一种烃回收装置及清洗装置的制作方法

本发明涉及一种用于回收汽化的烃的烃回收装置以及在含烃的清洗液中清洗工件的装置即包括所述烃回收装置的清洗装置。

背景技术：

1、以往，使用含烃的清洗液进行工件的清洗。例如，将工件浸渍在浸渍清洗槽中储存的清洗液中进行清洗(浸渍清洗)后，将工件收容在真空槽，将真空槽内抽真空后，导入清洗液(通常是储存在与浸渍清洗槽分开的储存槽中的清洗液)的蒸汽，通过在低温的工件表面上液化蒸汽来清洗工件(蒸汽清洗)。当重复多次蒸汽清洗的操作时，随着工件清洗的进行，工件温度因蒸汽的热量而逐渐升高，变得无法获得蒸汽清洗的效果。为此，当工件的温度达到预定值或更高时，真空槽迅速减压，使附着在工件表面的清洗液突沸并汽化，从而使工件干燥(真空干燥)。

2、在真空槽内，蒸汽清洗时清洗液的部分蒸汽未液化而作为气体排出，真空干燥时，附着在工件表面的清洗液的汽化气体也会一同被排出。这些气体中含有烃，由于烃受到排出法规的约束，因此有必要回收从储存槽和真空槽排出的气体中所含的烃。

3、专利文献1记载了从含有烃类溶剂成分的气体(以下称为“被处理气体”)中回收溶剂成分的烃回收装置。该装置是在吸附塔中收容以活性炭为主要成分的吸附材料的基础上，将被处理气体送入吸附塔中，被处理气体中所含的烃通过被吸附材料吸附而被除去(气体处理操作)。如果该操作持续一段时间，则吸附材料吸附溶剂成分的能力会降低。因此，从气体处理操作开始经过预定时间后，停止向吸附塔供给被处理气体(随之，停止气体处理操作)，通过对吸附塔内进行减压，使吸附在吸附材料上的烃脱离(吸附剂再生操作)。该吸附剂再生操作恢复了吸附材料吸附烃的能力。从吸附材料脱离的烃的气体从吸附塔排出，通过在冷凝器中冷却而被液化及回收。这些气体处理操作和吸附剂再生操作交替进行。在冷凝器中，部分导入的烃气体可以通过而不会被液化，但通过的气体被重新导入同一冷凝器中，不会排出到外部。此外，专利文献1所述装置具有2个吸附塔，交替切换进行气体处理操作的吸附塔和进行吸附剂再生操作的供给塔。由此，能够一直利用任意一方的吸附塔从被处理气体中除去烃，并回收。

4、专利文献2中也记载了与专利文献1同样具有具备2个吸附塔的结构的烃回收装置。但是，在专利文献2的装置中，在其中一个吸附塔中进行吸附剂再生操作时，通过将在冷凝器中未液化而通过的气体导入到进行气体处理操作的另一个吸附塔中，而不是该冷凝器，来防止该气体向外部排出。

5、现有技术文献

6、专利文献

7、专利文献1：日本特开平07-039717号公报

8、专利文献2：日本特开平03-143520号公报

技术实现思路

1、在专利文献1及2所述的烃回收装置中，即使进行了上述吸附剂再生操作，吸附的烃也会残留在部分吸附材料中。因此，随着反复进行气体处理操作和吸附剂再生操作，从被处理气体中除去烃的能力降低。

2、在此，以除去清洗工件时使用的清洗液的蒸汽中所含的烃类溶剂的成分的情况为例进行了说明，但在从清洗液的蒸汽以外的含有烃类溶剂的成分的被处理气体中除去该成分的情况下也会产生同样的问题。

3、本发明要解决的技术问题在于，提供一种能够抑制从含有烃的被处理气体中除去烃的能力降低的烃回收装置。

4、为了解决上述技术问题的本发明的烃回收装置是一种将被处理气体中所含的烃从该被处理气体中除去并回收的装置，包括：

5、a)处理槽，其具有内部收容了能够吸附烃的吸附材料的吸附材料收容空间；

6、b)被处理气体导入阀，是设置在与所述处理槽连接的被处理气体导入管上的阀；

7、c)处理后气体排出阀，是设置在与所述处理槽连接的处理后气体排出管上的阀；

8、d)真空泵，吸气口通过真空吸引管与所述处理槽连接；

9、e)烃液化部，与所述真空泵的排气口相连；

10、f)真空吸引阀，是设置在所述真空吸引管上的阀；

11、g)大气压开放阀，用于将所述处理槽向大气开放；

12、h)阀门控制部，用于执行以下操作：气体处理操作，打开所述被处理气体导入阀和所述处理后气体排出阀，关闭所述真空吸引阀和所述大气压开放阀；吸引副操作，在关闭所述被处理气体导入阀和所述处理后气体排出阀的状态下，关闭所述大气压开放阀，打开所述真空吸引阀；吸附剂再生操作，交替执行多次打开该大气压开放阀和关闭该真空吸引阀的大气压开放副操作。

13、在本发明的烃回收装置中，在气体处理操作时，打开被处理气体导入阀及处理后气体排出阀，关闭真空吸引阀及所述大气压开放阀。由此，将被处理气体从被处理气体导入管导入吸附材料配置空间，通过使被处理气体中含有的烃吸附在吸附材料配置空间内的吸附材料上而除去。从被处理气体中除去了烃的气体(处理后气体)通过处理后气体排出管排放到烃回收装置外。

14、一方面，在吸附剂再生操作时，关闭被处理气体导入阀及处理后气体排出阀。在该状态下，交替执行多次吸引副操作和大气压开放副操作。在吸引副操作中，通过关闭大气压开放阀，并打开真空吸引阀，对吸附材料配置空间内进行减压。于是，吸附在吸附材料上的烃汽化而从吸附材料脱离，在烃液化部液化而被回收。但是，在吸附材料中，随着烃的汽化，吸附材料的温度因汽化热而逐渐降低，过了一段时间后，残留在吸附材料中的烃几乎不再汽化。因此，从吸引副操作开始经过规定时间后，通过进行关闭真空吸引阀并打开大气压开放阀的大气压开放副操作，使吸附材料配置空间内与大气压相同。之后，通过关闭大气压开放阀和打开真空吸引阀来进行吸引副操作。由此，烃再次从吸附材料脱离。

15、在本发明的烃回收装置中，通过在吸附剂再生操作时交替执行多次这些吸引副操作和大气压开放副操作，促进烃从吸附材料中脱离。由此，能够提高在气体处理操作时从被处理气体中除去烃的能力。

16、所述吸附材料优选使用活性炭或活性炭纤维。

17、在本发明的烃回收装置中，优选地，还包括吸附材料加热机构，所述吸附材料加热机构在所述阀门控制部执行所述吸附剂再生操作期间，加热所述吸附材料配置空间中的吸附材料。由此，进一步促进在进行吸附剂再生操作时烃从吸附材料中脱离。

18、本发明的烃回收装置中，优选地，还包括吸附材料冷却机构，所述吸附材料冷却机构在所述阀门控制部执行所述气体处理操作期间，冷却所述吸附材料配置空间内的吸附材料。由此，能够在气体处理操作时进一步促进被处理气体中所含的烃的除去。特别是在具备所述吸附材料加热机构的情况下，在吸附剂再生操作中对吸附材料进行加热后进行气体处理操作时，由于烃的除去效率有可能降低，因此优选还具备所述吸附材料冷却机构。

19、本发明的烃回收装置中，优选地，还包括吸附材料搅拌机构，所述吸附材料搅拌机构在所述阀门控制部执行所述吸附剂再生操作期间，搅拌所述吸附材料配置空间内的吸附材料。由此可以进一步促进在吸附剂再生操作期间烃从吸附材料脱离。

20、本发明的烃回收装置，具备2个所述处理槽，所述2个处理槽分别具备所述被处理气体导入阀、所述处理后气体排出阀、所述真空吸引阀以及所述大气压开放阀，

21、优选地，当所述2个处理槽中的一个处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述气体处理操作时，所述阀门控制部使其它处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述吸附剂再生操作，当该一个处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述吸附剂再生操作时，所述阀门控制部使该其它处理槽的被处理气体导入阀、处理后气体排出阀、真空吸引阀以及大气压开放阀执行所述气体处理操作。由此，由于总是在2个处理槽中的任意一个中执行气体处理操作，因此能够不中断地执行产生被处理气体的操作(例如下面所述的蒸汽清洗及真空干燥)。

22、本发明的烃回收装置可以适用于用含有烃的清洗液清洗工件的清洗装置。作为此类清洗装置可以包括：真空槽，内部收容工件；蒸汽供给部，将含有烃的清洗液的蒸汽供给到所述真空槽内；真空泵，吸气口与所述真空槽连接，用于蒸汽清洗·真空干燥；本发明的烃回收装置，所述用于蒸汽清洗·真空干燥的真空泵的排气口与所述被处理气体导入管直接或间接连接。

23、根据这样的清洗装置，使用在烃回收装置中再生的吸附材料，能够从以进行蒸汽清洗及真空干燥时产生的烃作为成分包含其中的清洗液的气体中高效率地回收烃。

24、在上述清洗装置中，优选地，所述真空泵和所述用于蒸汽清洗·真空干燥的真空泵是同一个真空泵。这样，通过将用于蒸汽清洗及真空干燥的真空泵(用于蒸汽清洗·真空干燥的真空泵)和用于烃回收装置的真空泵结合，可以降低因真空泵而产生的装置成本。

25、在上述清洗装置中，优选地，所述蒸汽供给部通过汽化由所述烃液化部液化的含有烃的清洗液来产生所述蒸汽。由此，可通过蒸汽清洗中再利用包含从烃回收装置中回收并在烃液化部中液化的烃的清洗液，能够降低清洗液的使用量。

26、根据本发明，能够抑制在烃回收装置中从含有烃的被处理气体中除去烃的能力的降低。