用于气悬式涂布机的气悬浮平台和气悬式涂布机的制作方法

本技术涉及半导体行，具体涉及一种用于气悬式涂布机的气悬浮平台和具有该用于气悬式涂布机的气悬浮平台的气悬式涂布机。

背景技术：

1、通常在半导体行装置及显示器的制造工艺中，会在处理基板(玻璃基材)上的涂布特定功能的薄膜(例如：氧化薄膜、金属薄膜和半导体薄膜等)；狭缝式涂布是一种在一定压力下，将涂液沿着模具缝隙压出并转移到移动的处理基板上的一种涂布技术。气悬式涂布机利用气悬浮平台的向上方喷出高压气体，并通过该高压空气的压力使基板悬浮，具有涂布速度快、涂膜均匀性好的优点。并配合通过气悬浮平台的输送部将浮在气悬浮平台上的基板以能够装卸的方式保持并沿气悬浮平台的长度方向输送该基板，但是该输送部存在对基板定位能力差，进而导致基板在输送过程中易偏斜的问题。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种用于气悬式涂布机的气悬浮平台。该用于气悬式涂布机的气悬浮平台具有提升玻璃基材载移的稳定性及提升涂布质量的优点。

2、本实用新型的实施例还提出一种气悬式涂布机。

3、本实用新型实施例的用于气悬式涂布机的气悬浮平台包括涂布机架、气悬浮平台体和定位移载机构。

4、所述气悬浮平台体设置在所述涂布机架上，所述气悬浮平台体包括沿所述涂布机架的长度方向依次设置的上料浮起台、涂布浮起台和下料浮起台，所述涂布浮起台能够与涂布模头对应设置，所述定位移载机构用于移载玻璃基材，所述定位移载机构可移动地设置在所述涂布机架上以便使所述玻璃基材能够与所述上料浮起台、所述涂布浮起台和所述下料浮起台可切换地对应。

5、本实用新型实施例的用于气悬式涂布机的气悬浮平台，通过设置定位移载机构可以对玻璃基材载移的同时，可以对玻璃基材进行定位，防止玻璃基材在载移和涂布的过程因出现偏移而影响涂布质量的问题。由此，提升了对玻璃基材载移的稳定性及涂布位置和质量的一致性。

6、因此，本实用新型实施例的用于气悬式涂布机的气悬浮平台具有提升玻璃基材载移的稳定性及提升涂布质量的优点。

7、在一些实施例中，所述涂布机架包括涂布架体和至少两个导轨，至少两个所述导轨沿所述涂布机架的宽度方向上间隔开地设置在所述涂布架体上，且至少两个所述导轨均沿所述涂布机架的长度方向延伸，所述定位移载机构包括沿所述涂布机架的宽度方向上间隔且相对设置的第一定位支撑架和第二定位支撑架，所述第一定位支撑架和所述第二定位支撑架与其中两个所述导轨对应配合，所述第一定位支撑架和所述第二定位支撑架中的每一者均能够移载所述玻璃基材。

8、在一些实施例中，所述第一定位支撑架和所述第二定位支撑架中的每一者均包括导向件、限位件和定位吸附件，所述导向件与所述导轨导向配合，所述限位件与所述导向件连接，所述定位吸附件沿所述涂布机架的长度方向上可移动地设置在所述导向件上，所述定位吸附件能够吸附所述玻璃基材。

9、在一些实施例中，所述导向件包括导块和升降调节台，所述导块与所述导轨导向配合，所述升降调节台的一端与所述导块连接，所述升降调节台沿上下方向延伸，所述限位件设置在所述升降调节台上，且所述限位件沿上下方向可移动地设置在所述升降调节台上。

10、在一些实施例中，所述定位吸附件包括吸附架体和真空吸板，所述吸附架体沿所述涂布机架的长度方向可移动地设置在所述导向件上，所述真空吸板设置在所述吸附架体上，所示真空吸板具有真空吸孔，所述真空吸板能够通过所述真空吸孔吸附所述玻璃基材。

11、在一些实施例中，所述真空吸板包括调节部和真空吸板部，所述调节部沿所述涂布机架的宽度和/或长度方向可移动地设置在所述吸附架体上，所述真空吸板部设置在所述调节部上，所述真空吸板部能够吸附所述玻璃基材。

12、在一些实施例中，所述定位吸附件还包括纠偏机构，所述纠偏机构设置在所述吸附架体上且能够纠正偏移的所述玻璃基材。

13、在一些实施例中，所述纠偏机构包括驱动缸体、导向板和定位轮，所述导向板通过所述驱动缸体沿所述涂布机架的宽度方向可移动地设置在所述吸附架体上，所述定位轮设置在所述导向板上，且所述定位轮绕着沿上下方向延伸的中心轴转动，所述定位轮能够纠正偏移的所述玻璃基材。

14、在一些实施例中，所述涂布浮起台包括涂布气密板和气密支撑件，所述气密支撑件设置在所述涂布机架上，所述气密支撑件与所述涂布气密板形成正压通道，所述涂布气密板上具有多个涂布气孔，多个所述涂布气孔均与所述正压通道连通，所述正压通道能够与气源连通，多个所述涂布气孔能够喷出用于支撑所述玻璃基材的气体以便对所述玻璃基材施加向上的作用力。

15、在一些实施例中，所述气密支撑件与所述涂布气密板之间还具有负压通道，所述负压通道与所述正压通道相互独立，所述负压通道能够与抽吸泵连通，所述涂布气密板上还具有多个真空孔，多个所述真空孔与所述负压通道连通，所述真空孔用于抽取所述玻璃基材与所述涂布气密板之间的气体，以便调整由所述涂布气孔喷出的气体对所述玻璃基材的作用力。

16、在一些实施例中，所述涂布气孔沿所述涂布气密板的厚度方向具有相对设置的上气口端和下气口端，所述上气口端的直径小于下气口端的直径。

17、在一些实施例中，所述真空孔沿所述涂布气密板的厚度方向具有相对设置的上真空孔端和下真空孔端，所述上真空孔端的直径小于下真空孔端的直径。

18、在一些实施例中，所述气密支撑件包括气密封件和多个调节支撑件，多个所述调节支撑件的一端与所述涂布机架连接，多个所述调节支撑件的另一端与所述气密封件和/或所述涂布气密板以便通过所述调节支撑件调节所述涂布气密板的水平高度。

19、在一些实施例中，所述调节支撑件包括支撑座体和设置在支撑座体上的差动螺纹件，所述支撑座体与所述涂布机架连接，所述差动螺纹件的第一螺旋副段与所述支撑座体连接，所述差动螺纹件的第二螺旋副段与所述气密封件连接。

20、在一些实施例中，所述上料浮起台沿所述涂布机架的长度方向上可移动地设置在所述涂布机架上。

21、在一些实施例中，所述下料浮起台沿所述涂布机架的长度方向上可移动地设置在所述涂布机架上。

22、在一些实施例中，所述上料浮起台包括上料气密板和上料机架，所述上料机架设置在所述涂布机架上，所述上料机架与所述上料气密板之间具有上料气压腔体，所述上料气压腔体与气源连通，所述上料气密板上设有多个上料气孔，所述上料气孔与所述上料气压腔体连通，所述上料气孔能够喷出对所述玻璃基材施加向上作用力的气体。

23、在一些实施例中，所述下料浮起台包括下料气密板和下料机架，所述下料机架设置在所述涂布机架上，所述下料机架与所述下料气密板之间具有下料气压腔体，所述下料气压腔体与气源连通，所述下料气密板上设有多个下料气孔，所述下料气孔与所述下料气压腔体连通，所述下料气孔能够喷出对所述玻璃基材施加向上作用力的气体。

24、在一些实施例中，所述上料机架包括上料架体和上料支撑件，所述上料支撑件的一端与所述上料架体连接，所述上料支撑件的另一端与所述上料气密板连接。

25、在一些实施例中，所述下料机架包括下料架体和下料支撑件，所述下料支撑件的一端与所述下料架体连接，所述下料支撑件的另一端与所述下料气密板连接。

26、在一些实施例中，所述上料支撑件包括上料缓冲垫、上料限位轴和上料缓冲件，所述上料缓冲件套设在所述上料限位轴的外侧，所述上料限位轴的一端与所述上料架体连接，所述上料限位轴的另一端与所述上料气密板连接，且所述上料气密板能够沿所述上料限位轴的轴向移动，所述上料缓冲垫设在所述上料气密板与所述上料缓冲件之间。

27、在一些实施例中，所述下料支撑件包括下料缓冲垫、下料限位轴和下料缓冲件，所述下料缓冲件套设在所述下料限位轴的外侧，所述下料限位轴的一端与所述下料架体连接，所述下料限位轴的另一端与所述下料气密板连接，且所述下料气密板能够沿所述下料限位轴的轴向移动，所述下料缓冲垫设在所述下料气密板与所述下料缓冲件之间。

28、在一些实施例中，所述上料气孔呈沿所述涂布气密板的厚度方向具有相对设置的上料孔内端和上料孔外端，所述上料孔内端的直径大于上料孔外端的直径。

29、在一些实施例中，所述下料气孔沿所述涂布气密板的厚度方向具有相对设置的下料孔内端和下料孔外端，所述下料孔内端的直径大于下料孔外端的直径。

30、在一些实施例中，所述的用于气悬式涂布机的气悬浮平台还包括上料升降机构，所述上料升降机构包括上料顶针座和上料顶针组件，所述上料顶针组件具有支撑位和隐藏位，在所述支撑位，所述上料顶针组件的上端位于所述气悬浮平台体上表面以上以便支撑所述玻璃基材，所述隐藏位，所述上料顶针组件的上端能够伸缩至所述气悬浮平台体上表面以下，所述料顶针组件沿上下方向可移动地设置在所述上料顶针座上以便所述料顶针组件在所述支撑位和所述隐藏位之间转变，所述上料升降机构与所述上料浮起台对应设置。

31、在一些实施例中，所述的用于气悬式涂布机的气悬浮平台还包括下料升降机构，所述下料升降机构包括下料顶针座和下料顶针组件，所述下料顶针组件具有支撑位和隐藏位，在支撑位，所述下料顶针组件的上端位于所述气悬浮平台体上表面以上以便支撑所述玻璃基材，所述隐藏位，所述下料顶针组件的上端能够伸缩至所述气悬浮平台体上表面以下，所述料顶针组件沿上下方向可移动地设置在所述下料顶针座上以便所述料顶针组件在所述支撑位和所述隐藏位之间转变，所述下料升降机构与所述下料浮起台对应设置。

32、在一些实施例中，所述上料顶针组件和所述下料顶针组件中的每一者均包括顶针支架和多个顶针，多个顶针间隔开地设置在所述顶针支架上，所述顶针支架沿上下方向可移动且对应地设置在所述上料顶针座和所述下料顶针座上以便所述顶针在所述支撑位和所述隐藏位之间转变。

33、本实用新型实施例的气悬式涂布机可以包括涂布模头组件和根据上述中任一项所述的气悬浮平台，所述涂布模头组件对应地设置在所述涂布浮起台的上方。