过滤装置以及太阳能电池的制造设备的制作方法

本技术涉及太阳能电池，特别是涉及过滤装置以及太阳能电池的制造设备。

背景技术：

1、元素扩散工艺是太阳能电池生产过程中不可或缺的步骤，通过控制热处理的参数和扩散剂的浓度等参数，可以实现对太阳能电池性能的调节和优化，是制造高效太阳能电池的关键技术之一。例如，硼扩散设备可用于在太阳能电池材料表面扩散硼元素，改善材料性质，提高太阳能电池的光吸收能力，提高太阳能电池的光电转化效率。但是，目前硼扩散设备的尾排管路空间狭窄，尾排管路中产生的白色氧化硼粉末堆积，容易堵塞尾排管路。尾气中含有的氯气和氧化硼如果泄露在空气中，会释放微硼酸和氯化氢，这两种气体具有腐蚀性，容易造成尾排系统中各类金属部件生锈腐蚀，发生损坏，加快电气老化速度，泄露的气体对人体也具有严重的伤害。

2、目前硼扩散设备在运行过程中采用常规的冷却积液器件和纤维过滤器进行尾气处理。但是纤维过滤器的滤芯由于筛网目数不同，也会对真空泵的负载造成压力，容易因堵塞而负载增加，或者因过滤能力不足，让粉尘积攒在真空泵内，造成真空泵的卡死故障。因此需要经常维护，维护周期普遍在3至10天，维护频次高，尾排配件消耗量大。硼扩散设备的运行时常也会受到影响，会造成工艺压力不稳定，成膜均匀性不良，产品良率偏低的问题。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对上述提及的技术问题，提供一种过滤装置以及太阳能电池的制造设备。

2、本技术提供了一种过滤装置，所述过滤装置包括：

3、积液器件，所述积液器件具有积液内腔以及连通所述积液内腔的积液入口和积液出口，所述积液入口用于接收待过滤气体；

4、缓冲器件，所述缓冲器件具有缓冲内腔，所述缓冲器件的顶部具有连通所述缓冲内腔的缓冲入口和缓冲出口，所述积液器件的积液出口与所述缓冲器件的缓冲入口连通；

5、过滤组件，所述过滤组件包括过滤器件，所述过滤器件具有过滤内腔，所述过滤内腔用于容纳过滤液体，所述缓冲器件的缓冲出口与所述过滤器件的过滤内腔连通，允许待过滤气体进入所述过滤器件的过滤内腔中，使得待过滤气体与过滤液体发生反应后排出。

6、在其中一个实施例中，所述过滤组件包括至少两个依次连通的过滤器件，所述缓冲器件的缓冲出口与其中一个所述过滤器件连通，允许待过滤气体依次进入至少两个所述过滤器件的过滤内腔，使得待过滤气体依次与至少两个所述过滤器件中的过滤液体反应后排出。

7、在其中一个实施例中，所述过滤组件包括：

8、第一过滤器件，所述第一过滤器件具有第一过滤内腔以及连通所述第一过滤内腔的第一过滤入口和第一过滤出口，所述第一过滤入口与所述缓冲器件的缓冲出口连通；

9、第二过滤器件，所述第二过滤器件具有第二过滤内腔以及连通所述第二过滤内腔的第二过滤入口和第二过滤出口，所述第二过滤入口与所述第一过滤出口连通；

10、第三过滤器件，所述第三过滤器件具有第三过滤内腔以及连通所述第三过滤内腔的第三过滤入口和第三过滤出口，所述第三过滤入口与所述第二过滤出口连通。

11、在其中一个实施例中，所述过滤组件包括：

12、第一输送管路，所述第一输送管路连接在所述积液器件的积液出口与所述缓冲器件的缓冲入口之间；和/或，

13、第二输送管路，所述第二输送管路连接在所述缓冲器件的缓冲出口和所述第一过滤器件的第一过滤入口之间，所述第二输送管路上设置有第一控制阀件，所述第一控制阀件用于关闭或开通所述第二输送管路；和/或，

14、第三输送管路，所述第三输送管路连接在所述第一过滤器件的第一过滤出口和所述第二过滤器件的第二过滤入口之间；和/或，

15、第四输送管路，所述第四输送管路连接在所述第二过滤器件的第二过滤出口和所述第三过滤器件的第三过滤入口之间。

16、在其中一个实施例中，所述过滤装置包括：

17、真空泵，所述真空泵通过第五输送管路与所述第三过滤器件的第三过滤出口连接；

18、第二控制阀件，所述第二控制阀件设置在所述第五输送管路上，用于关闭或开通所述第五输送管路。

19、在其中一个实施例中，所述过滤装置包括：

20、液体控制组件，所述液体控制组件与所述过滤组件连接，用于向所述过滤组件中至少一个所述过滤器件的过滤内腔中输送过滤液体，以及用于排放所述过滤组件中至少一个所述过滤器件中的过滤液体。

21、在其中一个实施例中，所述液体控制组件包括：

22、第一控制管路，所述第一控制管路的输入口用于接收过滤液体，所述第一控制管路的输出口与所述第二输送管路连通，且所述第一控制管路的输出口连通在所述第一控制阀件和所述第一过滤器件之间；

23、第三控制阀件，所述第三控制阀件设置在所述第一控制管路上，用于关闭或开通所述第一控制管路。

24、在其中一个实施例中，所述液体控制组件包括：

25、第二控制管路，所述第二控制管路的输出口与所述第五输送管路连通，所述第二控制管路的输出口连通在所述第二控制阀件和所述第三过滤器件之间；

26、第四控制阀件，所述第四控制阀件设置在所述第二控制管路上，用于关闭或开通所述第二控制管路；

27、第三控制管路，所述第三控制管路的输入口与所述第二输送管路连通，所述第三控制管路的输入口连通在所述第一控制阀件和所述第一过滤器件之间；

28、第五控制阀件，所述第五控制阀件设置在所述第三控制管路上，用于关闭或开通所述第三控制管路。

29、在其中一个实施例中，所述过滤装置包括：

30、真空控制管路，所述真空控制管路的两端分别与所述第一控制管路和所述第二控制管路连通；

31、第六控制阀件，所述第六控制阀件设置在所述真空控制管路上，用于关闭或开通所述真空控制管路。

32、在其中一个实施例中，所述缓冲器件上设置有真空计量装置；和/或，

33、所述积液器件的积液入口设置热量扩散器件，用于经过所述热量扩散器件接收待过滤气体；和/或，

34、所述积液入口位于所述积液器件的顶部，所述积液出口位于所述积液器件的底部；和/或，

35、所述积液内腔的容积数值大于所述过滤组件的全部过滤器件中容纳的过滤液体的体积数值；和/或，

36、所述过滤液体采用为水。

37、本技术提供了一种太阳能电池的制造设备，所述制造设备包括：

38、扩散装置，所述扩散装置用于掺杂元素；

39、所述过滤装置，所述过滤装置用于过滤所述扩散装置的废气。

40、在其中一个实施例中，所述扩散装置用于掺杂硼元素。

41、上述过滤装置以及太阳能电池的制造设备中，过滤装置可将尾气中大部分的氧化硼和氯气与水反应，生成硼酸和盐酸，因而实现对尾气中大部分氧化硼和氯气的过滤。因此，通过这种方式过滤掉尾气中氯气和氧化硼时，所需的过滤液体可仅为水，所以在不断过滤尾气中氯气和氧化硼时，仅通过更换水即可实现过滤。相比于常规方式中需要不断替换实体部件的方式来维护尾排管道过滤结构，解决尾排管道堵塞的问题而言，仅更换水的方式可更加简单，因此相比于常规的过滤方式可提高维护周期。