集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法与流程

本发明涉及集成电路加工设备，特别涉及集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法。

背景技术：

1、集成电路是电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件等）小型化的方式，采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。

2、然而现如今的防静电层表面涂覆装置对集成电路板进行双面涂覆时，涂覆完一面后，需要另行使用翻面部件单独将集成电路板翻面，翻面过程时间长，整体工作效率降低，而且防静电层表面涂覆装置要么是通过移动电路板来实现全面喷涂，这样操作电路板不易翻面，要么是通过移动喷涂头来进行全面喷涂的，还需要设置特定的喷涂头移动机构，移动喷涂头需要使用输送软管，这样在输送软管的弯曲再拉直的过程中，液体的流速会发生改变，会导致喷涂不均匀，而且输送软管也容易损坏，支撑工作台容易因喷涂飘落的残留，导致其底部有大量的涂料残留，造成支撑工作台底部的不整洁。

3、为解决上述问题。为此，提出集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，防静电层涂覆机构包括支撑柱以及设置在支撑柱上端的支撑板，支撑板的上端设置有涂料储存箱，涂料储存箱的一侧设置有液压泵，液压泵固定设置在支撑板的上端，液压泵的输出端与喷涂头的输入端连接，且喷涂头固定设置在支撑板的下端；翻转移动机构包括驱动部件以及与驱动部件啮合连接的电路板翻转支撑部件，驱动部件设置在支撑工作台的内侧，电路板翻转支撑部件的一端插入设置在支撑工作台内侧的移动部件内，移动部件与驱动部件啮合连接，驱动部件的驱动端还设置有辅助风干组件，辅助风干组件的一端与支撑工作台活动连接，可以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置，包括支撑工作台以及设置在支撑工作台上端的防静电层涂覆机构，支撑工作台的上端设置有翻转移动机构，位于翻转移动机构一端的支撑工作台上设置有双面压匀机构，远离翻转移动机构的双面压匀机构一侧的支撑工作台上设置有风干机构，防静电层涂覆机构包括支撑柱以及设置在支撑柱上端的支撑板，支撑板的上端设置有涂料储存箱，涂料储存箱的一侧设置有液压泵，液压泵固定设置在支撑板的上端，液压泵的输出端与喷涂头的输入端连接，且喷涂头固定设置在支撑板的下端；

3、翻转移动机构包括驱动部件以及与驱动部件啮合连接的电路板翻转支撑部件，驱动部件设置在支撑工作台的内侧，电路板翻转支撑部件的一端插入设置在支撑工作台内侧的移动部件内，移动部件与驱动部件啮合连接，驱动部件的驱动端还设置有辅助风干组件，辅助风干组件的一端与支撑工作台活动连接。

4、进一步的，驱动部件包括伺服电机以及设置在伺服电机驱动端的主动齿轮；

5、电路板翻转支撑部件包括贯穿支撑杆以及设置在贯穿支撑杆一端的从动齿轮组件，从动齿轮组件远离贯穿支撑杆的一侧设置有卡扣组件，贯穿支撑杆远离从动齿轮组件的一端设置有支撑翻转组件。

6、进一步的，从动齿轮组件包括齿轮盘以及设置在齿轮盘外侧的第一齿轮条，第一齿轮条的两侧设置有第一复位扭簧；

7、卡扣组件包括插柱以及设置在插柱外侧的第一复位弹簧，第一复位弹簧远离插柱的一端设置有卡头，卡头与支撑移动块内侧开设的卡孔相对应。

8、进一步的，支撑翻转组件包括支撑架以及设置在支撑架两端的延伸杆，延伸杆的外侧设置有三角锥头，延伸杆的内侧设置有第二复位弹簧，第二复位弹簧远离延伸杆的一端设置有夹持头。

9、进一步的，移动部件包括传动移动组件以及设置在传动移动组件内侧的导向杆，导向杆的两端与支撑工作台固定连接，传动移动组件的一端设置有支撑移动块，支撑移动块的内侧开设有卡孔，支撑移动块的下端设置有稳固轮。

10、进一步的，传动移动组件包括牵引杆以及设置在牵引杆下端的第二齿条，靠近支撑移动块一端的第二齿条的一侧设置有传动齿条，传动齿条的两侧设置有第二复位扭簧。

11、进一步的，双面压匀机构包括支撑件以及设置在支撑件内侧的下面辊压组件和上面辊压组件，下面辊压组件和上面辊压组件结构组成相同。

12、进一步的，上面辊压组件包括第三复位弹簧以及设置在第三复位弹簧下端的衔接块，衔接块的中部贯穿设置有单向柱，单向柱的上端与支撑件固定连接，衔接块的下端设置有衔接管，衔接管的外侧设置有海绵套。

13、进一步的，第二转动轴一侧设置有底部清理机构，底部清理机构包括第一驱动齿轮以及设置在第一驱动齿轮下端的第一清理组件，第一清理组件与支撑工作台活动连接，第一清理组件的齿条端与活动设置在支撑工作台内侧的第二驱动齿轮啮合连接，第一清理组件的上端设置有衔接齿条，衔接齿条与第一驱动齿轮啮合连接，第二驱动齿轮的下端与活动设置在支撑工作台上的第二清理组件啮合连接；

14、第一清理组件与第二清理组件结构组成相同，第一清理组件包括传动齿条杆以及设置在传动齿条杆一端的延伸杆，延伸杆的下端一侧设置有横向支撑杆，横向支撑杆的下侧活动设置有刮取片，支撑工作台的内侧中部低端开设有排料槽。

15、本发明提出的另一种技术方案：提供集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置的实施方法，包括以下步骤：

16、s1：通过集成电路板吸附式移动机器臂将集成电路板吸起后，向夹持头内按压，在第二复位弹簧的弹力作用下，集成电路板会被夹持在两片夹持头之间，然后移动开移动机器臂，此时集成电路板上料完成；

17、s2：伺服电机驱动主动齿轮顺时针转动，此时第一齿轮条被推入到齿轮盘外侧的凹槽中，保证齿轮盘不会转动，当主动齿轮顺时针转动时能够牵引牵引杆移动，此时在支撑移动块的带动下使得电路板翻转支撑部件整体移动，再打开液压泵使得涂料喷出，随着电路板翻转支撑部件整体移动，进而将整个电路板表面喷涂；

18、s3：当电路板翻转支撑部件移动过程中，三角锥头首先将两侧的海绵套反方向移动，当海绵套越过夹持头后，两侧的海绵套对电路板进行双面的同时辊压，也在电路板翻转支撑部件移动过程中，风干机构可进行双面风干，可在移动喷涂过程中，可同步进行双面的均匀辊压和风干；

19、s4：伺服电机驱动主动齿轮逆时针转动，此时第二复位扭簧在主动齿轮逆时针转动时可被推入牵引杆开设的凹槽中，当主动齿轮与第一齿轮条相对应时，此时第一齿轮条被齿轮盘限制，进而可以带动齿轮盘转动，进而带动整个支撑翻转组件转动，转动180°后暂停，此时卡头卡入对应的卡孔中，完成翻面；

20、s5：重复s2-s3，完成双面喷涂，最后下料时在移动机器臂强大的吸附力下，可将集成电路板拉出，下料完成。

21、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

22、1.本发明提出的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，通过集成电路板吸附式移动机器臂将集成电路板吸起后，向夹持头内按压，在第二复位弹簧的弹力作用下，集成电路板会被夹持在两片夹持头之间，然后移动开移动机器臂，此时集成电路板上料完成；当需要转动集成电路板时，伺服电机驱动主动齿轮逆时针转动，此时第二复位扭簧在主动齿轮逆时针转动时可被推入牵引杆开设的凹槽中，当主动齿轮与第一齿轮条相对应时，此时第一齿轮条被齿轮盘限制，进而可以带动齿轮盘转动，进而带动整个支撑翻转组件转动，转动°后暂停，此时卡头卡入对应的卡孔中，保持稳定，完成翻面，翻面操作简单方便，可快速进行双面的集成电路板涂覆，进而提高工作效率。

23、2.本发明提出的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，伺服电机驱动主动齿轮顺时针转动，此时第一齿轮条被推入到齿轮盘外侧的凹槽中，保证齿轮盘不会转动，当主动齿轮顺时针转动时能够牵引牵引杆移动，此时在支撑移动块的带动下使得电路板翻转支撑部件整体移动，再打开液压泵使得涂料喷出，随着电路板翻转支撑部件整体移动，进而将整个电路板表面喷涂，机构设计巧妙，通过电机的顺逆转动的设计，可实现电路板的翻面和移动喷涂，而且整个过程无过长的间隙时间，提高整体的工作效率。

24、3.本发明提出的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，当电路板翻转支撑部件移动过程中，三角锥头首先将两侧的海绵套反方向移动，当海绵套越过夹持头后，两侧的海绵套对电路板进行双面的同时辊压，也在电路板翻转支撑部件移动过程中，风干机构可进行双面风干，可在移动喷涂过程中，可同步进行双面的均匀辊压和风干，大大提高整个涂覆的工作效率。

25、4.本发明提出的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，在主动齿轮转动的同时，可带动第一转动轴转动，进而带动传动带转动，传动带带动第二转动轴转动进而带动旋转叶转动，合理的利用伺服电机的驱动力，使得旋转叶可提供一定的风力，辅助提高电路板的风干效果，进一步提高涂覆效果。

26、5.本发明提出的集成电路加工用可翻面的防静电层表面涂覆装置及方法，当第二转动轴发生传动时，可带动第一驱动齿轮转动，第一驱动齿轮进而与衔接齿条啮合连接，进而带动第一清理组件移动，进而使得第二驱动齿轮带动第二清理组件移动，此时第一清理组件与第二清理组件相对运动，使得刮取片对支撑工作台的底部进行清理，并从排料槽排出，保证支撑工作台的底部整洁，当第一清理组件与第二清理组件相反运动时，由于刮取片为活动状态，使得刮取片反向移动不会进行清理，保证二次清理均从排料槽排出，结构设计巧妙，合理的利用机构传动来实现多个有益效果，提高整体的机动性和灵活性。