喷雾涂胶液路系统的制作方法

1.本技术涉及集成电路领域，尤其是涉及一种喷雾涂胶液路系统。


背景技术：

2.随着集成电路产业的快速发展，喷雾涂胶设备的应用越来越广泛，喷雾式涂胶设备一般采用恒流泵进行给液，超声雾化喷头和二流体雾化喷头实现光刻胶的雾化，由工作台带动喷头对真空吸附方式固定在承片台上的基片进行精密喷涂。喷涂过程一般由多次的喷涂叠加来完成，由于喷雾涂胶喷头不同于普通滴胶喷头，出胶口更为细小，一旦光刻胶在喷头处干结，很难清洗，甚至可能造成喷头损坏，喷雾涂胶喷头价格昂贵，且很多为定制化产品，一旦损坏，经济成本和时间成本损失巨大，因此，在实际生产中，需要对喷雾涂胶设备的胶路和喷头频繁进行清洗。
3.现有的清洗方式，清洗时需要将光刻胶液更换为清洗液，然后开启阀门及恒流泵对胶路和喷头进行清洗，对此，现有的清洗方式，清洗液和光刻胶液共用一个存储机构以及一个管路，清洗完成后将清洗液更换为光刻胶时，易污染光刻胶且管路中容易进入气泡，影响后续喷涂效果。


技术实现要素：

4.本技术的目的是在于提供一种喷雾涂胶液路系统，从而解决了现有的清洗方式，清洗液和光刻胶液共用一个存储机构和一个管路，清洗完成后将清洗液更换为光刻胶时，易污染光刻胶且管路中容易进入气泡，影响后续喷涂效果的问题。
5.根据本技术提供了一种喷雾涂胶液路系统，所述喷雾涂胶液路系统包括喷头、胶液存储机构、清洗液存储机构、第一气源、第一管路以及第二管路，所述第一气源通过所述第二管路与所述喷头连接，所述胶液存储机构与所述清洗液存储机构均通过所述第一管路与所述喷头连接，在第一状态下，所述清洗液存储机构与所述第一管路连通，以向所述喷头输送清洗液，在第二状态下，所述胶液存储机构与所述第一管路连通，以向所述喷头输送胶液，所述第一气源通过所述第二管路与所述喷头连通，以向所述喷头输送第一气体。
6.在上述任意技术方案中，进一步地，所述喷雾涂胶液路系统还包括第一控制机构、第二控制机构、第一支路和第二支路，所述清洗液存储机构通过所述第一支路与所述第一管路连接，所述胶液存储机构通过所述第二支路与所述第一管路连接，所述第一控制机构连接于所述第一支路，以控制所述第一支路的通断，所述第二控制机构连接于所述第二支路，以控制所述第二支路的通断。
7.在上述任意技术方案中，进一步地，所述喷雾涂胶液路系统还包括第二气源，所述第一控制机构包括第一电磁阀和第一气控阀，所述第一气控阀包括第一进气口和第一流道，所述第一流道连接于所述第一支路，所述第二气源通过所述第一电磁阀与所述第一气控阀的所述第一进气口连接，所述第二控制机构包括第二电磁阀和第二气控阀，所述第二气控阀包括第二进气口和第二流道，所述第二流道连接于所述第二支路，所述第二气源通
过所述第二电磁阀与所述第二气控阀的所述第二进气口连接。
8.在上述任意技术方案中，进一步地，所述第一控制机构还包括第一节流阀，所述第二控制机构还包括第二节流阀，所述第一节流阀连接在所述第一电磁阀与所述第一气控阀之间，所述第二节流阀连接在所述第二电磁阀与所述第二气控阀之间。
9.在上述任意技术方案中，进一步地，所述喷雾涂胶液路系统还包括第三电磁阀和第三气控阀，所述第三气控阀包括第三进气口和第三流道，所述第二气源通过所述第三电磁阀与所述第三气控阀的所述第三进气口连接，所述第三流道连接于所述第一管路。
10.在上述任意技术方案中，进一步地，所述喷雾涂胶液路系统还包括电气比例阀和第三节流阀，所述电气比例阀和所述第三节流阀均连接于所述第一管路，所述电气比例阀连接在所述第三流道和所述喷头之间，所述第三节流阀连接在所述电气比例阀和所述喷头之间。
11.在上述任意技术方案中，进一步地，所述喷雾涂胶液路系统还包括第一液位传感器和泵，所述泵连接于所述第一管路，所述第一液位传感器设置于所述清洗液存储机构的外部，用于检测所述清洗液存储机构的内部的清洗液的液位信息，在所述第一状态下，若所述第一液位传感器有信号，所述第一电磁阀与所述泵均开启。
12.在上述任意技术方案中，进一步地，所述喷雾涂胶液路系统还包括第二液位传感器，所述泵为注射泵，所述第二液位传感器设置于所述胶液存储机构的外部，用于检测所述胶液存储机构的内部的胶液的液位信息，在所述第二状态下，若所述第二液位传感器有信号，所述第三电磁阀开启，所述电气比例阀开启，在所述电气比例阀开启第一预定时间后，所述第二电磁阀与所述注射泵开启。
13.在上述任意技术方案中，进一步地，所述注射泵为恒流注射泵，所述注射泵被设置为具有多个泵送阶段，所述多个泵送阶段分别设置有调节速度，所述第一气源用于提供氮气，所述第二气源用于提供压缩空气。
14.在上述任意技术方案中，进一步地，所述喷雾涂胶液路系统还包括粘度传感器，所示粘度传感器的部分设置于所述第一管路的内部，用于检测所述第一管路内流体的粘度信息，在所述粘度信息等于清洗液粘度信息时，所述注射泵切换至所述多个泵送阶段的最后一泵送阶段。
15.根据本技术的喷雾涂胶液路系统，包括喷头、胶液存储机构、清洗液存储机构、第一气源、第一管路以及第二管路，其中，第一气源通过第二管路与喷头连接，胶液存储机构与清洗液存储机构均通过第一管路与喷头连接，在第一状态下(清洗状态)，清洗液存储机构与第一管路连通，以向喷头输送清洗液，在第二状态下(喷涂状态)，胶液存储机构与第一管路连通，以向喷头输送胶液，且第一气源通过第二管路与喷头连通，以向喷头输送第一气体，以完成喷涂。对此，本技术胶液存储机构与清洗液存储机构单独设置，更换清洗液与胶液以及清洗过程与喷涂过程均分开独立，因此，不会出现污染光刻胶或更换胶液过程中管路容易进入气泡，影响后续喷涂效果的问题。
16.为使本技术的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
的空间关系术语，以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外，还包含装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则被描述为相对于另一元件位于“之上”或“上部”的元件随后将相对于另一元件位于“之下”或“下部”。因此，术语“在
……
之上”根据装置的空间方位而包括“在
……
之上”和“在
……
之下”两种方位。所述装置还可以以其他方式定位(例如，旋转90度或处于其他方位)，并将对在这里使用的空间关系术语做出相应的解释。
29.在此使用的术语仅用于描述各种示例，并非用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指明，否则单数的形式也意图包括复数的形式。术语“包括”、“包含”和“具有”列举存在的所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但不排除存在或添加一个或更多个其他特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。
30.由于制造技术和/或公差，可出现附图中所示的形状的变化。因此，这里所描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间出现的形状上的改变。
31.这里所描述的示例的特征可按照在理解本技术的公开内容之后将是显而易见的各种方式进行组合。此外，尽管这里所描述的示例具有各种各样的构造，但是如在理解本技术的公开内容之后将显而易见的，其他构造是可能的。
32.本技术提供了一种喷雾涂胶液路系统，解决了现有的清洗方式，清洗液和光刻胶液共用一个存储机构和一个管路，清洗完成后将清洗液更换为光刻胶时，易污染光刻胶且管路中容易进入气泡，影响后续喷涂效果的问题。
33.在本技术提出之前，现有的清洗方式，清洗时需要将光刻胶液更换为清洗液，然后开启阀门及恒流泵对胶路和喷头4进行清洗，对此，现有的清洗方式，清洗液和光刻胶液共用一个存储机构以及一个管路，清洗完成后将清洗液更换为光刻胶时，易污染光刻胶且管路中容易进入气泡，影响后续喷涂效果。
34.鉴于此，根据本技术提供了一种喷雾涂胶液路系统，包括喷头4、胶液存储机构17、清洗液存储机构16、第一气源20、第一管路22以及第二管路23，其中，第一气源20通过第二管路23与喷头4连接，胶液存储机构17与清洗液存储机构16均通过第一管路22与喷头4连接，在第一状态下(清洗状态)，清洗液存储机构16与第一管路22连通，以向喷头4输送清洗液，在第二状态下(喷涂状态)，胶液存储机构17与第一管路22连通，以向喷头4输送胶液，且第一气源20通过第二管路23与喷头4连通，以向喷头4输送第一气体，以完成喷涂。对此，本技术胶液存储机构17与清洗液存储机构16单独设置，更换清洗液与胶液以及清洗过程与喷涂过程均分开独立，因此，不会出现污染光刻胶或更换胶液过程中管路容易进入气泡，影响后续喷涂效果的问题，这里，第一气源20可以是氮气提供源，氮气相较于空气，洁净度较高，可以有效保证胶液的喷涂效果。在下文将详细描述喷雾涂胶液路系统的具体结构以及工作过程。
35.在本技术的实施例中，如图1所示，喷雾涂胶液路系统还可以包括第一控制机构、第二控制机构、第一支路24和第二支路25，清洗液存储机构16通过第一支路24与第一管路22连接，胶液存储机构17通过第二支路25与第一管路22连接，第一控制机构连接于第一支路24，以控制第一支路24的通断，第二控制机构连接于第二支路25，以控制第二支路25的通断。
36.作为示例，如图1所示，喷雾涂胶液路系统还可以包括第二气源21(第二气源21可
以是压缩空气)，第一控制机构可以包括第一电磁阀12和第一气控阀6(第一气控阀6可以是第一气控隔膜阀)，第一气控阀6包括第一进气口和第一流道，第一流道连接于第一支路24，第二气源21通过第一电磁阀12与第一气控阀6的第一进气口连接，第二控制机构可以包括第二电磁阀13和第二气控阀7(第二气控阀7可以是第二气控隔膜阀)，第二气控阀7包括第二进气口和第二流道，第二流道连接于第二支路25，第二气源21通过第二电磁阀13与第二气控阀7的第二进气口连接。
37.此外，如图1所示，第一控制机构还可以包括第一节流阀8(第一节流阀8可以是第一单向节流阀)，第二控制机构还可以包括第二节流阀9(第二节流阀9可以是第二单向节流阀)，其中，第一节流阀8连接在第一电磁阀12与第一气控阀6之间，第二节流阀9连接在第二电磁阀13与所述第二气控阀7之间。
38.在本技术的实施例中，如图1所示，喷雾涂胶液路系统还可以包括第三电磁阀14和第三气控阀15(第三气控阀15可以是第三气控隔膜阀)，第三气控阀15包括第三进气口和第三流道，第二气源21通过第三电磁阀14与第三气控阀15的第三进气口连接，第三流道连接于第一管路22。
39.此外，如图1所示，喷雾涂胶液路系统还可以包括电气比例阀11和第三节流阀10，电气比例阀11和第三节流阀10均连接于第一管路22，其中，电气比例阀11连接在第三流道和所述喷头4之间，第三节流阀10连接在电气比例阀11和喷头4之间。
40.具体来说，如图1所示，第一电磁阀12通过压缩空气管路与第一节流阀8相连，第一节流阀8通过压缩空气管路与第一气控阀6相连。第二电磁阀13通过压缩空气管路与第二节流阀9相连，第二节流阀9通过压缩空气管路与第二气控阀7相连，第一气控阀6(第一气控阀6的第一流道)通过pfa管路(第一支路24)与胶液存储机构17(胶液存储机构17可以是光刻胶清洗液罐)连接。第二气控阀7(第二气控阀7的第二流道)通过pfa管路(第二支路25)与胶液存储机构17连接。第二三通阀5(第二三通阀5可以是第二pfa三通阀)通过pfa管路连接第一气控阀6、第二气控阀7和喷头4。第一三通阀2(第一三通阀2可以是第一pfa三通阀)与雾化喷头4连接。第三电磁阀14通过压缩空气管路与第三气控阀15相连。第三气控阀15(第三气控阀15的第三流道)与电气比例阀11通过氮气管路相连，电气比例阀11和第三节流阀10通过氮气管路相连。雾化喷头4通过pfa管路和氮气管路分别连接第一三通阀2和第三节流阀10，这里pfa管路指的是树脂加工而成的管子。
41.第一电磁阀12连接压缩空气通过控制压缩空气通断控制第一气控隔膜阀的打开和关闭，进而控制光刻胶清洗液回路通断，第一节流阀8用于控制压缩空气流量大小进而控制第一气控阀6打开速度。第二电磁阀13连接压缩空气通过控制压缩空气通断控制第二气控阀7的打开和关闭，进而控制光刻胶回路通断，第二节流阀9用于控制压缩空气流量大小进而控制第二气控阀7的打开速度，光刻胶和光刻胶清洗液都是通过注射泵1(注射泵1可以是恒流注射泵1)给液。第三电磁阀14连接压缩空气通过控制压缩空气通断控制第三气控阀15的打开和关闭。第三气控阀15(第三气控阀15的第三流道)连接第一气源20(第一气源20可以提高氮气)，通过控制氮气通断进而控制光刻胶雾化，电气比例阀11和第三节流阀10分别控制氮气压力和流量，进而控制光刻胶雾化效果。
42.在本技术的实施例中，如图1所示，喷雾涂胶液路系统还可以包括第二液位传感器19(液位传感器可以采用电容式液位传感器)和恒流注射泵1，注射泵1连接于第一管路22，
第二液位传感器19可以设置于胶液存储机构17的外部，用于检测胶液存储机构17的内部的胶液的液位信息，在第二状态下(即喷涂状态下)，若第二液位传感器19有信号，第三电磁阀14开启，电气比例阀11开启，在电气比例阀11开启第一预定时间后，第二电磁阀13与注射泵1开启。
43.具体来说，如图2所示，喷雾涂胶液路系统启动喷涂过程为：
44.第二液位传感器19检测光刻胶罐内有无液体，若无信号，设备报警，需要补充光刻胶；若有信号，则第二液位传感器19会发送信号至控制器，控制器则控制打开第三电磁阀14，控制第三气控阀15打开，电气比例阀11根据设定压力值打开使喷头4处氮气达到一定压力，为防止液体不能完全雾化，造成滴液，控制器会在电气比例阀11打开后延时t1(第一预定时间后)打开第二电磁阀13，控制第二气控阀7打开，之后启动注射泵1，雾化喷头4喷出雾化后的光刻胶。
45.如图3所示，喷雾涂胶液路系统停止喷涂过程为：喷雾涂胶液路系统喷涂完毕后，控制器会首先停止运行注射泵1，关闭第二电磁阀13，控制第二气控阀7关闭。为避免停止喷涂时最后喷出的液体形成液滴，控制器会在第二气控阀7关闭后，延时t2后，关闭电气比例阀11，之后关闭第三电磁阀14，控制第三气控阀15关闭，停止喷涂。这里，t1与t2的具体时间可以根据现场需求设置。
46.在本技术的实施例中，如图1所示，喷雾涂胶液路系统还可以包括第一液位传感器18，第一液位传感器18设置于清洗液存储机构16的外部，用于检测清洗液存储机构16的内部的清洗液的液位信息，在第一状态下(清洗状态)，若第一液位传感器18有信号，第一电磁阀12与注射泵1均开启。
47.如图4所示，喷雾涂胶液路系统清洗过程为：第一液位传感器18检测光刻胶清洗液罐是否有液体，若无信号，则需要补充光刻胶清洗液；若有信号，控制器则控制打开第一电磁阀12，控制第一气控阀6打开，启动注射泵1，开始清洗。这里，控制器可以将注射泵1设置为具有多个泵送阶段，多个泵送阶段分别设置有调节速度，作为示例：
48.注射泵1根据配方设定流量实时控制流量，每个配方内容如下表所示：清洗时分为四个泵送阶段，其中前两个泵送阶段时间可设置，清洗速度模式可选择为脉冲模式、正弦模式和固定流量模式，脉冲模式、正弦模式周期可编辑，脉冲模式占空比可编辑，所有模式速度可编辑，清洗时采用脉冲或正弦模式慢速与快速交替进行，慢速清洗保证管壁或喷头4处粘附的不易清洗的光刻胶能够被光刻胶清洗液充分溶解，快速清洗将管路中光刻胶和光刻混合溶液迅速替换为清洗液，提高清洗效率。配方可保存，再次使用时根据使用的光刻胶和光刻胶清洗液选择相应配方。
[0049][0050]
这里需要说明的是，上表中的时间、速度模式、周期、高速以及低速的数值可以根据现场需求任意调整。
[0051]
此外，为确保清洗干净，喷雾涂胶液路系统还可以包括粘度传感器3，采用流体粘度传感器3实时检测液体粘度，为了安装方便，粘度传感器3的部分可以设置在第一三通阀2的一个通道的内部，并密封设置，流体粘度传感器3受流速影响小，且外壳为玻璃和硅等防腐蚀材料构成，不会对溶液造成污染。如图4所示，在流体粘度传感器3检测到液体粘度等于光刻胶清洗液粘度时(控制器预先存储有刻胶清洗液粘度值，控制器会将接收到的检测的粘度信息比较)，无论在第一泵送阶段、第二泵送阶段还是第三泵送阶段注射泵1都立刻切换为第四泵送阶段(控制器设置)，即固定流量v7，以流量为v7运行时间t5后，注射泵1停止运行，之后，关闭第一电磁阀12，控制第一气控阀6关闭，完成清洗。
[0052]
本技术的喷雾涂胶液路系统，无需人为更换胶液和清洗液，简化设备操作步骤，提高使用效率。此外，注射泵流量为多种模式可编辑，根据不同光刻胶和光刻胶清洗液编辑配方。此外，自动控制清洗时间和流量，并通过流体粘度传感器实时检测液体粘度判断是否清洗干净，避免浪费清洗液或清洗不彻底影响设备后续使用。此外，减少因人为频繁更换光刻胶清洗液和光刻胶造成光刻胶污染或液路中引入气泡，能够优化喷涂效果，提高工艺水平。
[0053]
根据本技术的喷雾涂胶液路系统，包括喷头、胶液存储机构、清洗液存储机构、第一气源、第一管路以及第二管路，其中，第一气源通过第二管路与喷头连接，胶液存储机构与清洗液存储机构均通过第一管路与喷头连接，在第一状态下(清洗状态)，清洗液存储机构与第一管路连通，以向喷头输送清洗液，在第二状态下(喷涂状态)，胶液存储机构与第一管路连通，以向喷头输送胶液，且第一气源通过第二管路与喷头连通，以向喷头输送第一气体，以完成喷涂。对此，本技术胶液存储机构与清洗液存储机构单独设置，更换清洗液与胶液以及清洗过程与喷涂过程均分开独立，因此，不会出现污染光刻胶或更换胶液过程中管路容易进入气泡，影响后续喷涂效果的问题。
[0054]
最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本技术的具体实施方式，用以说明本技术的技术方案，而非对其限制，本技术的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本技术揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本技术的保护
范围之内。因此，本技术的保护范围应以权利要求的保护范围为准。