用于抛光机的自动加药装置的制作方法

1.本实用新型涉及抛光机的加药装置技术领域，特别涉及用于抛光机的自动加药装置。


背景技术：

2.晶片加工时，通过对晶片背面抛光处理能够形成均匀的背场并提高光反射率，抛光时常添加药液进行腐蚀辅助完成晶片背抛光。现有的抛光机在每轮生产开始前需要人工以量杯的形式添加定量的药液到浆料桶中进行配制，人工加药存在加药量不准确的问题，而药液量少可能无法达到良好的腐蚀效果；药液过多可能存在过度腐蚀，甚至引起设备损毁，也就是说加药量不准确，对产品加工过程及后续质量存在影响。此外，在实际操作中人工加药还存在加药过程容易撒漏、停机加药时间长及忘记加药等问题。


技术实现要素：

3.本实用新型目的是提供用于抛光机的自动加药装置，克服上述已有技术存在的缺陷。
4.具体技术方案是用于抛光机的自动加药装置，包括：计量装置和控制器，所述计量装置安装在加药桶与浆料桶之间，所述加药桶上方设有加液口且内部安装着搅拌装置和第一液位传感器，所述计量装置中，量杯的上方连接着进液管、底部连接着出液管，所述进液管的进液端接在所述加药桶的下方，所述进液管的出液端安装着广口罩，所述出液管的出液端接在所述浆料桶上，第一电磁阀安装在所述进液管上，第二电磁阀安装在所述出液管上，所述量杯中安装着第二液位传感器，所述第一液位传感器、所述第一电磁阀、所述第二电磁阀及所述第二液位传感器分别与控制器电路连接。
5.优选地，所述加药桶上方安装着指示灯，所述指示灯与所述控制器电路连接。
6.优选地，所述广口罩包括：接头、管部和罩体，所述罩体固定安装在所述管部上，所述罩体的截面自上端至下端逐渐变大，所述接头位于所述管部的端部且位于所述罩体上方外部。
7.与现有技术相比，本实用新型有以下技术优点：在加药环节设置所述计量装置，所述计量装置用于进行准确计量，可以省去人工量取药液步骤，方便实现提前计量，能够缩短加药用时；而且操作过程统一，利于控制晶片产品质量一致，不会出现药液过多破坏设备的情况；全过程管道连通，避免出现撒漏；通过控制器实现自动控制加药，加药过程自动化，有效避免漏加药，而且操作方便。
附图说明
8.构成本技术的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
9.图1是用于抛光机的自动加药装置应用示意图；
10.图2是本实用新型中计量装置内部示意图；
11.图3是用于抛光机的自动加药装置应用控制框图；
12.图4是本实用新型中广口罩纵向剖视图；
13.其中：1、加药桶，2、计量装置，3、浆料桶，4、控制器，101、底座，102、第一液位传感器，103、指示灯，104、加液口，105、搅拌装置，201、量杯，202、进液管，203、出液管，204、第一电磁阀，205、第二电磁阀，206、第二液位传感器，208、广口罩，209、接头，210、管部，211、罩体。
具体实施方式
14.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施方式和附图，对本实用新型作进一步详细说明。在此，本实用新型的示意性实施方式及其说明用于解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。
15.在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“左”、“右”是指示的方位或位置关系为基于附图所示的位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
16.结合图1-4理解，
17.用于抛光机的自动加药装置，包括：计量装置2和控制器4，所述计量装置2安装在加药桶1与浆料桶3之间，所述计量装置2用于进行准确计量，可以省去人工量取步骤，方便实现提前计量，能够缩短加药用时；所述加药桶1上方设有加液口104且内部安装着搅拌装置105和第一液位传感器102，所述搅拌装置105搅拌可以保持药液均匀性，所述第一液位传感器102用于检测所述加药桶1内部溶液的液位，避免液位过高或过低情况出现；所述计量装置2中，量杯201的上方连接着进液管202、底部连接着出液管203，所述进液管202的进液端接在所述加药桶1的下方，所述进液管202的出液端安装着广口罩208，所述广口罩208能够防止加药时出现飞溅，能够计量快速而准确，所述出液管203的出液端接在所述浆料桶3上，第一电磁阀204安装在所述进液管202上，第二电磁阀205安装在所述出液管203上，所述量杯201中安装着第二液位传感器206，所述第一电磁阀204控制着koh溶液自所述加药桶1加入到所述量杯201中，所述第二电磁阀205控制着经过计量的koh溶液自所述量杯201进入到所述浆料桶3中，所述第二液位传感器206用于检测所述量杯201内部溶液液位；所述第一液位传感器102、所述第一电磁阀204、所述第二电磁阀205及所述第二液位传感器206分别与控制器4电路连接。
18.加药过程：在所述控制器4上进行设置控制所述量杯201中装溶液的范围量值，所述控制器4还连接着抛光机控制部分。在每轮生产开始时，抛光机控制部分先输出加药信号，所述控制器4在接收到信号后开启所述第二电磁阀205向所述浆料桶3中加药，此时所述第一电磁阀204处于关闭状态，加药量达到定量值时，触发出液控制端值，下限感应开关接通，所述第二电磁阀205关闭，一次加药结束；接着，所述控制器4控制所述第一电磁阀204打开，向所述量杯201中加入定量的溶液，所述第二液位传感器206能够检测到该信息并传递至所述控制器4，上限感应开关接通，所述第一电磁阀204关闭，等待下轮生产加药信号出
现。本实用新型设置所述计量装置2在加药环节保证药液计量的准确，使操作过程统一化，利于控制晶片产品质量一致，保护设备；全过程管道连通，避免出现撒漏；通过控制器实现自动控制加药，加药过程自动化，有效避免漏加药，而且操作方便。
19.在一个实施例中，所述加药桶1上方安装着指示灯103，所述指示灯103与所述控制器4电路连接。所述加药桶1中可提前添加3-5天药液用量，并设定最低液位，到达最低液位后，所述指示灯103亮起，提醒人员补充药液。
20.在一个实施例中，所述广口罩208包括：接头209、管部210和罩体211，所述罩体211固定安装在所述管部210上，所述罩体211的截面自上端至下端逐渐变大，所述接头209位于所述管部210的端部且位于所述罩体211上方外部。安装后，所述罩体211能够防止加药时出现飞溅，所述量杯201内溶液量计量快速而准确。
21.实施例1：用于抛光机的自动加药装置，在加药桶1与浆料桶3之间安装计量装置2，所述加药桶1安装在底座101上，所述底座101上还置有控制器4，所述加药桶1上方设有加液口104且内部安装着搅拌装置105和第一液位传感器102，所述加药桶1上方安装着指示灯103，所述计量装置2中，量杯201的上方连接着进液管202、底部连接着出液管203，所述进液管202的进液端接在所述加药桶1的下方，所述进液管202的出液端安装着广口罩208，所述出液管203的出液端接在所述浆料桶3上，第一电磁阀204安装在所述进液管202上，第二电磁阀205安装在所述出液管203上，所述量杯201上方带盖，所述量杯201中安装着第二液位传感器206，所述第一液位传感器102、所述指示灯103、所述第一电磁阀204、所述第二电磁阀205及所述第二液位传感器206分别与控制器4电路连接。
22.现有的抛光机在每轮生产开始前需要人工以量杯的形式添加400ml的koh溶液到浆料桶中，存在加药量不准确且容易撒漏、不方便操作及容易遗忘等问题。
23.该加药装置，在所述控制器4上进行设置控制所述量杯201中装400ml的koh溶液，所述控制器4还连接着抛光机控制部分。在每轮生产开始时，抛光机控制部分先输出加药信号，所述控制器4在接收到信号后开启所述第二电磁阀205向所述浆料桶3中加药，此时所述第一电磁阀204处于关闭状态，加药量达到400ml时，触发出液控制端值，下限感应开关接通，所述第二电磁阀205关闭，一次加药结束；接着，所述控制器4控制所述第一电磁阀204打开，向所述量杯201中加入400ml的koh溶液，所述第二液位传感器206能够检测到该信息并传递至所述控制器4，上限感应开关接通，所述第一电磁阀204关闭，等待下轮生产加药信号出现。所述计量装置2用于进行准确计量，可以省去人工量取步骤，方便实现提前计量，能够缩短加药用时。
24.以上所述，仅是本实用新型的优选实施例而已，并非是对本实用新型作其它形式的限制，任何熟悉本专业的技术人员可能利用上述揭示的技术内容加以变更或改型为等同变化的等效实施例。但是凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与改型，仍属于本实用新型技术方案的保护范围。