一种小型过滤收集装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种小型过滤收集装置，属于过滤设备技术领域。


背景技术：

2.当今世界与半导体事业是不可分割的，光敏性材料决定半导体设备的各种性能，树脂合成是光敏材料的主要材料之一，树脂作为光刻胶的基本骨架，是其中占比最大的组份，决定曝光后光的主要性能。树脂在合成过程中是由多种有机化学物质合成的，为了保证合成树脂的纯度，在原料端就需要控制有机化学物质的纯度，尽可能过滤原料中的大颗粒或影响纯度的物质。现有技术中存在的常规过滤装置对高粘度产品中杂质过滤效果差、易堵塞管道、过滤连续性差的问题，传统的颗粒物、杂质大多通过滤网、筛网来处理，但是树脂合成原料大多为高粘度流体而且还有副产品的存在，这类物质本身就难以通过滤网、筛网，采用传统的装置处理速度过慢、过滤不精密，而且严重影响工作效率。


技术实现要素：

3.针对上述技术问题，本实用新型提供一种小型过滤收集装置，此装置具有针对高粘度产品中杂质过滤效果好、管道不易堵塞、过滤连续性好的优点。
4.为实现上述目的，本实用新型采取以下技术方案：
5.一种小型过滤收集装置，包括如下各部件：
6.过滤器，所述过滤器内设置有第一过滤部件和第二过滤部件；
7.第一缓冲罐，所述第一缓冲罐的入口与所述过滤器的出口连接；
8.滤囊，所述滤囊的入口通过蠕动泵与所述第一缓冲罐第一出口连接；
9.第二缓冲罐，所述第二缓冲罐的入口与所述滤囊的出口连接。
10.所述的小型过滤收集装置，优选地，所述第一过滤部件为滤筒，所述滤筒通过支架固定在所述过滤器内，所述第二过滤部件为滤板，且位于所述滤筒的下方。
11.所述的小型过滤收集装置，优选地，所述过滤器包括过滤器本体以及覆盖在其上端的上盖。
12.所述的小型过滤收集装置，优选地，所述上盖的边沿设置有一环形卡槽，所述卡槽上均匀布置有若干卡口，便于与所述过滤器本体安装、拆卸。
13.所述的小型过滤收集装置，优选地，所述上盖上设置有进气阀。
14.所述的小型过滤收集装置，优选地，所述第一缓冲罐的第二出口处设置有与抽真空系统连接的真空阀。
15.所述的小型过滤收集装置，优选地，所述第一缓冲罐的第一出口处设置有第二阀门。
16.所述的小型过滤收集装置，优选地，所述蠕动泵还与气泵连接。
17.所述的小型过滤收集装置，优选地，所述第一缓冲罐上还设置有第一放空阀，所述滤囊上设置有第二放空阀，所述第二缓冲罐上设置有第三放空阀。
18.所述的小型过滤收集装置，优选地，所述滤囊与所述第二缓冲罐相连接的管道上设置有第四阀门，所述第二缓冲罐的出口处设置有第三阀门。
19.本实用新型由于采取以上技术方案，其具有以下优点：
20.1、本实用新型装置结构简单、使用操作简便，处理效果好，此装置具有针对高粘度产品中杂质过滤效果好、管道不易堵塞、过滤连续性好的优点。
21.2、本实用新型装置在工作过程中基本在密闭的环境下进行对于传统的方式更加的纯净和环保，避免二次污染。
22.3、本实用新型装置可以单独拆卸也可以一体连接方便清理，所以可应用于不同物料的过滤使用。
附图说明
23.图1为本实用新型一实施例所提供的小型过滤收集装置的整体示意图；
24.图中各标记如下：
25.1-过滤器；2-第一缓冲罐；3-蠕动泵；4-气泵；5-滤囊；6-第二缓冲罐；7-进气阀；8-上盖；9-滤筒；10-滤板；11-第一阀门；12-第二阀门；13-第一放空阀；14-第二放空阀；15-第三阀门；16-第三放空阀；17-十字支架；18-真空阀；19-第四阀门。
具体实施方式
26.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面对本实用新型中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
27.除非另外定义，本实用新型使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型中使用的“第一”、“第二”、“第三”、“第四”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。
28.本实用新型针对现有技术中存在的常规过滤装置对高粘度产品中杂质过滤效果差、易堵塞管道、过滤连续性差的问题，提出一种小型过滤收集装置，其采用二次过滤的方式，而且提高滤袋和滤囊的过滤精度，该装置具有针对高粘度产品中杂质过滤效果好、管道不易堵塞、过滤连续性好的优点。
29.下面结合附图，对本实用新型的技术方案进行详细说明。
30.如图1所示，本实用新型所提供的小型过滤收集装置，包括如下各部件：
31.过滤器1，过滤器1内设置有第一过滤部件和第二过滤部件；第一缓冲罐2，第一缓冲罐2的入口与过滤器1的出口连接；滤囊5，滤囊5的入口通过蠕动泵3与第一缓冲罐2第一出口连接；第二缓冲罐6，第二缓冲罐6的入口与滤囊5的出口连接。
32.在本技术的一些实施例中，第一过滤部件为滤筒9，滤筒9通过支架固定在过滤器1
内，第二过滤部件为滤板10，且位于滤筒9的下方。
33.在本技术的一些实施例中，过滤器1包括过滤器本体以及覆盖在其上端的上盖8。
34.在本技术的一些实施例中，上盖8的边沿设置有一环形卡槽，卡槽上均匀布置有若干卡口，便于与过滤器本体安装、拆卸。
35.在本技术的一些实施例中，上盖8上设置有进气阀7。
36.在本技术的一些实施例中，第一缓冲罐2的第二出口处设置有与抽真空系统连接的真空阀18。
37.在本技术的一些实施例中，第一缓冲罐2的第一出口处设置有第二阀门12。
38.在本技术的一些实施例中，蠕动泵3还与气泵4连接。
39.在本技术的一些实施例中，第一缓冲罐2上还设置有第一放空阀13，滤囊5上设置有第二放空阀14，第二缓冲罐6上设置有第三放空阀16。
40.在本技术的一些实施例中，滤囊5与第二缓冲罐6相连接的管道上设置有第四阀门19，第二缓冲罐6的出口处设置有第三阀门15。
41.本技术还涉及该装置的操作方法，包括如下步骤：将上盖8打开，把滤袋(5μm或10μm)放入滤筒9内，然后关闭好上盖8，通过cda进气阀7加压。通过真空阀18抽真空进行抽滤，此过程是在打开第一阀门11和真空阀18，关闭阀门12和放空阀13的情况下进行的。待过滤结束后，关闭cda进气阀7的气源，并关闭阀门11、真空阀18，打开放空阀13，待压力放空后关闭放空阀13，打开阀门12，打开气泵4、蠕动泵3和第四阀门19，关闭放空阀14(排气后关闭)，通过滤囊5进行再次过滤，其中滤囊精密度为0.2μm、0.1μm两种，便于对树脂进行更好的过滤。此过程需要关闭阀门15，放空阀16定期排气，待滤完后关闭气泵4、气动隔膜泵3、第四阀门19，打开放空阀14进行放压，再打开放空阀16放压，最后打开阀门15进行放料收集。
42.本实用新型装置在工作过程中基本在密闭的环境下进行对于传统的方式更加的纯净和环保，避免二次污染。装置中部件可以单独拆卸也可以一体连接方便清理，所以可应用于不同物料的过滤使用。本实用新型装置结构简单、使用操作简便，处理效果好，此装置具有针对高粘度产品中杂质过滤效果好、管道不易堵塞、过滤连续性好的优点。
43.应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。