、22-第二防尘网、23-冷却管、24-送风管、25-螺旋管、26-制冷片。
具体实施方式
20.下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
21.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限
制。此外，在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
22.请参阅图1至图3，第一方面，本发明提供一种晶圆片加工清洗液生产设备，用于制备一种晶圆片加工清洗液，其特征在于，包括制备罐1和冷却箱2，所述冷却箱2设置于所述制备罐1一侧；所述冷却箱2包括箱体11、换热器12和风冷器13，所述箱体11设置于所述制备罐1一侧，所述换热器12设置于所述箱体11一侧，所述风冷器13包括风机14、冷风管15、出风板16和单向阀17，所述风机14与所述箱体11固定连接，且位于所述箱体11外侧，所述出风板16与所述箱体11固定连接，且位于所述箱体11内，所述冷风管15与所述风机14连通，并与所述出风板16连通，并贯穿所述箱体11，所述单向阀17设置于所述冷风管15靠近所述出风板16一侧。
23.在本实施方式中，所述制备罐1和所述冷却箱2之间通过导管连通，待混合液制备完成后通过导管导入所述箱体11，所述箱体11内的混合液通过所述换热器12吸收混合液热量并与外界空气进行热量交换，同一时刻，所述风机14运作往所述冷风管15内吹风，所述冷风管15将风制冷后导入所述出风板16，所述出风板16将冷风吹入所述箱体11，从而对混合液进行风冷散热，待混合液冷却完毕后，得到清洗液，所述单向阀17防止混合液流入所述冷风管15内，所述冷却箱2通过所述换热器12和所述风冷器13的双重散热，大大的缩短了混合液的冷却时间，有效的提高了清洗液的生产效率，同时，该设备将制备和冷却分开进行，可一边制备新的混合液，一边对所述箱体11内的混合液冷却，进一步的提高清洗液的生产效率，解决传统清洗液生产设备生产清洗液，清洗液自然冷却降低生产效率的问题。
24.进一步的，所述换热器12包括若干导热柱18、散热板19和若干散热翅片20，所述散热板19与所述箱体11固定连接，且位于所述箱体11顶部，若干所述导热柱18分别与所述散热板19固定连接，并贯穿所述箱体11，若干所述散热翅片20分别与所述散热板19固定连接，均位于远离所述导热柱18一侧；所述冷却箱2还包括第一防尘网21和第二防尘网22，所述第一防尘网21与所述风机14固定连接，且位于远离所述冷风管15一侧，所述第二防尘网22与所述箱体11固定连接，且位于靠近所述散热板19一侧。
25.在本实施方式中，所述导热柱18和所述散热板19均匀铜铝合金制成，均匀良好的导热散热性，所述导热柱18吸收混合液的热量，并传递给所述散热板19与外界空气接触散热，所述散热翅片20的设置，增加所述散热板19的面积，提高所述散热板19的散热效率，所述第一防尘网21防止所述风机14将空气中的灰尘吸入，所述出风板16吹入所述箱体11内的风通过所述箱体11自身顶部的散热孔排出，所述第二防尘网22的设置，防止灰尘从散热孔进入所述箱体11影响清洗液的质量。
26.进一步的，所述制备罐1包括罐体3、搅拌器4和加热组件5，所述罐体3设置于所述箱体11一侧，所述搅拌器4设置于所述罐体3一侧，所述加热组件5分别设置于所述罐体3和所述搅拌器4一侧；所述搅拌器4包括电机6、转杆7和若干搅拌杆8，所述电机6与所述罐体3固定连接，且位于所述罐体3顶部，所述转杆7与所述电机6输出端固定连接，并贯穿所述罐体3，若干所述搅拌杆8分别与所述转杆7固定连接，均位于所述转杆7外侧；所述加热组件5包括电磁盘9和若干发热块10，所述电磁盘9与所述罐体3固定连接，且位于所述罐体3底部，若干所述发热块10分别与若干所述搅拌杆8固定连接，均位于所述搅拌杆8外侧。
27.在本实施方式中，所述罐体3用于制备混合液，所述搅拌器4用于搅拌原料，所述加
热组件5用于加热原料，具体的，所述电机6运作使得所述转杆7转动，所述转杆7转动带动所述搅拌杆8转动混合所述罐体3内原料，同时，所述电磁盘9通电使所述罐体3产生涡流，从而加热所述罐体3内原料，所述发热块10由电阻丝制成，所述发热块10通电发热，对所述罐体3内中部的原料进行加热，缩短加热所需时间。
28.进一步的，所述冷风管15包括冷却管23和送风管24，所述冷却管23与所述风机14连通，且位于所述风机14一侧，所述送风管24与所述冷却管23连通，并与所述出风板16连通，并贯穿所述箱体11，所述单向阀17设置于所述送风管24内。
29.在本实施方式中，所述冷却管23用于制冷所述风机14吹入的风，所述送风管24将冷风导入所述出风板16内，经所述出风板16吹出冷却混合液。
30.进一步的，所述冷却管23包括螺旋管25和若干制冷片26，所述螺旋管25与所述风机14连通，并与所述送风管24连通，且位于所述送风管24和所述风机14一侧，若干所述制冷片26分别与所述螺旋管25固定连接，均贯穿所述螺旋管25。
31.在本实施方式中，所述制冷片26型号为tec1-12704，所述制冷片26用于制冷所述螺旋管25内的风，所述螺旋管25延长风的流通时间，提高所述制冷片26的制冷效果。
32.请参阅图4，第二方面，本发明还提供一种晶圆片加工清洗液生产方法，包括以下步骤：s1将原料导入制备罐1内混合制备，得到混合液；将原料导入所述罐体3内，经所述搅拌器4混合和所述加热组件5加热，制备所述混合液。
33.s2混合液导入箱体11内，经换热器12和风冷组件双重散热冷却，得到清洗液。
34.所述混合液制备完成后，通过导管导入所述箱体11内，经所述换热器12和所述风冷组件双重散热，使得所述混合液快速冷却，得到所述清洗液。
35.第三方面，本发明还提供一种晶圆片加工清洗液，包括氨基三甲叉膦酸60%、磺化琥珀酸二辛酯钠盐6%、氢氟酸5%、aeo-9 3%、乙二胺四乙酸钠6%和纯水20%。
36.在本实施方式中，按重量计比氨基三甲叉膦酸、磺化琥珀酸二辛酯钠盐、氢氟酸、乙二胺四乙酸钠和纯水等原料依次导入所述制备罐1内混合加热制备混合液，所述氨基三甲叉膦酸，其磷氧官能团对硅原子有更强的选择性，对于硅片上的固定胶和粉尘具有优异的清洗效果，所述磺化琥珀酸二辛酯钠盐具有优异的渗透性，可加速固定胶和粉尘的清除，所述乙二胺四乙酸钠络合金属离子、所述氢氟酸清除氧化物层和所述aeo-9乳化油污协同作用，可一次性清洗去除硅片表面的固定胶、金属杂质、氧化物和粉尘及油污等各种污染物，大大提高生产效率，降低了生产成本。
37.以上所揭露的仅为本发明一种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程，并依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于发明所涵盖的范围。