一种LED晶片自动分选机及其控制系统的制作方法

技术特征：

1.一种用于LED晶片自动分选机的控制系统，其特征在于，包括工业控制计算机、数字图像采集卡和32轴软运动控制器；

所述工业控制计算机包括至少两路通讯插槽，其中一路所述通讯插槽用于安装所述数字图像采集卡，另外一路通讯插槽用于安装双路千兆网卡；

所述数字图像采集卡通过第一Ethernet网口与用于采集BIN工作台晶圆图像的第一CCD相机相连接；所述数字图像采集卡通过第二Ethernet网口与采集WAFER工作台晶圆图像的第二CCD相机相连接；

所述千兆网卡中的第三Ethernet网口用于连接EtherCAT串行运动控制网络，其第四Ethernet网口用于连接局域网。

2.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述EtherCAT串行运动控制网络包括主站和从站，所述主站为基于多核CPU和Windows平台的实时分布多轴软控制器，所述从站为串行连接的多个ACS驱动/控制器；所述主站与所述从站之间、以及各所述从站之间均通过千兆网线通信连接。

3.根据权利要求2所述的控制系统，其特征在于，所述ACS驱动/控制器包括第一ACS驱动/控制器、第二ACS驱动/控制器、第三ACS驱动/控制器、第四ACS控制器、第五ACS控制器和第六ACS驱动/控制器；各ACS驱动/控制器分别构成所述EtherCAT串行运动控制网络的从站。

4.根据权利要求3所述的控制系统，其特征在于，所述第一ACS驱动/控制器采用支持EtherCAT总线并内嵌驱动器的UDMPM2007型控制器，用于实现BIN平台X轴直线电机和BIN平台Y轴直线电机的闭环反馈控制；

所述BIN平台X轴直线电机和BIN平台Y轴直线电机导轨基座上均安装由玻璃光栅尺和读数头构成的分辨率可达0.5um编码器系统，所述BIN平台X轴直线电机对应编码器采用DB26接头与UDMPM2007控制器0轴编码器输入端相连，BIN平台Y轴直线电机采用DB26接头与UDMPM2007控制器1轴编码器输入端相连；

所述BIN平台中光电传感器连接到UDMPM2007控制器所提供的IO端口，用于上电后使直线电机自动归位以及分选过程中确保电机在安全区域运行。

5.根据权利要求4所述的控制系统，其特征在于，所述第二ACS驱动/控制器采用支持EtherCAT总线并内嵌驱动器的UDMPM2007型控制器，用于实现WAFER平台X轴直线电机和WAFER平台Y轴直线电机的闭环反馈控制；

所述WAFER平台X轴直线电机和WAFER平台Y轴直线电机导轨基座上均安装由玻璃光栅尺和读数头构成的分辨率可达0.5um编码器系统；所述WAFER平台X轴直线电机对应编码器采用DB26接头与UDMPM2007控制器0轴编码器输入端相连，WAFER平台Y轴直线电机采用DB26接头与UDMPM2007控制器的1轴编码器输入端相连；

所述WAFER平台中光电传感器连接到UDMPM2007控制器所提供的IO端口，用于上电后使直线电机自动归位以及分选过程中确保电机在安全区域运行。

6.根据权利要求5所述的控制系统，其特征在于，所述第三ACS驱动/控制器采用支持EtherCAT总线并内嵌驱动器的UDMPM1007型控制器，用于实现摆臂直驱电机的闭环运动控制；

所述摆臂直驱电机上安装有Sin-Cos模拟量编码器，采用DB26接头与UDMPM1007控制器0轴编码器输入端相连；

所述摆臂装置中光电传感器连接到UDMPM1007控制器所提供的IO端口，用于上电后使直驱电机自动归位以及分选过程中确保电机在安全区域运行。

7.根据权利要求6所述的控制系统，其特征在于，所述第四ACS控制器采用支持EtherCAT总线的PDMnt型控制器，用于BIN台夹爪步进电机、WAFER台夹爪步进电机以及硅片工作台步进电机的开环运动控制；

所述PDMnt控制器DRIVE1控制信号接线端连接第一步进电机驱动器控制BIN台夹爪步进电机；DRIVE2控制信号接线端连接第二步进电机驱动器控制WAFER台夹爪步进电机，PDMnt控制器DRIVE3控制信号接线端连接第三步进电机驱动器硅片工作台步进电机；

三个步进电机均集成有1000线光电编码器，BIN台夹爪步进电机编码器连接到第一ACS驱动/控制器对应的2轴编码器输入端，WAFER台夹爪步进电机编码器连接到所述第一ACS驱动/控制器的3轴编码器输入端，硅片工作台步进电机编码器连接到所述第二ACS驱动/控制器的2轴编码器输入端。

8.根据权利要求7所述的控制系统，其特征在于，所述第五ACS控制器采用支持EtherCAT总线的PDMnt型控制器，用于硅片升降台步进电机、料盒升降台Y轴交流伺服电机以及料盒升降台Z轴交流伺服电机的运动控制；

所述PDMnt控制器DRIVE1控制信号接线端连接第四步进电机驱动器控制硅片升降台步进电机；DRIVE2控制信号接线端连接第一伺服电机驱动器控制料盒升降台Y轴交流伺服电机；DRIVE3控制信号接线端连接第二伺服电机驱动器控制料盒升降台Z轴交流伺服电机；

硅片升降台步进电机集成有1000线光电编码器，连接到所述第二ACS驱动/控制器的3轴编码器输入端；料盒升降台Y轴交流伺服电机采用2500线光电编码器，连接到第一伺服电机驱动器的编码器输入端，第一伺服电机驱动器中等效编码器输出信号连接到所述第三ACS驱动/控制器1轴编码器输入端；料盒升降台Z轴交流伺服电机采用2500线光电编码器，连接到第二伺服电机驱动器编码器输入端，第二伺服电机驱动器中等效编码器输出信号连接到所述第六ACS驱动/控制器的3轴编码器输入端。

9.根据权利要求8所述的控制系统，其特征在于，所述第六ACS驱动/控制器采用支持EtherCAT总线并内嵌驱动器的UDMlc型控制器，用于实现第一摆臂音圈电机、第二摆臂音圈电机以及推顶器音圈电机的闭环反馈控制；

音圈电机导轨基座上均安装由玻璃光栅尺和读数头构成的分辨率可达0.5um编码器系统。第一摆臂音圈电机对应编码器与UDMlc控制器0轴编码器输入端相连，第二摆臂音圈电机对应编码器与UDMlc控制器的1轴编码器输入端相连，推顶器音圈电机对应编码器与UDMlc控制器的2轴编码器输入端相连。

10.一种LED晶片自动分选机，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的控制系统。