涂布系统的制作方法

1.本实用新型涉及光阻应用技术领域，具体涉及一种涂布系统。


背景技术：

2.涂布管路的工作原理为，在恒定的动力下(cda，氮气)，涂布液(光阻)沿着管路流动，管路各机构通过电磁阀控制开合，后进入涂布模头压出而把涂布液均匀的转移到基板上。相关技术中，清洁组件的清洗液与通过涂布液罐进入涂布液管路系统，最终从涂布模头排出，存在清洗效率低和清洗时间长的问题。


技术实现要素：

3.本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种涂布系统。该涂布系统具有清洁效率高的优点。
4.本实用新型实施例的涂布系统包括涂布组件和清洁组件，所述涂布组件包括涂布液罐、涂布模头、涂布液管道和涂布泵；所述涂布液管道连通所述涂布液罐和涂布模头，所述涂布泵设在所述涂布液管道上，所述清洁组件包括清洁液罐、第一清洁管路和第二清洁管路，所述第一清洁管路连通所述清洁液罐和所述涂布液罐，所述第二清洁管路与所述涂布液管道、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少一者连通。例如，所述第二清洁管路连通清洁液罐与涂布液管道；或所述第二清洁管路连通清洁液罐与涂布泵；或者所述第二清洁管路连通清洁液罐与涂布模头。
5.本实用新型实施例的涂布系统，通过第一清洁管路与涂布液罐连通，再通过第二清洁管路与所述涂布液管道、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少一者连通，第二清洁管路中的清洁液不需要再流经涂布液罐，可以缩减第二清洁管路中清洁液的行程。由此，该涂布系统大大提升清洁的效率。
6.因此，本实用新型实施例的涂布系统具有清洁效率高的优点。
7.在一些实施例中，所述涂布组件还包括涂布液缓存罐，所述涂布液管道包括第一涂布液管段和第二涂布液管段，所述第一涂布液管段连通所述涂布液缓存罐和所述涂布液罐，所述第二涂布液管段连通所述涂布液缓存罐和所述涂布模头，所述第二清洁管路与所述第一涂布液管段和所述第二涂布液管段中的至少一者连通。
8.在一些实施例中，所述涂布系统还包括第一控制阀和第二控制阀，所述第一控制阀设在所述第一涂布液管道上，所述第二控制阀设在所述第二涂布液管道上，所述第二清洁管路与所述第一控制阀和所述第二控制阀中的至少一者连通。
9.在一些实施例中，所述涂布组件还包括过滤器和第三控制阀，所述第一涂布液管段包括第一分管段和第二分管段，所述第一分管段连通所述过滤器和所述涂布液罐，所述第二分管段连通所述过滤器和所述涂布液缓存罐，所述第一控制阀设置在所述第一分管段上，所述第三控制阀设置在所述第二分管段上。
10.在一些实施例中，所述第二清洁管路有至少两个，至少两个所述第二清洁管路与
所述第一分管段、所述过滤器、所述第二分管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段、所述涂布泵和所述涂布模头中的至少两个一一对应地连通。
11.在一些实施例中，所述涂布系统还包括废液组件，所述废液组件包括废液罐、第一废液管路和第二废液管路，所述第一废液管路与所述涂布模头连通构成第一回液通路，所述第二废液管路与所述涂布液罐、所述第一涂布液管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段和所述涂布泵连通构成第二回液通路。
12.在一些实施例中，所述第二废液管路有至少两个，至少两个所述第二废液管路与所述涂布液罐、所述第一涂布液管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段和所述涂布泵中的至少两个一一对应地连通。
13.在一些实施例中，多个所述第二清洁管路一一对应地与所述第一涂布液管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段、所述涂布泵和所述涂布模头连通，多个所述第二废液管路一一对应地与所述涂布液罐、所述第一涂布液管段、所述涂布液缓存罐、所述第二涂布液管段和所述涂布泵连通以便形成多个回液通路。
14.在一些实施例中，所述涂布系统还包括动力组件，所述动力组件包括气源和多个动力管路，多个所述动力管路与每个所述回液通路一一对应地连通。
15.在一些实施例中，所述废液组件还包括废液缓存罐和废液主管，所述第一废液管路和所述第二废液管路中的每一者均与所述废液缓存罐连通，所述废液主管连通所述废液缓存罐和所述废液罐。
16.在一些实施例中，所述涂布液管道还包括第三涂布液管段，所述涂布液罐包括第一涂布液罐和第二涂布液罐，所述第三涂布液管段连通所述第一涂布液罐和所述第二涂布液罐。
17.在一些实施例中，所述清洁液罐包括第一清洁液罐和第二清洁液罐，所述第一清洁液罐通过所述第二清洁管路连通所述涂布液管道、所述涂布泵及所述涂布模头中的至少一者。
附图说明
18.图1是本实用新型一个实施例的涂布系统的总布置图。
19.图2是图1中部分示意图，下侧。
20.图3是图1中部分示意图，上侧。
21.图4是本实用新型实施例的涂布组件的布置图。
22.图5是本实用新型实施例的涂布组件和清洗组件的布置图。
23.附图标记：
24.涂布系统100；
25.涂布组件1；涂布液罐11；第一涂布液罐111；第二涂布液罐112；
26.过滤器12；涂布液缓存罐13；涂布泵14；涂布模头15；
27.涂布液管道16；第一涂布液管段161；第一分管段1611；第二分管段1612；第二涂布液管段162；第三涂布液管段163；
28.清洁组件2；清洁液罐21；第一清洁液罐211；第二清洁液罐212；第一清洁管路22；第二清洁管路23；
29.废液组件3；废液罐31；第一废液管路32；第二废液管路33；废液缓存罐34；废液主管35；
30.第一控制阀41；第二控制阀42；第三控制阀43。
具体实施方式
31.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
32.下面参考图1至图5描述本实用新型实施例的涂布系统100。
33.本实用新型实施例的涂布系统100包括涂布组件1和清洁组件2。
34.涂布组件1包括涂布液罐11、涂布模头15、涂布液管道16和涂布泵14；涂布液管道16连通涂布液罐11和涂布模头15，涂布泵14设在涂布液管道16上。清洁组件2包括清洁液罐21、第一清洁管路22和第二清洁管路23，第一清洁管路22连通清洁液罐21和涂布液罐11，第二清洁管路23与涂布液管道16、涂布泵14和涂布模头15中的至少一者连通。例如，第一清洁管路22连通清洁液罐21和涂布液管道16；或第二清洁管路23连通清洁液罐21和涂布泵14，或第二清洁管路23连通清洁液罐21和涂布模头15。
35.其中，在涂布系统100进行涂布过程中，涂布液在涂布泵14的作用下，由涂布液罐11通过涂布液管道16流向涂布模头15，通过涂布模头15对待涂布件进行涂布。在涂布作业结束后，通过清洁组件2对涂布组件1进行清洗。
36.本实用新型实施例的涂布系统100，通过第一清洁管路22与涂布液罐11连通，此外通过第二清洁管路23与涂布液管道16、涂布泵14和涂布模头15中的至少一者连通，第二清洁管路23中的清洁液不需要再流经涂布液罐11后流向涂布组件的后端(以涂布液的流向区分涂布组件的前端和涂布组件的后端，前端为具有涂布液罐11的一端)，由此通过第一清洁管路22和第二清洁管路23可以大大提升清洁的效率。
37.因此，本实用新型实施例的涂布系统100具有清洁效率高的优点。
38.如图1和图2所示，涂布组件1还包括涂布液缓存罐13，涂布液管道16包括第一涂布液管段161和第二涂布液管段162，第一涂布液管段161连通涂布液缓存罐13和涂布液罐11，第二涂布液管段162连通涂布液缓存罐13和涂布模头15，第二清洁管路23与第一涂布液管段161和第二涂布液管段162中的至少一者连通。
39.本实用新型实施例的涂布系统100，通过设置的涂布液缓存罐13，以便在涂布模头15或涂布泵14发生故障时，可以通过涂布液缓存罐13对涂布液管道16内的涂布液进行缓存，有利于涂布液的补充和更换，从而大大提高涂布系统100的涂布作业的灵活性和连续性。
40.如图1和图2所示，涂布系统100还包括第一控制阀41和第二控制阀42，第一控制阀41设在第一涂布液管道16上，第二控制阀42设在第二涂布液管道16上，第二清洁管路23与第一控制阀41和第二控制阀42中的至少一者连通。
41.本实用新型实施例的涂布系统100，通过设置第一控制阀41和第二控制阀42，以便在进行清洗作业时，可以控制第一涂布液管道16与第二涂布液管道16上的第一控制阀41和第二控制阀42改变清洗液的流向和行程，进一步提升了清洁液清洁的灵活性。
42.具体地，第一控制阀41和第二控制阀42中的每一者均为三通阀，第一控制阀41和第二控制阀42中的其中一个阀口可以直接与外界连通以在清洗清洁组件2的过程中及时将清洁组件2流经的清洁液及时排出。
43.例如，第一涂布液管段161具有第一进液口、第一排液口和第二排液口，第一涂布液管段161和第二涂布液管段162上设置对应地三通阀，第一进液口与涂布液罐11连通，第一排液口与涂布液缓存罐13连通，第二排液口与外界连通，以便在关闭三通阀时，可以实现对涂布液罐11的单独的清洗，并将清洗后的废液及时地通过第二排液口排出。由此，进一步提升涂布系统清洗的便捷性和效率。
44.同理地，第二涂布液管段162具有第二进液口、第三排液口和第四排液口，第二进液口与涂布液缓存罐13的出液口连通，第三排液口与涂布模头15连通，第四排液口与外界连通，可以实现对涂布液缓存罐13的单独的清洗，并将清洗后的废液及时地通过第四排液口排出。由此，进一步提升清洗的便捷性和效率。
45.如图1和图2所示，涂布组件1还包括过滤器12和第三控制阀43，第一涂布液管段161包括第一分管段1611和第二分管段1612，第一分管段1611连通过滤器12和涂布液罐11，第二分管段1612连通过滤器12和涂布液缓存罐13，第一控制阀41设置在第一分管段1611上，第三控制阀43设置在第二分管段1612上。
46.本实用新型实施例的涂布系统100，通过设置中的过滤器12，可以对涂布液中的杂质进行过滤，提升了进入涂布模头15内的涂布液的质量，进而提升了涂布的质量和涂布模头15的使用寿命。此外，通过设置的第三控制阀43将第一涂布液管段161分隔为第一分管段1611和第二分管段1612，可以通过控制第三控制阀43的关闭。由此进一步缩减清洗液的行程和提升清洁作业的灵活性。
47.可选地，第三控制阀43为三通阀，其中该三通阀的其中一个阀口可以直接与外界连通以在清洗清洁组件2的过程中及时将清洁组件2流经的清洁液及时排出。由此，进一步提升清洁的效率和提升清洁作业的灵活性。
48.如图1和图5所示，第二清洁管路23有至少两个，至少两个第二清洁管路23与第一分管段1611、过滤器12、第二分管段1612、涂布液缓存罐13、第二涂布液管段162、涂布泵14和涂布模头15中的至少两个一一对应地连通。换言之，清洁组件2包括清洁液罐21、第一清洁管路22和至少两个第二清洁管路23。
49.本实用新型实施例的涂布系统100，通过将第二清洁管路23设置成至少两个，通过第一清洁管路22与涂布液罐11连通，至少两个第二清洁管路23与涂布液管道16、涂布泵14和涂布模头15中的至少两者连通，第二清洁管路23中的清洁液不需要再流经涂布液罐11，而是直接通入与第二清洁管路23连通的涂布组件1(涂布模头15、涂布液管道16和涂布泵14)内，进一步缩减了每个清洗管路所对应的行程。由此，进一步提升清洁的效率。
50.涂布系统100还包括废液组件3，废液组件3包括废液罐31、第一废液管路32和第二废液管路33，第一废液管路32与涂布模头15连通构成第一回液通路，第二废液管路33与涂布液罐11、第一涂布液管段161、涂布液缓存罐13、第二涂布液管段162和涂布泵14连通构成第二回液通路。
51.本实用新型实施例的涂布系统100，通过设置废液罐31，可以对涂布系统100中清洁过程中产生的废液进行收集，有利于实现废液的集约化处理。此外，通过设置的第一废液
管路32和第二废液管路33，可以及时将其中的废液排出，进一步提升了清洁的效率。
52.如图1和图2所示，第二废液管路33有至少两个，至少两个第二废液管路33与涂布液罐11、第一涂布液管段161、涂布液缓存罐13、第二涂布液管段162和涂布泵14中的至少两个一一对应地连通。换言之，废液组件3包括废液罐31、第一废液管路32和至少两个第二废液管路33。
53.本实用新型实施例的涂布系统100，通过设置废液罐31，可以对涂布系统100中清洁过程中产生的废液进行收集，有利于实现废液的集约化处理。此外，通过设置的第一废液管路32和第二废液管路33，可以及时将涂布系统中的废液排出，进一步提升了涂布系统100的清洁的效率。
54.如图1和图2所示，多个第二清洁管路23一一对应地与第一涂布液管段161、涂布液缓存罐13、第二涂布液管段162、涂布泵14和涂布模头15连通，多个第二废液管路33一一对应地与涂布液罐11、第一涂布液管段161、涂布液缓存罐13、第二涂布液管段162和涂布泵14连通以便形成多个回液通路。
55.本实用新型实施例的涂布系统100，通过设置第一清洁管路22和多个第二清洁管路23、涂布组件1、第一废液管路32和多个第二废液管路33构成的多个回液通路，使清洁液可以独立的流经涂布组件1，实现对涂布组件1的独立的清洁，具有进一步提升清洁的效率的优点。
56.可选地，涂布液罐11、涂布液缓存罐13、涂布泵14和涂布模头15中相邻的元件之间设有截止阀。
57.例如，第二清洁管路23具有五个，五个第二清洁管路23并联设置，以便第二清洁管路23一一对应地将第一涂布液管段161、涂布液缓存罐13、第二涂布液管段162、涂布泵14和涂布模头15独立连通，第一清洁管路22与涂布液罐11单独连通，可以使清洁液流经涂布液罐11后直接排出，实现对涂布液罐11的单独清洁。同理，第二清洁管路23亦是如此，以便控制清洁液可以独立的流经涂布组件1中各个组件(例如，涂布液罐11、涂布液缓存罐13、涂布泵14和涂布模头15等)内，实现对涂布组件1的独立的清洁。由此进一步提升清洁的效率。
58.同理，第二废液管路33具有五个，五个第二清洁管路23并联设置以便将涂布液罐11、第一涂布液管段161、涂布液缓存罐13、第二涂布液管段162和涂布泵14连通，以便第一清洁管路22、五个第二清洁管路23、第一废液管路32、五个第二废液管路33与涂布组件1对应的各个组件形成多个回液通路，进一步提升清洁的效率和清洁的灵活性。
59.涂布系统100还包括动力组件，动力组件包括气源和多个动力管路，多个动力管路与每个回液通路一一对应地连通。
60.可选地，动力管路与回液通路之间均设有单向控制阀，以便实现对每个回液通路进行单独的控制。
61.本实用新型实施例的涂布系统100，通过设置的动力组件可以实现对回液通路对应地的控制，有利于实现涂布系统100的自动化的涂布、清洁及废液的收集，具有涂布、清洁和废液收集效率高的优点。
62.如图1和图2所示，废液组件3还包括废液缓存罐34和废液主管35，第一废液管路32和第二废液管路33中的每一者均与废液缓存罐34连通，废液主管35连通废液缓存罐34和废液罐31。
63.本实用新型实施例的涂布系统100，通过废液缓存罐34和废液主管35可以将废液进行缓存，有利于废液罐31的更换，从而进一步提高涂布系统100的清洁作业的灵活性和连续性。此外，通过废液主管35对废液缓存罐34进行排出，具有节省第一废液管路32和第二废液管路33布置长度。由此，具有节省管道布置成本的优点。
64.如图1和图2所示，涂布液管道16还包括第三涂布液管段163，涂布液罐11包括第一涂布液罐111和第二涂布液罐112，第三涂布液管段163连通第一涂布液罐111和第二涂布液罐112。
65.本实用新型实施例的涂布系统100，通过设置第一涂布液罐111和第二涂布液罐112，有利于涂布液的补充和更换，从而进一步提高涂布系统100的涂布作业的灵活性和连续性。
66.如图1和图3所示，清洁液罐21包括第一清洁液罐211和第二清洁液罐212，第一清洁液罐211通过第二清洁管路23连通涂布液管道16、涂布泵14及涂布模头15中的至少一者。
67.本实用新型实施例的涂布系统100，通过设置两个清洁液罐21，可以有利于实现对清洁液罐21的更换。由此，进一步提高了涂布系统100的清洁作业的灵活性和连续性。
68.本实用新型实施例的涂布系统100的在涂布过程中，涂布液从第一清洁液罐211或第二清洁液罐212流出，通过第一分管段1611、过滤器12、第二分管段1612、涂布液缓存罐13、第二涂布液管段162、涂布泵14，最终到达涂布模头15。
69.本实用新型实施例的涂布系统100的在清洁过程中，清洁液从清洁液罐21泵出可以通过管道流入第一涂布液罐111和/或第二涂布液罐112，通过多个第二废液管路33中的一者的流入废液罐31，进一步提升每个清洗管路所对应地行程范围。由此，进一步提升了清洗的便捷性。
70.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
71.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
72.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连通”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接连通，也可以通过中间媒介间接连通，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
73.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅
表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
74.在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
75.尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。