一种便于检修的独立式晶圆捡选机的制作方法

本发明属于晶圆捡选机技术领域，具体涉及一种便于检修的独立式晶圆捡选机。

背景技术

晶圆便是硅元素加以纯化（99.999%），接着是将这些纯硅制成硅晶棒，成为制造集成电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的不同尺寸的晶圆，如8英寸晶圆、12英寸晶圆等，晶圆捡选机是将随机的、不同尺寸的晶圆，按其要求进行分类（按产品类别或产品目的地不同分）的一种物料搬运设备。

现有的晶圆捡选机在使用过程中，晶圆在捡选出口容易被碰伤，导致晶圆损坏，并浪费晶圆材料，或者晶圆使用人工捡选，浪费人力和财力，增加晶圆成本且捡选完成的晶圆运输不方便的问题，为此我们提出一种便于检修的独立式晶圆捡选机。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种便于检修的独立式晶圆捡选机，以解决上述背景技术中提出现有的晶圆捡选机在使用过程中，晶圆在捡选出口容易被碰伤，导致晶圆损坏，并浪费晶圆材料，或者晶圆使用人工捡选，浪费人力和财力，增加晶圆成本且捡选完成的晶圆运输不方便的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架、捡选机主体、装料桶车以及传送带支架下侧的支撑机构，所述传送带支架侧面设置有防护机构，所述防护机构包括捡选口、挡板、凹槽、弹簧、托盘、海棉软体、魔术贴a面、魔术贴b面和海绵保护条，所述传送带支架安装固定在捡选机主体的侧面，所述装料桶车安装放置在传送带支架的一侧，所述装料桶车的侧面设置有把手，所述捡选口开设在传送带支架的侧面，所述挡板对称安装固定在捡选口的两侧，所述凹槽开设在装料桶车的内表面，所述弹簧的底端放置在凹槽的内部，所述托盘安装固定在弹簧的顶端并放置在装料桶车的内部，所述魔术贴a面安装固定在挡板的表面，所述魔术贴b面安装固定在魔术贴a面的侧面，所述海绵保护条安装固定在魔术贴b面的侧面，所述海绵保护条通过魔术贴a面与魔术贴b面粘合固定在挡板的侧面，所述传送带支架的上侧设置有固定机构。

优选的，所述固定机构包括装料容器、观测口、固定凸起、和固定槽，所述装料容器安装固定在传送带支架的上侧，所述观测口对称开设在装料容器两侧，所述固定凸起对称固定在装料容器的下表面并放置在固定槽的内部，所述固定槽开设在传送带支架的上表面。

优选的，所述支撑机构包括底板和支撑腿，所述底板安装固定在传送带支架的下表面，所述支撑腿安装固定在底板的下表面四角位置处，所述支撑腿的底端套设有防滑垫。

优选的，所述传送带支架的一侧设置有传送带，所述传送带的一端连接一个传送带支架侧面另一端连接另一个传送带支架侧面，所述传送带的内部设置有转轴。

优选的，所述装料桶车内表面设置有卡槽，所述海棉软体两侧对称设置有固定块，所述卡槽与固定块相匹配卡合，所述装料桶车的一面设置有把手另一面开设有开口。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

（1）该发明设置有防护机构，防止晶圆在捡选的过程中被碰坏，降低晶圆生产成本，且海绵保护条通过魔术贴a面与魔术贴b面粘合固定在挡板侧面，方便用户安装固定和拆卸更换，保证海绵保护条的防护功能，并提高用户的工作效率，海棉软体通过固定块和卡槽固定，方便海棉软体拆卸更换和检修，增加海棉软体的持续防护效果。

（2）装料容器下表面的固定凸起与固定槽卡合固定，方便装料容器安装和拆卸，且装料容器设置有观测口，方便观测晶圆下降速度和方便用户把晶圆放置在装料容器内部，装料桶车内部设置有弹簧，使托盘慢慢的向下移动，防止晶圆损坏，且装料桶车侧面设置有开口，方便用户卸载装料桶车内部的晶圆，降低用户的劳动量。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明的装料桶车侧视剖面结构示意图；

图3为本发明的装料桶车俯视结构示意图；

图4为本发明的挡板局部侧视结构示意图；

图5为本发明的传送带支架局部侧视剖面结构示意图；

图中：1、装料容器；2、观测口；3、传送带支架；4、底板；5、支撑腿；6、捡选机主体；7、捡选口；8、挡板；9、装料桶车；10、凹槽；11、弹簧；12、托盘；13、卡槽；14、固定块；15、海棉软体；16、魔术贴a面；17、魔术贴b面；18、海绵保护条；19、固定凸起；20、固定槽；21、传送带。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本发明提供一种技术方案：一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架3、捡选机主体6、装料桶车9以及传送带支架3下侧的支撑机构，传送带支架3侧面设置有防护机构，防护机构包括捡选口7、挡板8、凹槽10、弹簧11、托盘12、海棉软体15、魔术贴a面16、魔术贴b面17和海绵保护条18，传送带支架3安装固定在捡选机主体6的侧面，装料桶车9安装放置在传送带支架3的一侧，装料桶车9的侧面设置有把手，捡选口7开设在传送带支架3的侧面，传送带支架3设置有三个不同尺寸的捡选口7，挡板8对称安装固定在捡选口7的两侧，凹槽10开设在装料桶车9的内表面，弹簧11的底端放置在凹槽10的内部，托盘12安装固定在弹簧11的顶端并放置在装料桶车9的内部，魔术贴a面16安装固定在挡板8的表面，魔术贴a面16侧面与挡板8的表面通过胶粘固定连接，魔术贴b面17安装固定在魔术贴a面16的侧面，海绵保护条18安装固定在魔术贴b面17的侧面，魔术贴b面17的侧面与海绵保护条18的侧面通过胶粘固定连接，海绵保护条18通过魔术贴a面16与魔术贴b面17粘合固定在挡板8的侧面，传送带支架3的上侧设置有固定机构。

为了方便装料容器1固定在传送带支架3上侧，本实施例中，优选的，固定机构包括装料容器1、观测口2、固定凸起19、和固定槽20，装料容器1安装固定在传送带支架3的上侧，观测口2对称开设在装料容器1两侧，固定凸起19对称固定在装料容器1的下表面并放置在固定槽20的内部，固定槽20开设在传送带支架3的上表面。

为了方便底板4支撑传送带支架3，本实施例中，优选的，支撑机构包括底板4和支撑腿5，底板4安装固定在传送带支架3的下表面，支撑腿5安装固定在底板4的下表面四角位置处，支撑腿5的底端套设有防滑垫，支撑腿5顶端与底板4的下表面通过螺栓固定连接。

为了方便传送带支架3与传送带21连接，本实施例中，优选的，传送带支架3的一侧设置有传送带21，传送带21的一端连接一个传送带支架3侧面另一端连接另一个传送带支架3侧面，传送带21的内部设置有转轴。

为了海棉软体15固定在装料桶车9内表面，本实施例中，优选的，装料桶车9内表面设置有卡槽13，海棉软体15两侧对称设置有固定块14，卡槽13与固定块14相匹配卡合，装料桶车9的一面设置有把手另一面开设有开口。

实施例2

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，本发明提供一种技术方案：一种便于检修的独立式晶圆捡选机，包括传送带支架3、捡选机主体6、装料桶车9以及传送带支架3下侧的支撑机构，传送带支架3侧面设置有防护机构，防护机构包括捡选口7、挡板8、凹槽10、弹簧11、托盘12、海棉软体15、魔术贴a面16、魔术贴b面17和海绵保护条18，传送带支架3安装固定在捡选机主体6的侧面，装料桶车9安装放置在传送带支架3的一侧，装料桶车9的侧面设置有把手，捡选口7开设在传送带支架3的侧面，传送带支架3设置有三个不同尺寸的捡选口7，挡板8对称安装固定在捡选口7的两侧，凹槽10开设在装料桶车9的内表面，弹簧11的底端放置在凹槽10的内部，托盘12安装固定在弹簧11的顶端并放置在装料桶车9的内部，魔术贴a面16安装固定在挡板8的表面，魔术贴a面16侧面与挡板8的表面通过螺栓固定连接，魔术贴b面17安装固定在魔术贴a面16的侧面，海绵保护条18安装固定在魔术贴b面17的侧面，魔术贴b面17的侧面与海绵保护条18的侧面通过螺栓固定连接，海绵保护条18通过魔术贴a面16与魔术贴b面17粘合固定在挡板8的侧面，传送带支架3的上侧设置有固定机构。

为了方便装料容器1固定在传送带支架3上侧，本实施例中，优选的，固定机构包括装料容器1、观测口2、固定凸起19、和固定槽20，装料容器1安装固定在传送带支架3的上侧，观测口2对称开设在装料容器1两侧，固定凸起19对称固定在装料容器1的下表面并放置在固定槽20的内部，固定槽20开设在传送带支架3的上表面。

为了方便底板4支撑传送带支架3，本实施例中，优选的，支撑机构包括底板4和支撑腿5，底板4安装固定在传送带支架3的下表面，支撑腿5安装固定在底板4的下表面四角位置处，支撑腿5的底端套设有防滑垫，支撑腿5顶端与底板4的下表面通过焊接固定连接。

为了方便传送带支架3与传送带21连接，本实施例中，优选的，传送带支架3的一侧设置有传送带21，传送带21的一端连接一个传送带支架3侧面另一端连接另一个传送带支架3侧面，传送带21的内部设置有转轴。

为了海棉软体15固定在装料桶车9内表面，本实施例中，优选的，装料桶车9内表面设置有卡槽13，海棉软体15两侧对称设置有固定块14，卡槽13与固定块14相匹配卡合，装料桶车9的一面设置有把手另一面开设有开口。

本发明的工作原理及使用流程：该发明在安装使用时，先把装料容器1下表面的固定凸起19与传送带支架3上表面的固定槽20卡合固定，再把海绵保护条18侧面的魔术贴b面17与挡板8侧面的魔术贴a面16粘合固定，随后把弹簧11底端放置在凹槽10的内部，使托盘12放置在弹簧11的顶端，然后再把海棉软体15通过固定块14与卡槽13卡合固定在装料桶车9的内表面，安装完成后使用时再把晶圆放置在装料容器1的内部，然后晶圆一个一个在传送带21上表面移动，随后通过捡选机主体6捡选把晶圆输送到相应尺寸的捡选口7，然后通过挡板8侧面海绵保护条18的保护，晶圆一侧滑落装料桶车9内部的托盘12上表面，并通过海棉软体15防止晶圆与装料桶车9内表面碰撞损坏，然后晶圆在托盘12上表面向下压缩弹簧11，直到装料桶车9内部装满晶圆，然后用户重新更换新的装料桶车9在捡选口7一侧。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。