一种PVD工具真空镀膜机的制作方法

文档序号:30571345发布日期:2022-06-29 06:02阅读:158来源:国知局
一种PVD工具真空镀膜机的制作方法
一种pvd工具真空镀膜机
技术领域
1.本实用新型涉及真空镀膜机领域,具体为一种pvd工具真空镀膜机。


背景技术:

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.现有的pvd工具真空镀膜机一般通夹具从工具两端对工具进行固定,通过底部的喷头对工具喷雾化镀膜液进行镀膜。
4.但通过底面的喷头向固定的工具喷雾化镀膜液,工具所沾染的镀膜液不均匀,且上料时,一些物品不方便放置。


技术实现要素:

5.基于此,本实用新型的目的是提供一种pvd工具真空镀膜机,以解决现有的pvd工具真空镀膜机喷涂镀膜液不均匀,且上料时,一些物品不方便放置的技术问题。
6.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种pvd工具真空镀膜机,包括镀膜箱,所述镀膜箱正面转动连接有箱门,且箱门正面底端滑动连接有另一端与镀膜箱正面底端滑动连接的支撑板,所述镀膜箱顶部安装有输入端与镀膜箱连接的真空泵,且镀膜箱背面安装有新风泵组,所述镀膜箱内部地面设置有储液箱,且储液箱内部安装有多根电压发射器,所述储液箱顶部箱盖顶面安装有多个第一喷头,所述镀膜箱内部上方设置有隔板,且隔板底面滑动连接有一组安装板,所述隔板顶面转动连接有两端分别与两个安装板螺纹连接的正反丝杆,且两块安装板上皆转动连接有相互配合的三角夹具,一块所述安装板外侧面安装有转动电机,且转动电机输出端与一个三角夹具尾端皆连接有相互啮合的锥形齿轮,所述安装板外侧面皆安装有一组微型气泵,且微型气泵输入端皆连接有与储液箱箱盖连接的软管,所述微型气泵输出端皆连接有位于安装板内侧的第二喷头。
7.通过采用上述技术方案,箱门可密封镀膜箱,支撑板可支撑箱门,在箱门打开时固定至水平,真空泵可将镀膜箱内抽至趋向真空,新风泵组可对镀膜箱内的空气进行更换以及破真空,储液箱可储存镀膜液,电压发射器可使镀膜液雾化,第一喷头可将雾化的镀膜液喷向工具,正反丝杆转动可通过安装板控制三角夹具夹紧或松开工具,转动电机可通过锥形齿轮带动三角夹具转动,微型气泵可使用软管将雾化液抽取通过第二喷头喷向工具两端。
8.本实用新型进一步设置为,所述镀膜箱正面开口边缘设置有与箱门配合的硅胶垫。
9.通过采用上述技术方案,硅胶垫可使箱门的密封性更好,防止镀膜箱漏真空。
10.本实用新型进一步设置为,所述箱门正面两侧皆设置有把手,且镀膜箱正面顶端转动连接有与箱门配合的固定转把。
11.通过采用上述技术方案,把手可便于打开箱门,固定转把可固定箱门。
12.本实用新型进一步设置为,所述新风泵组一端皆可拆卸连接有过滤器,安装有所述转动电机的安装板外侧面设置有包裹转动电机与锥形齿轮的保护壳。
13.通过采用上述技术方案,过滤器可过滤新风泵组换气时带出的镀膜气体,防止其污染空气,保护壳可防止软管干扰锥形齿轮的转动。
14.本实用新型进一步设置为,所述隔板顶面一侧安装有驱动电机,且驱动电机输出端通过链条与正反丝杆连接。
15.通过采用上述技术方案,驱动电机可通过链条控制正反丝杆的转动以带动安装板移动。
16.综上所述,本实用新型主要具有以下有益效果:
17.1、本实用新型通过在安装板上皆转动连接三角夹具,且其中一个三角夹具由转动电机驱动旋转,在安装板内侧皆设置通过微型气泵与储液箱连接的第二喷头,工作时,三角夹具带动工具旋转,通过第一喷头对工具侧面进行喷涂镀层,第二喷头可通过微型气泵对工具两端进行喷涂,镀层更加均匀;
18.2、本实用新型通过在箱门正面底端滑动连接支撑板,且支撑板另一端与镀膜箱底端滑动连接,打开箱门后,支撑板可支撑箱门,使箱门水平,即可使箱门作为临时工作台暂时放置物品。
附图说明
19.图1为本实用新型第一视角的结构示意图;
20.图2为本实用新型第二视角的结构示意图;
21.图3为本实用新型的剖视图;
22.图4为本实用新型图3中a的放大图。
23.图中:1、镀膜箱;2、箱门;3、把手;4、支撑板;5、固定转把;6、真空泵;7、新风泵组;8、过滤器;9、隔板;10、安装板;11、正反丝杆;12、驱动电机;13、三角夹具;14、转动电机;15、锥形齿轮;16、保护壳;17、储液箱;18、电压发射器;19、第一喷头;20、软管;21、微型气泵;22、第二喷头。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
25.下面根据本实用新型的整体结构,对其实施例进行说明。
26.一种pvd工具真空镀膜机,如图1-4所示,包括镀膜箱1,镀膜箱1正面转动连接有箱门2,可支撑箱门2,且箱门2正面底端滑动连接有另一端与镀膜箱1正面底端滑动连接的支撑板4,可支撑箱门2,在箱门2打开时固定至水平,镀膜箱1顶部安装有输入端与镀膜箱1连接的真空泵6,可将镀膜箱1内抽至趋向真空,且镀膜箱1背面安装有新风泵组7,可对镀膜箱1内的空气进行更换以及破真空,镀膜箱1内部地面设置有储液箱17,可储存镀膜液,且储液箱17内部安装有多根电压发射器18,可使镀膜液雾化,储液箱17顶部箱盖顶面安装有多个
第一喷头19,可将雾化的镀膜液喷向工具,镀膜箱1内部上方设置有隔板9,且隔板9底面滑动连接有一组安装板10,隔板9顶面转动连接有两端分别与两个安装板10螺纹连接的正反丝杆11,正反丝杆11转动可通过安装板10控制三角夹具13夹紧或松开工具,且两块安装板10上皆转动连接有相互配合的三角夹具13,一块安装板10外侧面安装有转动电机14,且转动电机14输出端与一个三角夹具13尾端皆连接有相互啮合的锥形齿轮15,转动电机14可通过锥形齿轮15带动三角夹具13转动,安装板10外侧面皆安装有一组微型气泵21,且微型气泵21输入端皆连接有与储液箱17箱盖连接的软管20,微型气泵21输出端皆连接有位于安装板10内侧的第二喷头22,微型气泵21可使用软管20将雾化液抽取通过第二喷头22喷向工具两端。
27.请参阅图2,镀膜箱1正面开口边缘设置有与箱门2配合的硅胶垫,可使箱门2的密封性更好,防止镀膜箱漏真空。
28.请参阅图2,箱门2正面两侧皆设置有把手3,可便于打开箱门2,且镀膜箱1正面顶端转动连接有与箱门2配合的固定转把5,可固定箱门2。
29.请参阅图1和图4,新风泵组7一端皆可拆卸连接有过滤器8,可过滤新风泵组7换气时带出的镀膜气体,防止其污染空气,安装有转动电机14的安装板10外侧面设置有包裹转动电机14与锥形齿轮15的保护壳16,可防止软管20干扰锥形齿轮15的转动。
30.请参阅图3,隔板9顶面一侧安装有驱动电机12,且驱动电机12输出端通过链条与正反丝杆11连接,驱动电机12可通过链条控制正反丝杆11的转动以带动安装板10移动。
31.本实用新型的工作原理为:使用时,转动固定转把5,即可通过把手3打开箱门2,支撑板4可支撑箱门2,使箱门2固定至水平,可将箱门2作为临时工作台放置物品,接着将需要镀膜的工具放置在三角夹具13之间,启动驱动电机12,带动安装板10移动,使三角夹具13夹紧工具,即可关闭箱门2,再转动固定转把5将箱门2固定,启动真空泵6,将镀膜箱1内的空气抽出,使镀膜箱1内趋向真空,接着启动电压发射器18,将储液箱17内的液体雾化,同时启动转动电机14与微型气泵21,雾化的镀膜液经过第一喷头19喷向工具侧面,且微型气泵21通过软管20将雾化液抽出通过第二喷头22喷向工具两端,同时转动电机14通过锥形齿轮15带动工具旋转,使雾化液可更均匀的粘附在工具表面,镀膜完成后,转动电机14、电压发射器18与微型气泵21停止工作,新风泵组7工作,将镀膜箱1内填满空气,同时进行多次循环,使过滤器8将镀膜箱1内的雾化液过滤去除,即可转动固定转把5打开箱门2,再控制驱动电机12松开工具,即可取出镀膜完成的工具。
32.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,但本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释,其并不是对实用新型的限制,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合,本领域技术人员在阅读完本说明书后可在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下,可以根据需要对实施例做出没有创造性贡献的修改、替换和变型等,但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
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