化学清洗槽的制作方法

1.本实用新型涉及一种化学清洗槽，特别是涉及一种具有过滤功能的化学清洗槽。


背景技术：

2.在半导体制程中通常利用光阻作为蚀刻屏蔽，以形成预定结构，而在结构成形后需要利用化学液清洗将光阻去除。现有的化学清洗槽通常连接循环管路系统，以使用以去除光阻的化学液能够循环使用，节省使用化学液的成本。
3.由于光阻剥落后会进入化学液中形成杂质，现有的循环管路系统一般使用管路型过滤器来过滤杂质，若未过滤杂质，容易造成管路系统的零件损伤，例如泵(pump)的膜片、加热器等。然而，管路型过滤器通常过滤杂质的粒径偏小，导致更换频率过高，而在更换过滤器时需要停机，影响机台产能效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的一目的在于提供一种能过滤杂质且容易清理杂质的化学清洗槽。
5.本实用新型的化学清洗槽在一些实施态样中，适用于连接循环管路系统以供应化学液以进行剥离光阻制程，该化学清洗槽包含：槽单元、排液过滤单元及进液过滤单元。该槽单元包括主槽体及进液槽体。该主槽体具有底壁及直立连接该底壁的主围壁，该底壁与该主围壁共同形成容置空间。该底壁具有排放孔。该主围壁具有远离该底壁的顶缘。该进液槽体连接该主围壁外侧靠近该顶缘处，并与该主围壁共同形成进液空间，以供化学液自该进液空间溢流进入该容置空间。该排液过滤单元设于该排放孔处，并包括层状上下间隔设置的多个过滤板片。每一个过滤板片具有多个孔洞，其中，位于上层的过滤板片的孔洞的孔径大于位于下层的过滤板片的孔洞的孔径，且位于上层的过滤板片的孔洞位置与位于下层的过滤板片的孔洞位置错位排列。该进液过滤单元直立设置于该主围壁且高出该顶缘并具有至少一过滤网，用以过滤进入该容置空间的化学液。
6.在一些实施态样中，该过滤网的网孔孔径小于所述过滤板片的孔洞的孔径。
7.在一些实施态样中，该过滤网具有框体、设于该框体以由该框体支撑的网体，及多个连接该框体的固定臂，所述固定臂与该框体共同夹置固定于该主围壁上并能够拆离。
8.在一些实施态样中，该框体呈矩形并具有上框段、下框段及分别连接该上框段与该下框段两侧的两个侧框段，每一个固定臂具有自该上框段往下延伸的连结段、自该连结段弯折延伸以抵靠于该顶缘的支撑段，及自该支撑段往下延伸的弹性段，该框体位于该主围壁外侧且所述固定臂的弹性段位于该主围壁内侧，以共同将该主围壁夹置其间。
9.在一些实施态样中，该排液过滤单元还包括直立围绕所述过滤板片的外周壁。
10.本实用新型具有以下功效：通过该排液过滤单元与该进液过滤单元能够减少杂质对该循环管路系统造成的不良影响，且能降低循环使用的化学液中的杂质对制程质量的影响，并延长化学液的使用寿命。而且该排液过滤单元与该进液过滤单元，不仅方便清洁，也容易维修更换，进而能减少停机时间、提升产能。
附图说明
11.本实用新型的其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：
12.图1是本实用新型化学清洗槽的实施例与循环管路系统的进液管部分的立体图；
13.图2是对应图1的俯视图；
14.图3是该实施例的排液过滤单元的立体图；
15.图4是对应图3的立体剖视图；
16.图5是该实施例的进液过滤单元的过滤网的立体图；及
17.图6是图1的局部区域放大图。
具体实施方式
18.参阅图1与图2，本实用新型化学清洗槽100的实施例，适用于连接一循环管路系统200(图中仅示出其进液管的部分)供应化学液以进行剥离光阻制程，该化学清洗槽100包含一槽单元1、一排液过滤单元2及一进液过滤单元3。
19.该槽单元1包括一主槽体11及一进液槽体12。该主槽体11具有一底壁111及直立连接该底壁111的一主围壁112，该底壁111与该主围壁112共同形成一容置空间113。该底壁111具有一排放孔114。该主围壁112具有远离该底壁111的一顶缘112a。该进液槽体12连接该主围壁112外侧靠近该顶缘112a处，并与该主围壁112共同形成一进液空间123，以供化学液自该进液空间123溢流进入该容置空间113。在本实施例中，该进液槽体12具有围绕连接该主围壁112的一承液壁121，及直立连接该承液壁121外周并高出该顶缘112a的一外围壁122。该循环管路系统200的出液管位于该进液空间123。
20.参阅图2至图4，该排液过滤单元2设于该排放孔114处，并包括层状上下间隔设置的多个过滤板片21、22，及直立围绕所述过滤板片21、22的一外周壁23。每一过滤板片21、22具有多个孔洞213、221，其中，位于上层的过滤板片21(下文中称为上层的过滤板片)的孔洞213的孔径大于位于下层的过滤板片22(下文中称为下层的过滤板片)的孔洞221的孔径，且上层的过滤板片21的孔洞213位置与下层的过滤板片22的孔洞221位置错位排列。在本实施例中，具体以两个过滤板片21、22为例说明。下层的过滤板片22与该外周壁23连接。上层的过滤板片21具有一板体211及自该板体211外周弯折往下延伸的一间隔壁212。该板体211形成有所述孔洞213。该间隔壁212的底缘靠抵于下层的过滤板片22，以使该过滤板片21可分离地放置于下层的过滤板片22上，且该板体211与下层的过滤板片22相间隔一段距离，而能提供容置杂质的空间。该外周壁23设有两个固定件24，以通过所述固定件24将该外周壁23可拆地锁固于该底壁111。在变化的实施例，可视需求调整过滤板片的数量，也可以是两个以上。
21.当排放化学液时，化学液通过该排液过滤单元2进入该循环管路系统200连接该排放孔114的管路，化学液中粒径较大的杂质可由上层的过滤板片21先过滤出来，留在上层的过滤板片21上，粒径小于上层的过滤板片21的孔洞213的孔径且大于下层的过滤板片22的孔洞221的孔径的杂质，则由下层的过滤板片22过滤，留在下层的过滤板片22上。经过两道过滤的化学液已能过滤掉大部分的杂质，孔洞213、221的孔径大小可视制程中杂质大概的粒径分布来决定。通过在排放化学液时先过滤掉大部分的杂质，能够减少杂质对该循环管路系统200造成的不良影响。累积一定量的杂质后，可以拆下该排液过滤单元2清理杂质。由
于该排液过滤单元2位于该排放孔114，不需要拆装管路，方便拆装清理，也容易维修更换。
22.参阅图1、图5与图6，该进液过滤单元3直立设置于该主围壁112且高出该顶缘112a并具有至少一过滤网30，用以过滤进入该容置空间113的化学液。在本实施例中，是由多个过滤网30共同围绕该主围壁112，以方便拆装。每一个过滤网30具有一框体31、设于该框体31以由该框体31支撑的一网体32，及多个连接该框体31的固定臂33，所述固定臂33与该框体31共同夹置固定于该主围壁112上并可拆离。该框体31呈矩形并具有一上框段311、一下框段312及分别连接该上框段311与该下框段312两侧的两个侧框段313。每一个固定臂33具有自该上框段311往下延伸的一连结段331、自该连结段331弯折延伸以抵靠于该顶缘112a的一支撑段332，及自该支撑段332往下延伸的一弹性段333。该框体31位于该主围壁112外侧且所述固定臂33的弹性段333位于该主围壁112内侧，以共同将该主围壁112夹置其间。所述过滤网30的网孔孔径小于所述过滤板片21、22的孔洞213、221的孔径，能够进一步过滤经由排液过滤单元2排出后再循环使用的化学液中粒径更小的杂质，以降低循环使用的化学液中的杂质对制程质量的影响，并延长化学液的使用寿命。过滤后的杂质会附着在所述过滤网30上或沉积在该进液槽体12上，所述过滤网30能够免工具直接拆卸清洗，不仅方便清洁，也容易维修更换。
23.综上所述，通过该排液过滤单元2与该进液过滤单元3能够减少杂质对该循环管路系统200造成的不良影响，且能降低循环使用的化学液中的杂质对制程质量的影响，并延长化学液的使用寿命。而且该排液过滤单元2与该进液过滤单元3，不仅方便清洁，也容易维修更换，进而能减少停机时间、提升产能。
24.以上所述者，仅为本实用新型的实施例而已，当不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本实用新型的范围。