一种单晶炉氩气回收处理循环利用装置的制作方法

：
1.本实用新型涉及单晶炉氩气回收技术领域，具体为一种单晶炉氩气回收处理循环利用装置。


背景技术：

2.在生产单晶硅时，会向单晶炉中通入氩气进行反应保护，同时会使用真空泵抽出单晶炉内的尾气，尾气主要成分为氩气，同时尾气中含有大量的固体杂质、氢气、和二氧化碳等杂质，该尾气直接排放会造成氩气资源的浪费，故需要用到氩气回收处理循环利用装置对氩气进行回收利用；
3.在回收利用氩气时会用到过滤箱将滤除氩气中的固体杂质，然而一段时间之后固体杂质堵塞过滤箱中的过滤网导致过滤速度变慢，降低氩气回收处理循环利用效率。为此，提出一种单晶炉氩气回收处理循环利用装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种单晶炉氩气回收处理循环利用装置，以解决上述背景技术中提出的问题之一。
5.本实用新型由如下技术方案实施：一种单晶炉氩气回收处理循环利用装置，包括循环组件和过滤组件，所述循环组件包括过滤箱，所述过滤组件包括过滤网、螺杆、螺母座、连接板、毛刷、安装板、电机、密封套、第一齿轮、第二齿轮、导向杆、下料斗、下料管、橡胶塞和控制器；
6.所述过滤箱的内侧壁安装有过滤网，所述过滤箱的内侧壁通过轴承转动连接有螺杆，所述螺杆的外侧壁螺纹连接有螺母座，所述螺母座的一侧焊接有连接板，所述连接板的一侧均匀设有毛刷，所述过滤箱的前表面一侧焊接有安装板，所述安装板的上表面安装有电机，所述过滤箱的前表面一侧开设有通孔，所述过滤箱通过通孔固定连接有密封套，所述电机的输出轴一端穿过密封套且固定连接有第一齿轮，所述螺杆的外侧壁一侧焊接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮啮合连接，通过电机的输出轴一端转动带动第一齿轮转动，继而可以带动第二齿轮和螺杆转动，使螺母座沿螺杆的外侧壁移动，从而可以带动连接板和毛刷转动，使毛刷拂扫过滤网的表面，将过滤网表面的固体杂质扫落。
7.作为本技术方案的进一步优选的：所述过滤箱的内侧壁对称焊接有两个导向杆，所述导向杆与螺母座滑动连接，螺母座滑动于导向杆的外侧壁，可防止螺母座随螺杆的转动而转动。
8.作为本技术方案的进一步优选的：所述过滤箱的下表面一侧连通有下料斗，所述下料斗的下表面连通有下料管，所述下料管的下表面设有橡胶塞，取下橡胶塞可使固体杂质沿下料管排出。
9.作为本技术方案的进一步优选的：所述过滤箱前表面靠近安装板的一侧安装有控制器，所述控制器的电性输出端通过导线与电机的电性输入端电性连接，便于控制电机。
10.作为本技术方案的进一步优选的：所述循环组件还包括单晶炉、真空泵、原料压缩机、除氧箱、预冷箱、纯化箱、换热器、低温精馏塔和产品压缩机，所述单晶炉的一侧通过管道连通有过滤箱，所述真空泵的进气口一端通过管道与过滤箱的一侧连通，所述真空泵的出气口一端通过管道连通有原料压缩机，真空泵提供吸力，将单晶炉排出的氩气抽取作为原料氩气，原料氩气经过过滤箱被滤掉固体杂质，随后经过原料压缩机压缩到所需压力。
11.作为本技术方案的进一步优选的：所述原料压缩机的一侧通过管道连通有除氧箱，所述除氧箱的一侧通过管道连通有预冷箱，所述预冷箱的一侧通过管道连通有纯化箱，原料氩气进入除氧箱在催化反应作用下除去原料氩气中氧气，再经过预冷箱降温，再经过纯化箱除去原料氩气中水分和二氧化碳等碳氢化物杂质。
12.作为本技术方案的进一步优选的：所述纯化箱的一侧通过管道连通有换热器，所述换热器的一侧通过管道连通有低温精馏塔，洁净的原料氩气进入换热器换热后进入低温精馏塔，利用低温精馏工艺提纯原料氩气获得合格的氩气产品。
13.作为本技术方案的进一步优选的：所述低温精馏塔的一侧连通有产品压缩机，所述产品压缩机的一侧通过管道与单晶炉的进气管道连通，产品压缩机将氩气产品压缩到单晶炉所需压力，将氩气产品输送进单晶炉供单晶炉使用。
14.本实用新型的优点：本实用新型通过电机的输出轴一端转动带动第一齿轮转动，继而可以带动第二齿轮和螺杆转动，使螺母座沿螺杆的外侧壁移动，从而可以带动连接板和毛刷转动，使毛刷拂扫过滤网的表面，将过滤网表面的固体杂质扫落，避免固体杂质堵塞过滤网导致过滤速度变慢，提高氩气循环利用效率。
附图说明：
15.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
16.图1为本实用新型的主视结构示意图；
17.图2为本实用新型中图1的a区结构放大图；
18.图3为本实用新型中过滤箱的内部结构示意图；
19.图4为本实用新型中图3的b区结构放大图；
20.图5为本实用新型中部分过滤组件的结构示意图。
21.图中：10、循环组件；11、单晶炉；12、过滤箱；13、真空泵；14、原料压缩机；15、除氧箱；16、预冷箱；17、纯化箱；18、换热器；19、低温精馏塔；110、产品压缩机；20、过滤组件；21、过滤网；22、螺杆；23、螺母座；24、连接板；25、毛刷；26、安装板；27、电机；28、密封套；29、第一齿轮；210、第二齿轮；211、导向杆；212、下料斗；213、下料管；214、橡胶塞；215、控制器。
具体实施方式：
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.实施例
24.请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种单晶炉氩气回收处理循环利用装置，包括循环组件10和过滤组件20，循环组件10包括过滤箱12，过滤组件20包括过滤网21、螺杆22、螺母座23、连接板24、毛刷25、安装板26、电机27、密封套28、第一齿轮29、第二齿轮210、导向杆211、下料斗212、下料管213、橡胶塞214和控制器215；
25.过滤箱12的内侧壁安装有过滤网21，过滤箱12的内侧壁通过轴承转动连接有螺杆22，螺杆22的外侧壁螺纹连接有螺母座23，螺母座23的一侧焊接有连接板24，连接板24的一侧均匀设有毛刷25，过滤箱12的前表面一侧焊接有安装板26，安装板26的上表面安装有电机27，过滤箱12的前表面一侧开设有通孔，过滤箱12通过通孔固定连接有密封套28，电机27的输出轴一端穿过密封套28且固定连接有第一齿轮29，螺杆22的外侧壁一侧焊接有第二齿轮210，第二齿轮210与第一齿轮29啮合连接，过滤网21可将原料氩气中的固体杂质滤下，当螺杆22转动时，螺母座23可沿螺杆22的外侧壁移动，密封套28的设置可增加电机27的输出轴一端转动时过滤箱12的密封性，通过电机27的输出轴一端转动带动第一齿轮29转动，继而可以带动第二齿轮210和螺杆22转动，使螺母座23沿螺杆22的外侧壁移动，从而可以带动连接板24和毛刷25转动，使毛刷25拂扫过滤网21的表面，将过滤网21表面的固体杂质扫落，避免固体杂质堵塞过滤网21导致过滤速度变慢，提高氩气回收循环利用效率。
26.本实施例中，具体的：过滤箱12的内侧壁对称焊接有两个导向杆211，导向杆211与螺母座23滑动连接，螺母座23滑动于导向杆211的外侧壁，可防止螺母座23随螺杆22的转动而转动。
27.本实施例中，具体的：过滤箱12的下表面一侧连通有下料斗212，下料斗212的下表面连通有下料管213，下料管213的下表面设有橡胶塞214，当本实用新型工作时，毛刷25将过滤网21表面的固体杂质扫落，固体杂质在重力作用下落入下料斗212，当需要定期清理下料斗212中的固体杂质时，通过取下橡胶塞214可使固体杂质沿下料管213排出。
28.本实施例中，具体的：过滤箱12前表面靠近安装板26的一侧安装有控制器215，控制器215的电性输出端通过导线与电机27的电性输入端电性连接，便于控制电机27。
29.本实施例中，具体的：循环组件10还包括单晶炉11、真空泵13、原料压缩机14、除氧箱15、预冷箱16、纯化箱17、换热器18、低温精馏塔19和产品压缩机110，单晶炉11的一侧通过管道连通有过滤箱12，真空泵13的进气口一端通过管道与过滤箱12的一侧连通，真空泵13的出气口一端通过管道连通有原料压缩机14，真空泵13提供吸力，将单晶炉11排出的氩气抽取作为原料氩气，原料氩气经过过滤箱12被滤掉固体杂质，随后经过原料压缩机14压缩到所需压力。
30.本实施例中，具体的：原料压缩机14的一侧通过管道连通有除氧箱15，除氧箱15的一侧通过管道连通有预冷箱16，预冷箱16的一侧通过管道连通有纯化箱17，原料氩气进入除氧箱15在催化反应作用下除去原料氩气中氧气，再经过预冷箱16降温，再经过纯化箱17除去原料氩气中水分和二氧化碳等碳氢化物杂质，得到洁净的原料氩气。
31.本实施例中，具体的：纯化箱17的一侧通过管道连通有换热器18，换热器18的一侧通过管道连通有低温精馏塔19，洁净的原料氩气进入换热器18换热后进入低温精馏塔19，利用低温精馏工艺提纯原料氩气获得合格的氩气产品。
32.本实施例中，具体的：低温精馏塔19的一侧连通有产品压缩机110，产品压缩机110的一侧通过管道与单晶炉11的进气管道连通，产品压缩机110将氩气产品压缩到单晶炉11所需压力，将氩气产品输送进单晶炉11供单晶炉11使用，完成氩气的循环利用，避免资源浪费。
33.本实用新型的工作原理为：真空泵13提供吸力，将单晶炉11排出的氩气抽取作为原料氩气，原料氩气经过过滤箱12被滤掉固体杂质，随后经过原料压缩机14压缩到所需压力，原料氩气进入除氧箱15在催化反应作用下除去原料氩气中氧气，再经过预冷箱16降温，再经过纯化箱17除去原料氩气中水分和二氧化碳等碳氢化物杂质，得到洁净的原料氩气，洁净的原料氩气进入换热器18换热后进入低温精馏塔19，利用低温精馏工艺提纯原料氩气获得合格的氩气产品，产品压缩机110将氩气产品压缩到单晶炉11所需压力，将氩气产品输送进单晶炉11供单晶炉11使用，完成氩气的循环利用，避免资源浪费；通过电机27的输出轴一端转动带动第一齿轮29转动，继而可以带动第二齿轮210和螺杆22转动，使螺母座23沿螺杆22的外侧壁移动，从而可以带动连接板24和毛刷25转动，使毛刷25拂扫过滤网21的表面，将过滤网21表面的固体杂质扫落，避免固体杂质堵塞过滤网21导致过滤速度变慢，提高氩气回收循环利用效率。
34.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。