超声波雾化喷胶装置、系统和籽晶粘接方法与流程

文档序号:34387966发布日期:2023-06-08 07:14阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种超声波雾化喷胶装置,其特征在于,所述超声波雾化喷胶装置包括依次连通的入料模块(1)、超声波雾化模块(5)和喷嘴(12),所述入料模块(1)的表面设置有入胶口(2)和入气口(3),所述入料模块(1)的内部设置有入胶通道和入气通道(4),所述入胶通道的两端分别连通到所述入胶口(2)和所述超声波雾化模块(5),所述入气通道(4)的两端分别连通到所述入气口(3)和所述超声波雾化模块(5),其中,所述入气通道(4)为螺旋型通道。

2.根据权利要求1所述的超声波雾化喷胶装置,其特征在于,所述入气通道(4)所围绕的中心线、所述超声波雾化模块(5)的中心线以及所述喷嘴(12)的中心线均共线设置。

3.根据权利要求1所述的超声波雾化喷胶装置,其特征在于,所述超声波雾化模块(5)包括桶状壳体(6)、超声波雾化片(8)、导线(9)、密封垫片(10)和螺旋弹性丝(11),所述桶状壳体(6)的入口与所述入胶通道、所述入气通道(4)连通,所述桶状壳体(6)的出口与所述喷嘴(12)连通,所述桶状壳体(6)内壁上开设有容置槽(7),所述容置槽(7)中从内至外依次层叠设置有所述超声波雾化片(8)和所述密封垫片(10),所述导线(9)连接到所述超声波雾化片(8)上、且贯穿所述桶状壳体(6)的侧壁,所述导线(9)用于连接到超声波发生器(23)上,所述螺旋弹性丝(11)的两端分别连接到相对两侧的所述密封垫片(10)上。

4.根据权利要求1所述的超声波雾化喷胶装置,其特征在于,所述喷嘴(12)包括喷嘴壳体和过滤网(13),所述喷嘴壳体的入口与所述超声波雾化模块(5)的出口连通,所述过滤网(13)安装在所述喷嘴壳体的出口内。

5.根据权利要求4所述的超声波雾化喷胶装置,其特征在于,所述喷嘴壳体包括依次连通的收缩段(15)、辅助扩散段(16)和喷出段(17),沿流体在所述喷嘴壳体内的流动方向上,所述收缩段(15)的直径逐渐减小,所述辅助扩散段(16)的直径逐渐增大,所述喷出段(17)的直径逐渐增大;在单位长度内所述喷出段(17)的直径增大值大于所述辅助扩散段(16)的直径增大值,所述过滤网(13)安装在所述喷出段(17)靠近所述辅助扩散段(16)的一端。

6.根据权利要求5所述的超声波雾化喷胶装置,其特征在于,所述过滤网(13)为圆弧形结构,所述过滤网(13)上开设有通孔(14),在所述过滤网(13)的中心到边缘的方向上,所述通孔(14)的半径逐渐减小。

7.根据权利要求6所述的超声波雾化喷胶装置,其特征在于,所述过滤网(13)上的所述通孔(14)的半径满足以下尺寸关系式:

8.根据权利要求7所述的超声波雾化喷胶装置,其特征在于,所述过滤网(13)上所述通孔(14)的最小半径大于液体胶雾化液滴的最大半径、且小于液体胶雾化液滴的最大半径的两倍。

9.一种超声波雾化喷胶系统,其特征在于,所述超声波雾化喷胶系统包括丝杆模组(18)、载台(19)、第一阀门(21)、第二阀门(22)、超声波发生器(23)、储液箱(24)、储气箱(25)、液体泵(26)、气体泵(27)和权利要求1-8任一项所述的超声波雾化喷胶装置;

10.一种籽晶粘接方法,其特征在于,所述籽晶粘接方法采用权利要求9所述的超声波雾化喷胶系统,所述籽晶粘接方法包括:


技术总结
本发明的实施例提供了一种超声波雾化喷胶装置、系统和籽晶粘接方法,涉及长晶工艺技术领域。超声波雾化喷胶装置包括依次连通的入料模块、超声波雾化模块和喷嘴,入料模块的表面设置有入胶口和入气口,入料模块的内部设置有入胶通道和入气通道,入胶通道的两端分别连通到入胶口和超声波雾化模块,入气通道的两端分别连通到入气口和超声波雾化模块,其中,入气通道为螺旋型通道。超声波雾化喷胶装置、系统和籽晶粘接方法能够在籽晶或坩埚盖的表面喷涂厚度均匀的液体胶。

技术研发人员:袁刚俊,苏兆鸣
受保护的技术使用者:通威微电子有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/13
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