一种硅片前后棱边缺陷检测装置的制作方法

本技术涉及硅片分选设备，具体涉及一种硅片前后棱边缺陷检测装置。

背景技术：

1、硅片作为重要的太阳能电池原材料，被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。应用在太阳能领域的硅片形状一般为方形或矩形，且其四个角为45°倒钝设计，在生产过程中，容易会有边缘棱边有硅落和崩边等不良品产生，目前是通过硅片分选机对硅片的质量进行把控和质量等级分选，以保证由硅片制造的太阳能电池、电路板等产品的质量。

2、专利cn210010204u中公开了一种硅片侧边检测装置及硅片分选机，硅片侧边检测装置包括相机、线光源、两个点光源、反射镜以及相对设置的两个安装侧板，线光源用于为硅片的一个侧边提供光照，两个点光源分别用于为侧边两端的倒角边提供光照，硅片、线光源分设于反射镜的两侧的上方；相机、反射镜上下设置，经侧边反射的光线以及每个倒角边反射的光线通过反射镜反射至相机，相机拍摄的图像用于确定所述侧边是否存在缺陷。该方法利用一个线光源斜照流经的硅片前棱边或后棱边(前棱边和后棱边为垂直于硅片流动方向的两条边，后续提到的前棱边和后棱边均按此定义)，打亮的棱边将经反射镜投射进相机中，从而完成棱边的图像采集，进一步对图像处理判断所采图样棱边的缺陷，该方法简单可靠，但完成前棱边和后棱边的图像采集需要两套上述硅片侧边检测装置，设备成本高，且占用空间较大。

3、专利cn213933636u中公开了一种检测装置和硅片分选设备，检测装置包括用于输送待测物体的输送机构和检测机构，检测机构被配置为检测输送机构输送的待测物体的第一边缘和第二边缘，第一边缘和第二边缘为待测物体上相对的且与输送机构的输送方向垂直的两条边缘；检测机构包括检测相机、第一边缘照射光源、第二边缘照射光源和反射机构，第一边缘照射光源被配置为照射待测物体的第一边缘；第二边缘照射光源被配置为照射待测物体的第二边缘；反射机构被配置为对第一边缘照射光源发出的第一边缘照射光线进行至少一次反射，以使得第一边缘照射光线经待测物体的第一边缘反射后被检测相机探测到；反射机构被配置为对第二边缘照射光源发出的第二边缘照射光线进行至少一次反射，以使得第二边缘照射光线经待测物体的第二边缘反射后被检测相机探测到；该专利通过第一边缘照射光源和第二边缘照射光源在待测硅片流动时依次打亮待测硅片的后棱边与前棱边，在经反射机构的反射镜四次反射后将后棱边投影到相机中，前棱边的投影要经反射机构的反射镜三次反射到相机中，以上两次投影在不同的时间完成，先完成后棱边的投影，然后待测硅片流动一定距离后完成前棱边的投影；通过单个相机完成前后棱边的检测，相较于上述专利(cn210010204u)节省了成本，但该方法的成像投影需要经过多次反射，反射镜变量多不利于调试，维护可操作空间较小，且这种先检硅片后棱边再检前棱边的方法，两次检测点之间的距离必然需要大于硅片的长度，导致设备占用空间较大。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种硅片前后棱边缺陷检测装置，可以实现光路简洁、成本低且空间利用率高，以解决上述背景技术中所提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括输送流线、安装在所述输送流线上方的安装支架、安装在所述安装支架上端的相机组件、安装在所述安装支架上的反射组件以及沿着硅片输送方向依次设置的第一条形高亮光源和第二条形高亮光源，所述第一条形高亮光源和所述第二条形高亮光源安装在所述安装支架的两侧，且位于所述输送流线的上方；

3、所述反射组件包括两个打光镜组、反射镜组和分光镜组，所述打光镜组包括打光镜，两个所述打光镜分别位于所述第一条形高亮光源和所述第二条形高亮光源的正下方，用于接收所述第一条形高亮光源和所述第二条形高亮光源发出的光，且分别将光反射至硅片的后棱边和前棱边；

4、所述反射镜组可将接收到的硅片的棱边照射光线进行至少一次反射至所述分光镜组；所述反射镜组包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，所述第一反射镜位于所述第一条形高亮光源和所述输送流线之间，所述第二反射镜和所述第三反射镜位于所述第二条形高亮光源与所述输送流线之间，所述第一反射镜可将接收到的硅片的后棱边照射光线反射至所述分光镜组，所述第二反射镜可将接收到的硅片的前棱边照射光线反射至所述第三反射镜，所述第三反射镜可将接收到的所述第二反射镜的光线反射至所述分光镜组；

5、所述分光镜组包括分光镜，所述分光镜组位于所述相机组件的正下方且位于所述输送流线的上方，所述分光镜可将接收到的所述第一反射镜反射的后棱边照射光线并反射至所述相机组件以及将接收的所述第三反射镜反射的前棱边照射光线并透射至所述相机组件。。

6、进一步地，所述输送流线包括驱动件、传送带和多个辅助轮，所述驱动件的输出端与主动轮连接，所述主动轮与多个所述辅助轮通过所述传送带传动连接，所述传送带与多个所述辅助轮配合形成第一传送空腔和第二传送空腔，所述第一传送空腔位于所述第一条形高亮光源的正下方，所述第二传送空腔位于所述第二条形高亮光源的正下方。

7、进一步地，两个所述打光镜分别设置在所述第一传送空腔和所述第二传送空腔里。

8、进一步地，在所述第一传送空腔和所述第二传送空腔之间的距离小于所述硅片的前棱边和所述硅片的后棱边之间的距离。

9、进一步地，所述第一反射镜包括固定座、固定柱和前镀膜反射镜，所述安装支架的两侧均开设有通孔，所述固定座安装在所述固定柱的一端，所述固定柱的两端贯穿所述通孔设置在所述安装支架上，并通过固定座固定在所述安装支架上。

10、进一步地，所述固定柱上开设有凹槽，所述前镀膜反射镜安装在所述凹槽上。

11、进一步地，还包括安装在所述安装支架上的两组点光源补光组件，两组所述点光源补光组件分别位于所述第一条形高亮光源和所述第二条形高亮光源的正下方，所述点光源补光组件用于照射硅片的倒角。

12、进一步地，所述点光源补光组件包括支撑杆和与所述支撑杆的一端连接的点光源，所述支撑杆上安装有十字调节组件。

13、进一步地，所述相机组件包括安装在所述安装支架上的相机安装立板、安装在所述相机安装立板的顶端的调节旋钮、与所述调节旋钮传动连接的调节螺杆、与所述调节螺杆螺纹连接的螺母座和安装在所述螺母座上的相机。

14、进一步地，所述螺母座上还安装有移动滑台，所述移动滑台上安装有活动座，所述活动座与所述相机连接。

15、与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

16、本实用新型使用时，设置第二条形高亮光源，用于给硅片的前棱边打光，形成前棱边照射光线，照射到打光镜上被反射打亮硅片的前棱边，打亮的前棱边光线经第二反射镜和第三反射镜反射，并透过分光镜投射至相机组件而被采集到前棱边的实时图像；设置第一条形高亮光源，用于给硅片的后棱边打光，形成后棱边照射光线，照射到打光镜上被反射打亮硅片的后棱边，打亮的后棱边光线经第一反射镜反射至分光镜，在反射至相机组件而被采集到后棱边的实时图像；只用一个相机即可实现对硅片的前棱边和后棱边的采集，节省了成本；硅片的前棱边成像光路只需经过第二反射镜和第三反射镜的两次反射以及后棱边成像光路只需经过第一反射镜和分光镜的两次反射就能进入相机成像，反射镜少，光路简洁且便于维护和调试，结构设计紧凑，使得空间利用率高。