一种除尘管、除尘装置和准分子激光器的制作方法

本技术涉及半导体制造，具体涉及一种除尘管，一种除尘装置，一种准分子激光器以及另外一种除尘管。

背景技术：

1、在高端光刻领域，准分子激光器因其高重频、窄线宽和大能量的特点，是目前半导体光刻领域应用的主要设备。

2、在准分子激光器放电腔中，光学输出结构会遇到诸多问题。例如，由于存在高重复频率的高压放电及高温环境，腔内存在大量放电粉尘，这些粉尘到达光学输出窗口时会污染镜片，造成热应力集中、光学性能下降等不良影响。对此，现有技术一般采用静电除尘装置净化准分子激光器腔内的气体，然后向镜片内侧输送洁净气体进行冲刷保护。由于静电除尘装置是处于密封环境工作的，这会导致静电除尘装置的除尘管内会累积大量的粉尘，从而使得静电除尘装置的集尘能力下降，降低静电除尘装置的除尘效率，影响准分子激光器正常运作。

3、因此，如何提升静电除尘装置的除尘效率，成为本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本技术实施例提供一种除尘管，以解决现有技术中如何提升除尘装置的除尘效率的问题。本技术实施例还提供一种除尘管，一种除尘装置，以及一种准分子激光器。

2、本技术实施例提供一种除尘管(100)，包括：振荡电路发生器(1)、直流电路发生器(2)、支撑件(3)以及用于静电除尘的工作腔(4)，所述工作腔(4)包括外壁(41)和内壁(42)；

3、所述外壁(41)与所述振荡电路发生器(1)的输出端连接，用于接收所述振荡电路发生器(1)发出的交流电压或周期脉冲电压；

4、所述内壁(42)通过所述支撑件(3)以预设距离设置在所述外壁(41)的内侧，所述内壁(42)与所述直流电路发生器(2)的输出端连接，用于接收所述直流电路发生器(2)发出的直流高压。

5、可选的，还包括：多个引流通孔(5)，所述引流通孔(5)设置在所述内壁(42)的底部位置，用于将所述内壁(42)收集的粉尘引流至所述外壁(41)和所述内壁(42)之间的除尘空间(43)。

6、可选的，还包括：集尘部件(6)，所述集尘部件(6)相对所述引流通孔(5)设置在所述外壁(41)和所述内壁(42)之间的部分除尘空间(43)，用于接收所述引流通孔(5)引流的粉尘。

7、可选的，所述集尘部件(6)包括多层设置的集尘网，且从所述内壁(42)至所述外壁(41)的延伸方向上，依次布置的所述集尘网的网络开孔逐渐缩小。

8、可选的，还包括：引流机构(8)，所述引流机构(8)设置在所述工作腔(4)的输入端和/或输出端，用于引流所述工作腔(4)通入的工作载气，所述工作载气用于承载所述粉尘。

9、可选的，所述引流机构(8)设置在所述工作腔(4)的输入端和/或输出端，用于引流所述工作腔(4)通入的工作载气，包括：所述引流机构(8)设置在所述内壁(42)和外壁(41)之间形成的除尘空间(43)的输入端和/或输出端，用于引流所述除尘空间(43)通入的工作载气。

10、可选的，所述外壁(41)设置有与所述振荡电路发生器(1)连接的第一端口(44)。

11、可选的，所述内壁(42)设置有与所述直流电路发生器(2)连接的第二端口(45)。

12、可选的，所述振荡电路发生器(1)还包括第一接地端(11)，所述直流电路发生器(2)还包括第二接地端(21)，所述第一接地端(11)和所述第二接地端(21)相交后接地；或者，所述第一接地端(11)和所述第二接地端(21)分别接地。

13、可选的，所述外壁(41)包括第一接地端口(46)，所述内壁(42)包括第二接地端口(47)，所述第一接地端口(46)用于所述外壁(41)接地，所述第二接地端口(47)用于所述内壁(42)接地。

14、可选的，还包括放电电极(7)；所述放电电极(7)沿所述内壁(42)的延伸方向设置在所述内壁(42)的轴线位置，所述放电电极(7)用于产生高压电压。

15、可选的，所述支撑件(3)环绕所述内壁(42)或所述外壁(41)的周向间隔布置，所述支撑件(3)包括绝缘件。

16、本技术实施例还提供一种除尘装置，包括：多个除尘管(100)和用于容置所述除尘管(100)的容置体(9)；所述除尘管(100)包括由外壁(41)和内壁(42)构成的工作腔(4)、放电电极(7)；所述容置体(9)包括相对设置的支撑连接端(91)；所述支撑连接端(91)包括第一导电部(92)和第二导电部(93)，所述第一导电部(92)用于接收振荡电路发生器发出的交流电压或周期脉冲电压，所述第二导电部(93)用于接收直流电路发生器发出的直流高压；

17、每个所述除尘管(100)的两端位于所述支撑连接端(91)，每个所述除尘管(100)的所述外壁(41)与所述第一导电部(92)连接，所述内壁(42)与所述第二导电部(93)连接；所述放电电极(7)沿所述内壁(42)的延伸方向设置在所述内壁(42)的轴线位置，且所述放电电极(7)的端部贯穿所述第一导电部(92)的第一通孔(94)和所述第二导电部(93)的第二通孔(95)设置。

18、可选的，所述第一导电部(92)和第二导电部(93)沿所述内壁(42)的延伸方向依次设置在所述支撑连接端(91)；

19、所述内壁(42)沿所述内壁(42)的延伸方向穿过所述第一通孔(94)与所述第二导电部(93)连接；所述外壁(41)连接于构成所述第一通孔(94)的所述第一导电部(92)位置。

20、可选的，所述支撑连接端(91)还包括绝缘胶(97)，所述第一导电部(92)和第二导电部(93)通过所述绝缘胶(97)设置在所述支撑连接端(91)。

21、可选的，所述容置体(9)还包括容置腔(96)，所述支撑连接端(91)的外周面贴合所述容置腔(96)的内表面设置。

22、本技术实施例还提供一种准分子激光器，包括本体和设置在本体上的上述所述的除尘装置(200)。

23、本技术实施例还提供一种除尘管，包括：支撑件(3)和用于静电除尘的工作腔(4)，所述工作腔(4)包括放电电极(7)、外壁(41)和内壁(42)；

24、所述外壁(41)设置有第一接地端口(46)；

25、所述内壁(42)通过所述支撑件(3)以预设距离设置在所述外壁(41)的内侧，所述内壁(42)设置有第二接地端口(47)；

26、所述放电电极(7)沿所述内壁(42)的延伸方向设置在所述内壁(42)的轴线位置，所述放电电极(7)用于产生高压电压。

27、可选的，所述外壁(41)设置有与振荡电路发生器(1)连接的第一端口(44)；所述内壁(42)设置有与直流电路发生器(2)连接的第二端口(45)。

28、与现有技术相比，本技术具有以下优点:

29、本技术实施例提供一种除尘管(100)，包括：振荡电路发生器(1)、直流电路发生器(2)、支撑件(3)以及用于静电除尘的工作腔(4)，所述工作腔(4)包括外壁(41)和内壁(42)；所述外壁(41)与所述振荡电路发生器(1)的输出端连接，用于接收所述振荡电路发生器(1)发出的交流电压或周期脉冲电压；所述内壁(42)通过所述支撑件(3)以预设距离设置在所述外壁(41)的内侧，所述内壁(42)与所述直流电路发生器(2)的输出端连接，用于接收所述直流电路发生器(2)发出的直流高压。本技术实施例通过设置外壁(41)和内壁(42)构成的工作腔(4)，并使得内壁(42)与直流电路发生器(2)的输出端连接，用于获得直流高压，外壁(41)与振荡电路发生器(1)的输出端连接，用于获得正弦电压或脉冲高压，从而使得内壁(42)和外壁(41)之间形成周期震荡的电场，在周期电场作用下，内壁(42)会发生周期震动，内壁(42)表面累积的粉尘也会在震动的作用下与内壁(42)分离，最终达到对累积的粉尘进行清理的目的，在内壁(42)表面累积的粉尘被清理后，内壁(42)表面可以继续收集粉尘，从而可以提升除尘管(100)的除尘效率，进而提升除尘装置的除尘效率。