一种光刻胶生产用搅拌溶解罐的制作方法

文档序号:33057672发布日期:2023-01-25 00:29阅读:30来源:国知局
一种光刻胶生产用搅拌溶解罐的制作方法

1.本实用新型涉及光刻胶生产领域,具体是一种光刻胶生产用搅拌溶解罐。


背景技术:

2.光刻胶又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料,由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体,在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。
3.光刻胶倒入溶解罐后通过内部照射或辐射功能进行溶解,溶解后的混合液体可能会分布不均匀,液体倒出时会有明显的分层,会影响其抗腐蚀的性能,并且在溶解或搅拌时,溶解罐会有一定的晃动,容易发生倾倒,因此,针对上述问题提出一种光刻胶生产用搅拌溶解罐。


技术实现要素:

4.为了弥补现有技术的不足,解决光刻胶倒入溶解罐后通过内部照射或辐射功能进行溶解,溶解后的混合液体可能会分布不均匀,液体倒出时会有明显的分层,会影响其抗腐蚀的性能,并且在溶解或搅拌时,溶解罐会有一定的晃动,容易发生倾倒的问题,本实用新型提出一种光刻胶生产用搅拌溶解罐。
5.本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:本实用新型所述的一种光刻胶生产用搅拌溶解罐,包括底板和底板顶部的固定机构,所述固定机构包括升降组件和滑动组件;
6.所述升降组件包括螺纹杆、第一滑块、摆动杆、第二滑块和升降板,所述底板的侧面旋转连接有螺纹杆,所述螺纹杆的表面啮合有第一滑块,所述第一滑块的侧面旋转连接有摆动杆,所述摆动杆的侧面旋转连接有第二滑块,所述第二滑块的侧面固定连接有升降板;
7.所述滑动组件包括移动板、弹簧和固定夹,所述升降板的侧面贴合有移动板,所述移动板的表面固定连接有弹簧,所述移动板的侧面固定连接有固定夹。
8.优选的,所述底板的顶部设置有溶解罐主体,所述底板的顶部位于溶解罐主体的后方固定连接有电动伸缩板主体,所述电动伸缩板主体的顶部固定连接有电动推杆主体,所述电动推杆主体的输出端固定连接有滑动柱,所述滑动柱的表面贴合有摆动板,所述摆动板的顶部固定连接有传动柱,所述传动柱的表面贴合有齿条,所述齿条的表面啮合有齿轮,所述齿轮的底部固定连接有支撑柱,所述齿轮的底部位于支撑柱的下方固定连接有圆盘,所述圆盘的底部设置有搅拌杆。
9.优选的,所述第一滑块和第二滑块与摆动杆的衔接点位于摆动杆的两个端点处,所述固定机构设置有两组。
10.优选的,所述升降板与移动板均为直角三角形,且升降板与移动板的接触面互为斜面。
11.优选的,所述摆动板呈“l”字形状设置,且摆动板的顶部设置有滑槽。
12.优选的,所述齿条的顶部开设有呈竖向设置的滑槽,所述支撑柱关于齿轮的圆心对称设置有两组。
13.优选的,所述圆盘位于齿轮的圆心设置,且搅拌杆偏离于圆盘的圆心设置。
14.本实用新型的有益之处在于:
15.1.本实用新型通过设置螺纹杆,旋转螺纹杆带动第一滑块在底板的滑槽内前后滑动,由于摆动杆与第一滑块旋转连接,所以当第一滑块滑动时会带动摆动杆上下摆动,此时与摆动杆旋转连接的第二滑块会随之在底板的滑槽内上下滑动,随后与第二滑块固定连接的升降板会一并垂直升降,由于移动板与升降板的接触面互为斜面,所以当升降板升降时会带动移动板在弹簧的作用下左右移动,此时与移动板固定连接的固定夹会随之在底板的滑槽内左右滑动,当固定夹移动至完全贴合溶解罐主体时,即可固定溶解罐主体,防止在搅拌时溶解罐主体会倾倒;
16.2.本实用新型通过设置电动推杆主体,驱动电动推杆主体,由于滑动柱与电动推杆主体固定连接,所以当驱动电动推杆主体时会带动滑动柱在摆动板的滑槽内滑动,此时摆动板会随之围绕与电动伸缩板主体的衔接点旋转,由于传动柱与摆动板固定连接,所以当摆动板旋转时会带动传动柱在齿条的滑槽内前后滑动,此时齿条会随之左右滑动,因为齿轮与齿条相啮合,所以当齿条滑动时会带动齿轮一并旋转,此时与齿轮固定连接的两组支撑柱会随之在电动伸缩板主体的滑槽内滑动,并对齿轮起到一定的支撑限位作用,由于圆盘与齿轮固定连接,所以当齿轮旋转时会带动圆盘一并旋转,此时与圆盘固定连接的搅拌杆会随之围绕圆盘的圆心旋转,以此来达到搅拌光刻胶的目的,使溶解后的混合液体均匀分布,防止影响防腐蚀的效果。
附图说明
17.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。
18.图1为实施例一的正视结构示意图;
19.图2为实施例二的后视结构示意图;
20.图3为实施例一的固定夹结构示意图;
21.图4为实施例二的搅拌杆结构示意图。
22.图中:1、底板;2、螺纹杆;3、第一滑块;4、摆动杆;5、第二滑块;6、升降板;7、移动板;8、弹簧;9、固定夹;10、溶解罐主体;11、电动伸缩板主体;12、电动推杆主体;13、滑动柱;14、摆动板;15、传动柱;16、齿条;17、齿轮;18、支撑柱;19、圆盘;20、搅拌杆。
具体实施方式
23.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所
获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
24.实施例一
25.请参阅图1和图3所示,一种光刻胶生产用搅拌溶解罐,包括底板和底板顶部的固定机构,所述固定机构包括升降组件和滑动组件;
26.所述升降组件包括螺纹杆、第一滑块、摆动杆、第二滑块和升降板,所述底板的侧面旋转连接有螺纹杆,所述螺纹杆的表面啮合有第一滑块,所述第一滑块的侧面旋转连接有摆动杆,所述摆动杆的侧面旋转连接有第二滑块,所述第二滑块的侧面固定连接有升降板;
27.所述滑动组件包括移动板、弹簧和固定夹,所述升降板的侧面贴合有移动板,所述移动板的表面固定连接有弹簧,所述移动板的侧面固定连接有固定夹。
28.进一步,所述第一滑块和第二滑块与摆动杆的衔接点位于摆动杆的两个端点处,所述固定机构设置有两组,由于摆动杆4与第一滑块3旋转连接,所以当第一滑块3滑动时会带动摆动杆4上下摆动,此时与摆动杆4旋转连接的第二滑块5会随之在底板1的滑槽内上下滑动,随后与第二滑块5固定连接的升降板6会一并垂直升降。
29.进一步,所述升降板与移动板均为直角三角形,且升降板与移动板的接触面互为斜面,由于移动板7与升降板6的接触面互为斜面,所以当升降板6升降时会带动移动板7在弹簧8的作用下左右移动,此时与移动板7固定连接的固定夹9会随之在底板1的滑槽内左右滑动,当固定夹9移动至完全贴合溶解罐主体10时,即可固定溶解罐主体10,防止在搅拌时溶解罐主体10会倾倒。
30.实施例二
31.请参阅图2和图4所示,对比实施例一,作为本实用新型的另一种实施方式,所述底板的顶部设置有溶解罐主体,所述底板的顶部位于溶解罐主体的后方固定连接有电动伸缩板主体,所述电动伸缩板主体的顶部固定连接有电动推杆主体,所述电动推杆主体的输出端固定连接有滑动柱,所述滑动柱的表面贴合有摆动板,所述摆动板的顶部固定连接有传动柱,所述传动柱的表面贴合有齿条,所述齿条的表面啮合有齿轮,所述齿轮的底部固定连接有支撑柱,所述齿轮的底部位于支撑柱的下方固定连接有圆盘,所述圆盘的底部设置有搅拌杆。
32.进一步,所述摆动板呈“l”字形状设置,且摆动板的顶部设置有滑槽,由于滑动柱13与电动推杆主体12固定连接,所以当驱动电动推杆主体12时会带动滑动柱13在摆动板14的滑槽内滑动,此时摆动板14会随之围绕与电动伸缩板主体11的衔接点旋转。
33.进一步,所述齿条的顶部开设有呈竖向设置的滑槽,所述支撑柱关于齿轮的圆心对称设置有两组,由于传动柱15与摆动板14固定连接,所以当摆动板14旋转时会带动传动柱15在齿条16的滑槽内前后滑动,此时齿条16会随之左右滑动,因为齿轮17与齿条16相啮合,所以当齿条16滑动时会带动齿轮17一并旋转,此时与齿轮17固定连接的两组支撑柱18会随之在电动伸缩板主体11的滑槽内滑动,并对齿轮17起到一定的支撑限位作用。
34.进一步,所述圆盘位于齿轮的圆心设置,且搅拌杆偏离于圆盘的圆心设置,由于圆盘19与齿轮17固定连接,所以当齿轮17旋转时会带动圆盘19一并旋转,此时与圆盘19固定连接的搅拌杆20会随之围绕圆盘19的圆心旋转,以此来达到搅拌光刻胶的目的,使溶解后的混合液体均匀分布,防止影响防腐蚀的效果。
35.工作原理:旋转螺纹杆2带动第一滑块3在底板1的滑槽内前后滑动,由于摆动杆4与第一滑块3旋转连接,所以当第一滑块3滑动时会带动摆动杆4上下摆动,此时与摆动杆4旋转连接的第二滑块5会随之在底板1的滑槽内上下滑动,随后与第二滑块5固定连接的升降板6会一并垂直升降,由于移动板7与升降板6的接触面互为斜面,所以当升降板6升降时会带动移动板7在弹簧8的作用下左右移动,此时与移动板7固定连接的固定夹9会随之在底板1的滑槽内左右滑动,当固定夹9移动至完全贴合溶解罐主体10时,即可固定溶解罐主体10,防止在搅拌时溶解罐主体10会倾倒。
36.由于溶解后的光刻胶可能会不均匀,所以驱动电动推杆主体12,由于滑动柱13与电动推杆主体12固定连接,所以当驱动电动推杆主体12时会带动滑动柱13在摆动板14的滑槽内滑动,此时摆动板14会随之围绕与电动伸缩板主体11的衔接点旋转,由于传动柱15与摆动板14固定连接,所以当摆动板14旋转时会带动传动柱15在齿条16的滑槽内前后滑动,此时齿条16会随之左右滑动,因为齿轮17与齿条16相啮合,所以当齿条16滑动时会带动齿轮17一并旋转,此时与齿轮17固定连接的两组支撑柱18会随之在电动伸缩板主体11的滑槽内滑动,并对齿轮17起到一定的支撑限位作用,由于圆盘19与齿轮17固定连接,所以当齿轮17旋转时会带动圆盘19一并旋转,此时与圆盘19固定连接的搅拌杆20会随之围绕圆盘19的圆心旋转,以此来达到搅拌光刻胶的目的,使溶解后的混合液体均匀分布,防止影响防腐蚀的效果。
37.在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
38.以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
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