一种水洗式半导体尾气处理装置用可旋转喷管的制作方法

1.本实用新型属于尾气处理技术领域，具体涉及一种水洗式半导体尾气处理装置用可旋转喷管。


背景技术：

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域大量应用。由于半导体工艺设备在加工过程中，不可避免会产生包含有氢气等可燃气体的尾气。若直接将尾气排放到空气中，将会产生爆炸的隐患，因此在需要在半导体工艺设备的尾气排放端进行尾气处理。尾气处理在半导体制造企业中是一个不可或缺的环保环节，半导体工业尾气中含有大量污染性气体以及固体颗粒物，该尾气需要经过不同步骤的处理后才能够达到排放要求。
3.水洗式作为现有的半导体尾气处理的常用方式，其原理为在可能最小的空间中组合两个操作规程-燃烧与水洗,将废气导入环形燃烧器装置。根据废气的化学成分,会发生各种反应(氧化、还原、热解)。在随后的洗涤过程中,燃烧生成的可溶性气态与固态化合物将由适当的洗涤液体进行吸收和冷却，故其需要用到喷淋管，喷淋管的喷淋效率对尾气处理的效果会产生直接的影响。然而现有的喷淋管大多以固定姿态进行喷淋，不能旋转喷淋或旋转不够稳定，会产生尖锐的摩擦噪音，容易疲劳失效，故障率较高，而且喷射角度调整不便，使得洗涤液参与反应的效率降低进而影响尾气处理效果。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种水洗式半导体尾气处理装置用可旋转喷管，以解决现有的喷淋管不能旋转喷淋或旋转不够稳定，喷射角度调整不便的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种水洗式半导体尾气处理装置用可旋转喷管，包括：
6.底座，所述底座上固定设置有壳体，所述壳体上连通设置有进水口；
7.旋转组件，所述旋转组件设置在壳体内；
8.旋转腔，所述旋转腔与旋转组件连通设置；
9.喷淋组件，所述喷淋组件与旋转腔连通设置。
10.进一步的，所述旋转组件包括导流管、导流罩、转动轴、叶片和导流锥芯，所述导流罩固定设置在导流管上，所述叶片固定设置在转动轴的侧面，所述叶片背离转动轴的一侧与导流管的内壁固定连接，所述导流锥芯固定设置在转动轴的底部，所述壳体内固定设置有第一限位圆环，所述导流管外侧面固定设置有第二限位圆环，所述导流罩上连通设置有第二连通管，所述壳体顶部设置有密封盖，所述密封盖上开设有用以供第二连通管穿过的圆孔，所述圆孔与第二连通管间设置有第二密封圈，所述密封盖与壳体螺纹连接。
11.进一步地，所述旋转腔的底部连通设置有第三连通管，所述第三连通管与第二连通管螺纹连接，所述旋转腔的侧面连通设置有若干第一连通管，任一所述第一连通管与喷
淋组件连通设置。
12.进一步地，所述喷淋组件包括内管、喷管和抱箍，所述内管与第一连通管螺纹连接，所述喷管套设在内管上，所述内管上开设有若干喷水孔，所述喷管上开设有若干第一喷嘴、第二喷嘴和第三喷嘴，若干所述第一喷嘴、第二喷嘴和第三喷嘴两两之间与喷管轴线形成的夹角为120
°
，所述抱箍相对设置并对喷管和内管进行固定。
13.进一步地，所述抱箍上设置有第一限位块，所述喷管上开设有第一限位槽，所述第一限位块与第一限位槽相适配，所述抱箍内设置有第一密封圈，相对设置的所述抱箍之间以螺纹连接的方式固定。
14.进一步地，所述内管上圆周阵列设置有三个第二限位槽，三个所述第二限位槽两两之间与内管轴线形成的夹角为120
°
，所述喷管内开设有凹槽，所述凹槽内设置有弹性件和第二限位块，所述弹性件用于连接第二限位块和凹槽的底壁，以使所述第二限位块在弹性件的弹力作用下沿凹槽轴向运动，所述第二限位槽和第二限位块相适配。
15.进一步地，所述第一限位圆环和第二限位圆环之间设置有第一推力轴承，所述导流罩和密封盖之间设置有第二推力轴承。
16.进一步地，所述壳体上连通设置有串联口，所述串联口上设置有端盖，所述串联口与端盖螺纹连接。
17.进一步地，若干所述第一喷嘴、第二喷嘴和第三喷嘴与喷管轴线形成的夹角互不相同。
18.本实用新型的技术效果和优点为：
19.第一：本实用新型通过设置有旋转组件，旋转组件包括导流管、导流罩、转动轴、叶片和导流锥芯，流体从进水口进入壳体，此时的流体内部会产生较多湍流，此时的流体是不均匀的，导流锥芯的设置能够使得流体以更加均匀的状态去冲击叶片，进而在流体压力的作用下推动导流管稳定旋转，导流管最终带动喷管进行旋转。导流罩的设置使得流体在穿过叶片后减小湍流的产生，节约流体能量，减小流体阻力。转动轴的设置使叶片具有一定的转动惯量，使得叶片的转动更加的稳定。第一推力轴承和第二推力轴承的设置使得旋转组件与其他零部件的摩擦力减小，进一步提升了旋转组件转动时的平稳性，使得本实用新型能够稳定旋转喷淋。
20.第二：本实用新型通过设置有喷管和内管，喷管和内管可以组合多种喷淋角度，并通过旋转喷管来进行调整，提升实用性。串联口的设置使得本实用新型可以多个串联起来使用，提高喷淋面积。
21.第三：本实用新型结构安全可靠，具有良好的市场前景。
附图说明
22.图1为本实用新型的结构示意图；
23.图2为本实用新型图1中a处的放大示意图；
24.图3为本实用新型另一角度的结构示意图；
25.图4为本实用新型图3中b处的放大示意图；
26.图5为本实用新型的爆炸结构示意图及部分剖视图；
27.图6为本实用新型图5中c处的放大示意图；
28.图7为本实用新型图5中d处的放大示意图；
29.图8为本实用新型图5中e处的放大示意图；
30.图9为本实用新型的剖视图；
31.图10为本实用新型图9中g处的放大示意图。
32.图中：1、第一连通管；2、喷管；3、进水口；4、壳体；5、底座；6、串联口；7、端盖；8、旋转腔；9、第一喷嘴；10、第二喷嘴；11、第三喷嘴；12、第一限位槽；13、第二限位槽；14、喷水孔；15、内管；16、第一推力轴承；17、密封盖；18、第一限位圆环；19、第一限位块；20、抱箍；21、第一密封圈；22、第二密封圈；23、转动轴；24、导流管；25、导流罩；26、第二推力轴承；27、第二连通管；28、叶片；29、第二限位圆环；30、导流锥芯；31、第三连通管；32、弹性件；33、凹槽；34、第二限位块。
具体实施方式
33.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
34.参考图1至图10所示，为本实用新型一种水洗式半导体尾气处理装置用可旋转喷管的具体实施方式，包括：
35.底座5，底座5上固定设置有壳体4，壳体4上连通设置有进水口3。
36.旋转组件，旋转组件设置在壳体4内。
37.旋转腔8，旋转腔8与旋转组件连通设置。
38.喷淋组件，喷淋组件与旋转腔8连通设置。
39.旋转组件包括导流管24、导流罩25、转动轴23、叶片28和导流锥芯30，导流罩25固定设置在导流管24上，叶片28固定设置在转动轴23的侧面，叶片28背离转动轴23的一侧与导流管24的内壁固定连接，导流锥芯30固定设置在转动轴23的底部，导流锥芯30和导流罩25的设置能够减小流体湍流的产生，节约流体能量，减小流体阻力。壳体4内固定设置有第一限位圆环18，导流管24外侧面固定设置有第二限位圆环29，导流罩25上连通设置有第二连通管27，壳体4顶部设置有密封盖17，密封盖17上开设有用以供第二连通管27穿过的圆孔，圆孔与第二连通管27间设置有第二密封圈22，密封盖17与壳体4螺纹连接。
40.旋转腔8的底部连通设置有第三连通管31，第三连通管31与第二连通管27螺纹连接，旋转腔8的侧面连通设置有若干第一连通管1，任一第一连通管1与喷淋组件连通设置。
41.喷淋组件包括内管15、喷管2和抱箍20，内管15与第一连通管1螺纹连接，喷管2套设在内管15上，内管15上开设有若干喷水孔14，喷管2上开设有若干第一喷嘴9、第二喷嘴10和第三喷嘴11，若干第一喷嘴9、第二喷嘴10和第三喷嘴11两两之间与喷管2轴线形成的夹角为120
°
，抱箍20相对设置并对喷管2和内管15进行固定。
42.抱箍20上设置有第一限位块19，喷管2上开设有第一限位槽12，第一限位块19与第一限位槽12相适配，抱箍20内设置有第一密封圈21，相对设置的抱箍20之间以螺纹连接的方式固定。
43.内管15上圆周阵列设置有三个第二限位槽13，三个第二限位槽13两两之间与内管
15轴线形成的夹角为120
°
，喷管2内开设有凹槽33，凹槽33内设置有弹性件32和第二限位块34，弹性件32用于连接第二限位块34和凹槽33的底壁，以使第二限位块34在弹性件32的弹力作用下沿凹槽33轴向运动，弹性件32可为弹簧或塑性橡胶弹力件等。第二限位槽13和第二限位块34相适配。第一喷嘴9、第二喷嘴10和第三喷嘴11间的夹角与第二限位槽13间的夹角一致，使得本实用新型每转动喷管2120
°
便可切换喷嘴进行喷淋。
44.第一限位圆环18和第二限位圆环29之间设置有第一推力轴承16，导流罩25和密封盖17之间设置有第二推力轴承26，使得第一限位圆环18和第二限位圆环29之间以及导流罩25和密封盖17之间的摩擦力由滑动摩擦转变为滚动摩擦，减小了摩擦力，同时减小了摩擦噪音和摩擦对零件的损耗，进一步提升了本实用新型转动时的平稳性。
45.壳体4上连通设置有串联口6，串联口6上设置有端盖7，串联口6与端盖7螺纹连接，使得本实用新型可以多个串联起来使用，提高喷淋面积。
46.若干第一喷嘴9、第二喷嘴10和第三喷嘴11与喷管2轴线形成的夹角互不相同，使得喷管2和内管15可以组合多种喷淋角度，并通过旋转喷管2来进行调整，提升实用性。
47.本实用新型的工作原理为：
48.本实用新型设置有旋转组件，旋转组件包括导流管24、导流罩25、转动轴23、叶片28和导流锥芯30，流体从进水口3进入壳体4，此时的流体内部会产生较多湍流，此时的流体是不均匀的，导流锥芯30的设置能够使得流体以更加均匀的状态去冲击叶片28，进而在流体压力的作用下推动导流管24稳定旋转，导流管24最终带动喷管2进行旋转。导流罩25的设置使得流体在穿过叶片28后减小湍流的产生，节约流体能量，减小流体阻力。转动轴23的设置使叶片28具有一定的转动惯量，使得叶片28的转动更加的稳定。第一推力轴承16和第二推力轴承26的设置使得旋转组件与其他零部件的摩擦力减小，进一步提升了旋转组件转动时的平稳性，使得本实用新型能够稳定旋转喷淋。
49.本实用新型设置有喷管2和内管15，喷管2和内管15可以组合多种喷淋角度，并通过旋转喷管2来进行调整，提升实用性。串联口6的设置使得本实用新型可以多个串联起来使用，提高喷淋面积。
50.本实用新型中其他未详述部分均属于现有技术，故在此不再赘述。
51.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。