一种用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置的制作方法

1.本实用新型涉及半导体尾气技术领域，具体为一种用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置。


背景技术：

2.在半导体工艺制程中，需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体，这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用会产生废气。
3.现有专利(公告号为cn202121195420.1)及一种膜分离氦气提纯设备，及膜分离氦气提纯设备，可以处理纯度为30～50％的原料氦气，并产出纯度为99.9～99.99％的成品氦气，解决了膜分离提纯氦气纯度低的难题，但是单单通过两层膜完成分离，两层膜之间残留的气体无法释放，同时氦气缺乏引流的方向，使得提纯效果较低。
4.因此，我们提出一种用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置，有利于避免多层渗透膜之间气体不断残留导致压力过大，同时增压引导性，使得氦气提纯效果更高。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置，以解决上述背景技术中提出的单单通过两层膜完成分离，两层膜之间残留的气体无法释放，同时氦气缺乏引流的方向，使得提纯效果较低的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置，包括筒体，所述筒体内壁自左向右依次等距安装有第一渗透膜、第二渗透膜和第三渗透膜，通过第一渗透膜、第二渗透膜和第三渗透膜依次将筒体自右向右划分有第一腔体、第二腔体、第三腔体和提纯腔，所述第一腔体、第二腔体和第三腔体底部分别安装有第一压力传感器、第二压力传感器和第三压力传感器，所述第一腔体、第二腔体和第三腔体顶部分别连通有第一电控阀、第二电控阀和第三电控阀，所述第一压力传感器、第二压力传感器和第三压力传感器的信号输出端分别对应第一电控阀、第二电控阀和第三电控阀的信号输入端。
7.优选的，所述提纯腔内安装有负压泵，所述负压泵左端设置有阀体。
8.优选的，所述筒体右端连通有进气管，所述筒体左端连通出气管。
9.优选的，所述筒体内壁等距安装有环体。
10.优选的，所述第一渗透膜对应环体卡合固定。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1)本实用新型的用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置，通过第一渗透膜、第二渗透膜和第三渗透膜和压力传感器的设置，通过第一压力传感器、第二压力传感器和第三压力传感器对第一腔体、第二腔体、第三腔体内压力进行检测，当第一腔体、第二腔体、第三腔体内压力大于阈值时通过第一电控阀、第二电控阀和第三电控阀完成泄压，同时将其他气体排出，有利于避免多层渗透膜之间气体不断残留导致压力过大，同时有利于氦气的
提纯效果。
13.2)本实用新型的用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置，通过负压泵、第一腔体、第二腔体和第三腔体的设置，气体依次进入第一腔体、第二腔体和第三腔体压力逐渐减少，导致膜渗透效率较低，通过右端进气加压，左端负压形成引流效果，使得提纯时间缩短效果更高。
附图说明
14.图1为本实用新型用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置的结构示意图；
15.图2为本实用新型用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置的结构示意图；
16.图3为本实用新型用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置的结构示意图。
17.图中：1、筒体；2、负压泵；3、第三腔体；4、第三电控阀；5、第二腔体；6、第二电控阀；7、第一腔体；8、第一电控阀；9、进气管；10、第一压力传感器；11、第一渗透膜；12、第二压力传感器；13、第二渗透膜；14、第三压力传感器；15、第三渗透膜；16、出气管；17、提纯腔；18、环体。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
20.实施例：
21.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于半导体尾气处理前端的氦气提纯装置，包括筒体1，所述筒体1内壁自左向右依次等距安装有第一渗透膜11、第二渗透膜13和第三渗透膜15，通过第一渗透膜11、第二渗透膜13和第三渗透膜15依次将筒体1自右向右划分有第一腔体7、第二腔体5、第三腔体3和提纯腔17，所述第一腔体7、第二腔体5和第三腔体3底部分别安装有第一压力传感器10、第二压力传感器12和第三压力传感器14，所述第一腔体7、第二腔体5和第三腔体3顶部分别连通有第一电控阀8、第二电控阀6和第三电控阀4，所述第一压力传感器10、第二压力传感器12和第三压力传感器14的信号输出端分别对应第一电控阀8、第二电控阀6和第三电控阀4的信号输入端；
22.通过第一压力传感器10、第二压力传感器12和第三压力传感器14对第一腔体7、第二腔体5、第三腔体3内压力进行检测，当第一腔体7、第二腔体5、第三腔体3内压力大于阈值时通过第一电控阀8、第二电控阀6和第三电控阀4完成泄压，同时将其他气体排出，气体依次进入第一腔体7、第二腔体5和第三腔体3压力逐渐减少，导致膜渗透效率较低，通过右端进气加压，左端负压形成引流效果，使得提纯时间缩短效果更高。
23.其中，所述提纯腔17内安装有负压泵2，所述负压泵2左端设置有阀体；
24.通过右端进气形成加压，左端负压形成引流效果，使得提纯时间缩短效果更高。
25.其中，所述筒体1右端连通有进气管9，所述筒体1左端连通出气管16；
26.外部尾气通过进气管9进入筒体1内，氦气通过出气管16排出。
27.其中，所述筒体1内壁等距安装有环体18；
28.环体18便于对渗透膜完成固定。
29.其中，所述第一渗透膜11对应环体18卡合固定；
30.通过将第一渗透膜11、第二渗透膜13和第三渗透膜15分别对应环体18相卡合。
31.工作原理：外部尾气通过进气管9进入筒体1内，氦气通过出气管16排出，通过第一压力传感器10、第二压力传感器12和第三压力传感器14对第一腔体7、第二腔体5、第三腔体3内压力进行检测，当第一腔体7、第二腔体5、第三腔体3内压力大于阈值时通过第一电控阀8、第二电控阀6和第三电控阀4完成泄压，同时将其他气体排出，气体依次进入第一腔体7、第二腔体5和第三腔体3压力逐渐减少，导致膜渗透效率较低，通过右端进气加压，左端负压形成引流效果。
32.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型；因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。