可快速烘干的汽车芯片用涂胶装置的制作方法

1.本实用新型涉及汽车芯片生产技术领域，具体为可快速烘干的汽车芯片用涂胶装置。


背景技术：

2.在汽车芯片生产过程中需要用到晶圆，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在半导体生产领域，涂胶是在半导体晶片涂覆光刻胶的一种工艺，属于光刻工序，与曝光，显影系统共同构成整个半导体制造过程中最关键、重复次数最多的一道工艺过程，对于提高产品集成度和成品率有着重要影响。
3.但是现有的对汽车芯片生产过程中用到的涂胶设备在涂完胶水后大多都是自然吹干，进而导致胶水干涸的时间过长，且不能及时干涸的胶水极易粘粘上灰尘颗粒，增加硅晶片的报废率，从而增加工作人员的劳动强度，从而降低了对汽车芯片生产的效率。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供可快速烘干的汽车芯片用涂胶装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：可快速烘干的汽车芯片用涂胶装置，包括底座，所述底座的上端分别固定连接有支撑块和两个对称分布的支撑板，两个所述支撑板的一侧分别设有吸风口和热风口，其中一个所述支撑板内设有若干个热电阻丝，所述底座内分别转动连接有第一转轴、第二转轴和第三转轴，所述第一转轴、第二转轴和第三转轴之间通过传动机构传动连接，所述第一转轴与第三转轴的上端均固定连接有扇叶，两个支撑板的底端设有进风口和出风口，所述扇叶设于进风口与出风口的下端，其中一个所述支撑板内设有过滤机构，所述底座上端设有固定机构。
6.在一个优选的实施方式中：所述固定机构包括固定设于底座上端的两个对称分布的固定块，所述固定块内滑动连接有滑板，所述滑板的一侧固定连接有夹板，所述夹板的上端设有凸块，所述滑板与固定块之间连接有弹簧，所述夹板和凸块均与固定块滑动连接。
7.在一个优选的实施方式中：所述过滤机构包括固定设于其中一个支撑板内的吸附网，其中一个所述支撑板的一端滑动连接有毛刷，所述毛刷的一端滑动连接有连接板，所述连接板的下端活动设于底座内，所述连接板的底端转动连接有转盘，所述转盘的底端固定连接有第四转轴，所述第四转轴与底座转动连接，通过转盘的设置，方便了带动毛刷的前后移动。
8.在一个优选的实施方式中：所述传动机构包括固定设于底座内壁上的马达，所述马达上端输出轴、第一转轴和第四转轴的外壁上均固定连接有第一链轮，多个所述第一链轮通过第一链条传动连接，所述马达上端输出轴的外壁上固定连接有第一齿轮，通过第一齿轮与第二齿轮的设置，方便了使两个扇叶的转动方向相反。
9.在一个优选的实施方式中：所述第一齿轮啮合连接有第二齿轮，所述第二齿轮固
定设于第二转轴的外壁上，所述第二转轴与第三转轴的外壁上均设有第二链轮，两个所述第二链轮通过第二链条传动连接，通过第二链条的设置，方便了带动第三转轴的转动。
10.在一个优选的实施方式中：所述支撑块的一端固定连接有气缸，所述气缸的下端固定连接有喷胶头，所述喷胶头通过胶管连接有胶箱，所述胶管的外壁上设有抽泵，通过抽泵的设置，方便了将胶箱内的胶液抽出并喷至物料上。
11.与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：
12.1、本实用新型通过支撑板、吸风口、热风口、热电阻丝、第一转轴、第二转轴、第三转轴、扇叶、进风口、出风口、马达、第一链条、第二链条、喷胶头和胶箱的设置，可对涂胶后的胶水及时进行烘干，避免胶水干涸的时间过长，且能够给避免不能及时干涸的胶水上沾粘上灰尘颗粒，降低了硅晶片的报废率，从而降低了工作人员的劳动强度，增加了对汽车芯片生产的效率，又通过吸附网和毛刷的设置，既能够对底座上的灰尘进行吸附，又能够避免吸附的灰尘造成吸附网堵塞。
13.2、本实用新型通过固定块、滑板、夹板和凸块的设置，可对不同规格的硅晶片进行固定工作，增加了装置使用的便捷性，又通过第二齿轮的设置，方便了使两个扇叶转动方向相反，从而产生不同的风向，增加了底座上端空气的流通性。
附图说明
14.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
15.图1是本实用新型的整体主视剖视结构示意图；
16.图2是本实用新型图1的a处放大结构示意图；
17.图3是本实用新型图1的b处放大结构示意图；
18.图4是本实用新型图1的c处放大结构示意图；
19.图5是本实用新型的整体左视剖视结构示意图；
20.图6是本实用新型的第一转轴、第四转轴、第一链轮和第一链条的连接俯视结构示意图
21.图中：1、底座；2、支撑块；3、支撑板；4、吸风口；5、热风口；6、热电阻丝；7、第一转轴；8、第二转轴；9、第三转轴；10、扇叶；11、进风口；12、出风口；13、固定块；14、滑板；15、夹板；16、凸块；17、吸附网；18、毛刷；19、连接板；20、第四转轴；21、马达；22、第一链条；23、第二齿轮；24、第二链条；25、喷胶头；26、胶箱。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-图6，本实用新型提供技术方案：可快速烘干的汽车芯片用涂胶装置，包括底座1，所述底座1的上端分别固定连接有支撑块2和两个对称分布的支撑板3，两个所述支撑板3的一侧分别设有吸风口4和热风口5，其中一个所述支撑板3内设有若干个热电阻
丝6，所述底座1内分别转动连接有第一转轴7、第二转轴8和第三转轴9，所述第一转轴7、第二转轴8和第三转轴9之间通过传动机构传动连接，所述第一转轴7与第三转轴9的上端均固定连接有扇叶10，两个支撑板3的底端设有进风口11和出风口12，所述扇叶10设于进风口11与出风口12的下端，其中一个所述支撑板3内设有过滤机构，所述底座1上端设有固定机构，所述固定机构包括固定设于底座1上端的两个对称分布的固定块13，所述固定块13内滑动连接有滑板14，所述滑板14的一侧固定连接有夹板15，所述夹板15的上端设有凸块16，所述滑板14与固定块13之间连接有弹簧，所述夹板15和凸块16均与固定块13滑动连接，所述过滤机构包括固定设于其中一个支撑板3内的吸附网17，其中一个所述支撑板3的一端滑动连接有毛刷18，所述毛刷18的一端滑动连接有连接板19，所述连接板19的下端活动设于底座1内，所述连接板19的底端转动连接有转盘，所述转盘的底端固定连接有第四转轴20，所述第四转轴20与底座1转动连接，通过转盘的设置，方便了带动毛刷18的前后移动，所述传动机构包括固定设于底座1内壁上的马达21，所述马达21上端输出轴、第一转轴7和第四转轴20的外壁上均固定连接有第一链轮，多个所述第一链轮通过第一链条22传动连接，所述马达21上端输出轴的外壁上固定连接有第一齿轮，通过第一齿轮与第二齿轮23的设置，方便了使两个扇叶10的转动方向相反，所述第一齿轮啮合连接有第二齿轮23，所述第二齿轮23固定设于第二转轴8的外壁上，所述第二转轴8与第三转轴9的外壁上均设有第二链轮，两个所述第二链轮通过第二链条24传动连接，通过第二链条24的设置，方便了带动第三转轴9的转动，所述支撑块2的一端固定连接有气缸，所述气缸的下端固定连接有喷胶头25，所述喷胶头25通过胶管连接有胶箱26，所述胶管的外壁上设有抽泵，通过抽泵的设置，方便了将胶箱26内的胶液抽出并喷至物料上。
24.本实用新型的工作原理：使用前将物料放置与两个凸块16上，然后向下按动，进而在弹簧的作用下，使得夹板15固定住物料，之后使用时，启动气缸将喷胶头25下降到适宜位置，之后启动抽泵将胶箱26内的胶液抽出并喷至硅晶片上，之后启动热电阻丝6与马达21，随着马达21的启动带动第一齿轮正向转动，进而带动第二齿轮23反向转动从而带动第二转轴8反向转动，进而通过第二链轮与第二链条24带动第三转轴9反向转动，从而带动扇叶10开始反向转动，此时右边扇叶10向上吹风，进而将热电阻丝6产生的热量通过热风口5吹至物料上，同时马达21的启动通过第一链轮与第一链条22带动第一转轴7和第四转轴20开始正向转动，进而带动转盘和左边的扇叶10正向转动，此时左边扇叶10开始向底座1内吸风，进而增加了底座1上端空气的流动性，大大加快了对物料上胶水的烘干效率，同时左边扇叶10的吸风可将底座1上的灰尘吸至左边的支撑板3内，灰尘吸附在吸附网17上，此时随着转盘的转动，带动连接板19随着转盘转动，进而拉动着毛刷18在左边支撑板3的后端壁体限位下带动毛刷18前后移动，进而可避免吸附网17堵塞。
25.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。