一种EPI外延工艺用尾气净化设备的制作方法

本技术涉及硅外延工艺的领域，尤其是涉及一种epi外延工艺用尾气净化设备。

背景技术：

1、epi外延工艺即硅外延工艺，是指在适合的晶体底层上使单个晶体半导体薄膜生长。在硅外延工艺过程中，会产生有害尾气，目前硅外延工艺尚不成熟，尾气量不稳定，在使用尾气处理设备处理由硅外延工艺产生的尾气时，易在尾气处理设备中产生大量二氧化硅粉末，且尾气中还夹杂有其他粉状污染物，长此以往易对尾气处理设备造成损坏，影响尾气处理设备的处理效果。

技术实现思路

1、为了改善尾气处理过程对尾气处理设备产生的损坏，一种epi外延工艺用尾气净化设备。

2、本技术提供的一种epi外延工艺用尾气净化设备采用如下的技术方案：

3、一种epi外延工艺用尾气净化设备，包括加热筒、水箱和喷淋塔，水箱一侧的顶部和加热筒连通，水箱另一侧的顶部和喷淋塔连通，加热筒的进气口到喷淋塔的排气口之间为负压状态，还包括水解装置，所述水解装置包括水解箱，所述水解箱内喷淋设置，所述水解箱上开设有进气孔，所述水解箱一侧的顶部连通有流通管，所述流通管远离水解箱的一端和加热筒连通，所述水解箱的底部连通有溢水管。

4、通过采用上述技术方案，将待处理尾气先通入水解箱进行喷淋，由硅外延工艺产生的尾气在水解箱内被水解后产生氯化氢、氢气和大量二氧化硅粉末，氢气不易与水发生反应，直接流向加热筒内，在喷淋的作用下，氯化氢溶于水并被水稀释，大部分二氧化硅粉末和水接触并被水带向溢水管处排出，仅有少部分二氧化硅粉末以及其他粉状污染物会进入加热筒，大大降低了尾气产生的二氧化硅粉末以及尾气夹杂的其他粉状污染物对尾气处理设备造成损坏的可能性，减少了对尾气处理设备处理效果的影响。

5、可选的，所述水解装置还包括反应箱，所述反应箱和进气孔连通，所述反应箱的侧壁上连通有进气管，所述进气管位于靠近反应箱顶部的位置；所述反应箱内升降设置有刮板，所述刮板的外壁和反应箱的内壁接触。

6、通过采用上述技术方案，由于水解箱内喷淋设置，因此水解箱的内壁上附着有水珠，使得二氧化硅粉末附着于水解箱的内壁上，长此以往易对水解箱造成损坏，影响水解箱的使用，由于水解箱内喷淋设置，因此水解箱内存在零部件干扰刮板的设置，而反应箱内为中空环境，便于设置刮板；反应箱和水解箱连通使得喷淋水会进入反应箱内，反应箱内为潮湿环境，使得反应箱内存在大量水珠可将尾气水解；向反应箱的进气管通入尾气，使得尾气在反应箱内被水解，刮板再将反应箱内的粉末刮落，使得粉末落至水上并随水最终流动至溢水管处排出，减少了粉末附着于水解箱内壁上的可能性，减少了对水解箱的损坏。

7、可选的，所述反应箱上设置有伸缩气缸，所述伸缩气缸位于反应箱的顶壁上，所述伸缩气缸的活塞杆穿过反应箱的顶壁后和刮板的顶面连接。

8、通过采用上述技术方案，启动伸缩气缸，伸缩气缸的活塞杆升降带动刮板升降，实现了刮板的升降。

9、可选的，所述刮板的周侧壁上设置有橡胶圈，所述刮板通过橡胶圈和反应箱接触，所述橡胶圈的内壁和刮板的外壁连接，所述橡胶圈的外壁和反应箱的内壁接触。

10、通过采用上述技术方案，橡胶圈的设置减少了刮板刮粉末时对反应箱造成的损坏。

11、可选的，所述水箱内设置有导向筒，所述导向筒的顶端和加热筒连通，所述导向筒的底端和水箱内连通。

12、通过采用上述技术方案，由于导向筒的底端和水箱内连通，因此水箱内的水会进入导向筒内，由于气体受热膨胀，气体会膨胀至导向筒内，气体与导向筒内的水接触后得以降温，由于负压状态，得以降温后的气体再向喷淋塔流动，而气体燃烧后产生的粉末进入水箱；燃烧后的气体不易直接向喷淋塔的排气口流动，气体在进入喷淋塔前多了一道降温处理，提高了被燃烧气体降温的程度，减少了被燃烧气体排出时温度仍较高而产生危险的可能性。

13、可选的，所述水箱上设置有水循环机构，所述水循环机构包括喷淋组件和循环水泵，所述循环水泵用于将水箱内的水通过喷淋组件泵送至加热筒的底部和喷淋塔内；

14、所述导向筒内设置有滤板，所述滤板的侧壁和导向筒的内壁连接，所述水箱内设置有用于清理滤板的清理组件。

15、通过采用上述技术方案，循环水泵将水箱内的水通过喷淋组件泵送至加热筒的底部和喷淋塔内，对经过加热筒底部和喷淋塔的气体进行降温；滤板的设置减少了粉末进入水箱后移动至循环水泵及其他零部件后损坏循环水泵及其他零部件的可能性；当滤板上的粉末堆积的越来越多时，易造成滤板堵塞，使得水箱内的水不易进入导向筒，清理组件用于清理滤板，减少滤板堵塞的可能性。

16、可选的，所述清理组件包括清理刷和托盘，所述清理刷滑移设置，所述清理刷滑移至清理刷的刷毛和滤板的顶面接触，所述托盘位于导向筒远离清理刷的一侧，所述托盘用于盛放由清理刷从滤板上刷下的气体燃烧后产生的粉末。

17、通过采用上述技术方案，滑移设置的清理刷将粉末刷至托盘上以实现清理组件对滤板的清理。

18、可选的，所述导向筒的筒壁上开设有让位通槽，所述让位通槽位于滤板处，所述让位通槽包括第一槽体和第二槽体，所述第一槽体靠近清理刷，所述第二槽体靠近托盘；

19、所述导向筒靠近清理刷一侧的筒壁上转动设置有通闭门，所述通闭门位于第一槽体处，所述通闭门的底面包括平直面和弧形面，所述通闭门的平直面相较于通闭门的弧形面更靠近第二槽体，所述通闭门平直面和通闭门弧形面的连接点与通闭门的转动点的连线为通闭门转动时形成的圆形的半径；所述清理刷可滑移至推动通闭门后穿过第一槽体，此时所述清理刷的刷毛和滤板的顶面接触，所述清理刷亦可滑移至穿过第二槽体后位于托盘的上方。

20、通过采用上述技术方案，由于通闭门的平直面相较于通闭门的弧形面更靠近第二槽体，且通闭门平直面和通闭门弧形面的连接点与通闭门的转动点的连线为通闭门转动时形成的圆形的半径，通闭门弧形面上除通闭门平直面和通闭门弧形面的连接点外的任意一点到通闭门转动点之间的距离均小于通闭门转动时形成的圆形的半径，因此通闭门向导向筒内部转动时，能够让通闭门流畅的通过；而通闭门平直面上除通闭门平直面和通闭门弧形面的连接点外的任意一点到通闭门转动点之间的距离均大于通闭门转动时形成的圆形的半径，因此通闭门不易朝向远离第二槽体的方向转动，从而使得通闭门由清理刷推动后能够朝向导向筒内部转动，清理刷不推动通闭门时，通闭门不易朝向导向筒外部转动，使得粉末不易从第一槽体处进入水箱内。

21、可选的，所述导向筒靠近托盘一侧的筒壁上升降设置有启闭门，所述启闭门位于第二槽体处；

22、所述托盘的底部设置有支撑板，所述支撑板远离滤板的一端和水箱的内壁连接，所述托盘位于支撑板上，所述支撑板位于第二槽体底壁的下方，所述启闭门的长度大于第二槽体的长度；所述导向筒的筒壁上开设有限位槽，所述限位槽的长度大于第二槽体的长度，所述启闭门的侧壁上连接有限位块，所述限位块于限位槽内滑动；所述启闭门的顶面上设置有第一边沿，所述第一边沿位于启闭门靠近托盘的一侧，所述托盘的顶面上设置有第二边沿，所述第二边沿位于托盘靠近启闭门的一侧，所述第二边沿搭设于第一边沿的上方；

23、所述启闭门包括第一状态和第二状态，当所述启闭门处于第一状态时，所述启闭门下降至第一边沿搭设于支撑板的上方，此时所述第二槽体开启，且所述第二边沿的顶面和滤板的顶面齐平；当所述启闭门处于第二状态时，所述启闭门上升至启闭门将第二槽体封堵住，此时所述第二槽体关闭；

24、制成所述托盘的材料的密度、制成启闭门的材料的密度、制成第一边沿的材料的密度和制成第二边沿的材料的密度均小于水的密度。

25、通过采用上述技术方案，当水箱内的水位高于第二槽体的顶壁时，启闭门上升至启闭门将第二槽体封堵住，第二槽体关闭，粉末不易通过第二槽体流至水箱内；

26、由于制成托盘的材料的密度、制成启闭门的材料的密度、制成第一边沿的材料的密度和制成第二边沿的材料的密度均小于水的密度，因此当水箱的水位下降至低于第二槽体的底壁时，启闭门随水位的下降而下降，直至第一边沿搭设于支撑板的上方，此时第二边沿下降至和滤板的顶面齐平，第二边沿和第一边沿配合起到过渡作用，使得清理刷清理粉末时不易使粉末掉落至水箱中；第二边沿搭设于第一边沿上对启闭门产生了压力，当水位下降，启闭门随水位下降时，第二边沿对启闭门的压力提高了启闭门下降的流畅性。

27、可选的，所述清理刷上设置有滑移组件，所述滑移组件包括转动电机、螺杆、滑块和补偿杆，所述转动电机位于水箱外，所述转动电机的转轴穿过水箱的侧壁后和螺杆的一端连接，所述螺杆的另一端穿过滑块并和滑块螺纹连接，所述水箱的内壁上连接有固定板，所述固定板呈“l”型，所述固定板水平段的一端和水箱的内壁连接，所述固定板水平段的另一端和固定板的竖直段连接，所述螺杆远离转动电机的一端和固定板的竖直段转动连接，所述滑块于固定板的水平段上朝向靠近或远离滤板的方向滑移，所述补偿杆的一端和滑块连接，所述补偿杆的另一端和清理刷连接。

28、通过采用上述技术方案，启动转动电机，驱动螺杆转动，带动滑块朝向滤板滑动，滑块通过补偿杆带动清理刷朝向托盘滑移，实现了清理刷的滑移。

29、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：

30、1.将待处理尾气先通入水解箱进行喷淋，由硅外延工艺产生的尾气在水解箱内被水解后产生氯化氢、氢气和大量二氧化硅粉末，氢气不易与水发生反应，直接流向加热筒内，在喷淋的作用下，氯化氢溶于水并被水稀释，大部分二氧化硅粉末和水接触并被水带向溢水管处排出，仅有少部分二氧化硅粉末以及其他粉状污染物会进入加热筒，大大降低了尾气产生的二氧化硅粉末以及尾气夹杂的其他粉状污染物对尾气处理设备造成损坏的可能性，减少了对尾气处理设备处理效果的影响；

31、2.由于水解箱内喷淋设置，因此水解箱的内壁上附着有水珠，使得二氧化硅粉末附着于水解箱的内壁上，长此以往易对水解箱造成损坏，影响水解箱的使用，由于水解箱内喷淋设置，因此水解箱内存在零部件干扰刮板的设置，而反应箱内为中空环境，便于设置刮板；反应箱和水解箱连通使得喷淋水会进入反应箱内，反应箱内为潮湿环境，使得反应箱内存在大量水珠可将尾气水解；向反应箱的进气管通入尾气，使得尾气在反应箱内被水解，刮板再将反应箱内的粉末刮落，使得粉末落至水上并随水最终流动至溢水管处排出，减少了粉末附着于水解箱内壁上的可能性，减少了对水解箱的损坏；

32、3.由于制成托盘的材料的密度、制成启闭门的材料的密度、制成第一边沿的材料的密度和制成第二边沿的材料的密度均小于水的密度，因此当水箱的水位下降至低于第二槽体的底壁时，启闭门随水位的下降而下降，直至第一边沿搭设于支撑板的上方，此时第二边沿下降至和滤板的顶面齐平，第二边沿和第一边沿配合起到过渡作用，使得清理刷清理粉末时不易使粉末掉落至水箱中；第二边沿搭设于第一边沿上对启闭门产生了压力，当水位下降，启闭门随水位下降时，第二边沿对启闭门的压力提高了启闭门下降的流畅性。