技术特征：
1.一种晶圆分选设备，包括机架(1)，机架(1)设有上料工位、分选工位，其特征在于，所述分选设备还包括：安装于上料工位处的上料机构(2)，该上料机构(2)悬装于一架子上，其设有第一xyz三轴联动机构及安装于所述第一xyz三轴联动机构上的晶圆盘夹持机构(25)和bin盘夹持机构(26)；晶圆平台机构(3)，具有安装于所述机架(1)上的第一底座(31)、安装于所述第一底座(31)上的第一yz轴运动模组，所述第一yz轴运动模组驱动连接有晶盘组件，所述晶盘组件上分别安装有晶圆固定机构(34)、光源(35)和吸嘴擦拭装置(36)；晶圆顶针机构(4)，安装于所述第一底座(31)上，具有第二xyz三轴联动机构和安装于所述第二xyz三轴联动机构上的顶针固定组件，所述顶针固定组件上可拆卸的安装有顶针(46)；摆臂机构(5)，设于所述分选工位，具有第二底座(51)、安装于所述第二底座(51)上的第一θ轴机构(52)、安装于所述第一θ轴机构(52)并被所述第一θ轴机构(52)驱动做旋转运动的旋转支架，所述旋转支架上对称的安装有第一摆臂(53)和第二摆臂(54)；bin盘平台机构(6)，具有固定所述机架(1)上的第三底座(61)、装设于所述第三底座(61)上的第二yz轴运动模组、与所述第二yz轴运动模组驱动连接的第二θ轴机构(64)，所述第二θ轴机构(64)驱动连接bin盘组件，所述bin盘组件上设置有bin盘固定机构(65)和光源(66)；安装于第三底座(61)上的bin盘顶膜机构(7)，该bin盘顶膜机构(7)具有第三x轴运动模组(71)、与所述第三x轴运动模组(71)驱动连接并被所述第三x轴运动模组(71)驱动做x轴向运动的顶膜机构(72)；安装于第二底座(51)上的ccd对位系统(8)，该ccd对位系统(8)具有第一ccd视觉模块(81)、第二ccd视觉模块(82)，所述第一ccd视觉模块(81)与所述第一摆臂(53)、第二摆臂(54)、顶针(46)的中心重合，所述第二ccd视觉模块(82)与所述第一摆臂(53)、第二摆臂(54)的中心重合。2.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述第一xyz三轴联动机构包括：第一x轴运动模组(21)；与所述第一x轴运动模组(21)驱动连接并被所述第一x轴运动模组(21)驱动做x轴向运动的第一y轴运动模组(22)，所述第一y轴运动模组(22)驱动连接有第一y轴活动部；第一z轴机构(23)和第二z轴机构(24)，分别安装于所述第一y轴活动部的左侧和右侧；晶圆盘夹持机构(25)，和所述第一z轴机构(23)驱动连接；bin盘夹持机构(26)，和所述第二z轴机构(24)驱动连接；所述第一x轴运动模组(21)安装于架子上，其动力源为第一同步带电机，该第一同步带电机通过同步带组件驱动连接x轴向活动部；所述第一y轴运动模组(22)安装于所述x轴向活动部，其动力源为第二同步带电机，该第二同步带电机驱动连接y轴向活动部；所述第一z轴机构(23)的动力源为第三同步带电机，该第三同步带电机驱动连接有第一z轴活动部，所述第一z轴活动部安装所述晶圆盘夹持机构(25)；
所述第二z轴机构(24)的动力源为第四同步带电机，该第四同步带电机驱动连接有第二z轴活动部，所述第二z轴活动部安装所述bin盘夹持机构(26)。3.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述晶圆盘夹持机构(25)的动力源为第一夹持气缸，该第一夹持气缸驱动连接有第一夹子，该第一夹子用于夹持第一晶圆盘；所述bin盘夹持机构(25)的动力源为第二夹持气缸，该第二夹持气缸驱动连接有第二夹子，该第二夹子用于夹持第二晶圆盘。4.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述第一底座(31)为大理石材质的底座；所述第一yz轴运动模组包括：安装于所述第一底座(31)上的第二y轴运动模组(32)，所述第二y轴运动模组(32)驱动连接第二y轴活动部；安装于所述第二y轴活动部上的第三z轴机构(33)，所述第三z轴机构(33)驱动连接有第三z轴活动部，所述第三z轴活动部上分别安装所述晶圆固定机构(34)、光源(35)和吸嘴擦拭装置(36)。5.根据权利要求4所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述第二y轴运动模组(32)的动力源为第一丝杆电机，该第一丝杆电机驱动连接有第一丝杆，所述第一丝杆螺接所述第二y轴活动部；所述第三z轴机构(33)的动力源为第二丝杆电机，所述第二丝杆电机驱动连接有第二丝杆，该第二丝杆螺接所述第三z轴活动部；所述晶圆固定机构(34)的动力源为第一压紧气缸，该第一压紧气缸驱动连接有压板，该压板运动方向指向晶圆盘；所述吸嘴擦拭装置(36)的动力源为擦拭气缸，该擦拭气缸驱动连接有擦拭装置，所述擦拭装置的移动路径能够到达产品的擦拭位置。6.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述第二xyz三轴联动机构包括：第三y轴运动模组(41)，安装于所述第一底座(31)上；与所述第三y轴运动模组(41)驱动连接并被所述第三y轴运动模组(41)驱动做y轴向运动的第二x轴运动模组(42)；与所述第二x轴运动模组(42)驱动连接并被所述第二x轴运动模组(42)驱动做x轴向运动的第四z轴机构(43)，所述第四z轴机构(43)具有沿z轴导轨活动的第四z轴活动部，所述第四z轴活动部安装所述顶针固定组件；所述顶针固定组件包括顶针帽机构(44)、安装于所述顶针帽机构(44)上的顶针固定部(45)，所述顶针驱动机构(45)驱动连接有顶针固定部，所述顶针固定部可拆卸的安装有顶针(46)。7.根据权利要求6所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述第三y轴运动模组(41)的动力源为第一电机，该第一电机驱动连接第一凸轮，第一凸轮连接第一连杆，所述第一连杆另一端可转动的连接第三y轴活动部，通过第一凸轮的旋转使第一连杆产生位移，进而带动第三y轴活动部做y轴向移动；
所述第二x轴运动模组(42)，其动力源为第一直线气缸，该第一直线气缸驱动连接第一x轴活动部；所述第四z轴机构(43)，其动力源为第二电机，该第二电机驱动连接第二凸轮，第二凸轮连接第二连杆，所述第二连杆的另一端可转动的连接第五z轴活动部，通过第二凸轮的旋转使第二连杆产生位移，进而带动第五z轴活动部做z轴向移动；所述顶针帽机构(44)的动力源为第一凸轮电机，该第一凸轮电机驱动连接第一伸缩件，该第一伸缩件连接所述顶针驱动机构(45)；所述顶针驱动机构(45)的动力源为第二凸轮电机，该第二凸轮电机驱动连接第二伸缩件，所述第二伸缩件连接顶针固定部，所述顶针固定部可拆卸的安装所述顶针(46)。8.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述第一θ轴机构(52)的动力源为第一伺服电机，该第一伺服电机驱动所述旋转支架做旋转运动；所述第一摆臂(53)和第二摆臂(54)结构相同，其通过弹性板垂直的安装于所述旋转支架的两侧；所述旋转支架和所述第一摆臂(53)之间设置有限位结构、弹力大小调节结构；所述旋转支架和所述第二摆臂(54)之间设置有限位结构、弹力大小调节结构。9.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述第二yz轴运动模组包括第四y轴运动模组(62)、与所述第四y轴运动模组(62)驱动连接并被所述第四y轴运动模组(62)驱动做y轴向运动的第五z轴运动模组(63)；所述第四y轴运动模组(62)安装于所述第三底座(61)，其动力源为第三丝杆电机，该第三丝杆电机驱动连接有第三丝杆，所述第三丝杆螺接有第四y轴活动部，所述第四y轴活动部上安装所述第五z轴运动模组(63)；所述第五z轴运动模组(63)的动力源为第四丝杆电机，该第四丝杆电机驱动连接有第四丝杆，所述第四丝杆螺接有第六z轴活动部，所述第六z轴活动部上安装所述第二θ轴机构(64)；所述第二θ轴机构(64)的动力源为第二伺服电机，该第二伺服电机驱动连接bin盘组件且该所述第二伺服电机驱动所述bin盘组件做旋转运动；所述bin盘固定机构(65)的动力源为第二压紧气缸，该第二压紧气缸驱动压板压紧bin盘。10.根据权利要求1所述的一种晶圆分选设备，其特征在于，所述第三x轴运动模组(71)的动力源为第二直线气缸，该第二直线气缸驱动连接第二x轴活动部，所述第二x轴活动部安装所述顶膜机构(72)；所述顶膜机构(72)的动力源为第三凸轮电机，该第三凸轮电机驱动顶膜部做伸缩运动。
技术总结
本发明公开了一种晶圆分选设备，包括机架、上料机构、摆臂机构、晶圆平台机构、Bin盘平台机构、晶圆顶针机构、Bin盘顶膜机构和CCD对位系统。工作时，上料机构夹持晶圆盘放入到晶圆平台上，上料机构夹持Bin盘放入到Bin盘平台上，晶圆平台机构移动到CCD搜索、对位位置，CCD对位系统对晶圆进行搜索、对位，Bin盘平台机构移动到CCD对位、检测位置，CCD对位系统对晶圆进行对位、检测，晶圆顶针机构将晶圆上的晶粒顶出，摆臂机构上的吸嘴吸住晶粒，摆臂机构旋转，Bin盘顶针机构顶起Bin盘膜，摆臂机构将晶粒放置在Bin盘上。本发明的高速晶圆分选设备具有速度块、精度高、适用产品类型多等特点。适用产品类型多等特点。适用产品类型多等特点。
技术研发人员：胡争光 师利全 李小根 罗东 贺天文 甘恩荣 吴嘉睿
受保护的技术使用者：深圳市鑫三力自动化设备有限公司
技术研发日：2022.03.18
技术公布日：2022/5/30