一种分级振动撒粉装置的制作方法

本技术涉及半导体，尤其是涉及一种分级振动撒粉装置。

背景技术：

1、石墨在光伏领域和半导体行业的应用十分广泛，例如在光伏领域应用于单晶硅棒的拉制、单晶硅的切片，例如在半导体领域中用于制造晶体管、电阻器、电容器等等。石墨粉的粒度会影响其性能和用途，尤其对于制造芯片基板等需要高精度和高纯度的产品中，要确保石墨粉的粒度均匀、杂质少。

2、因此，石墨通常需要进行筛分，来获取符合粒度大小的石墨粉，通过筛粉可以去除不合格的粒子和杂质，提高石墨粉的质量和纯度，从而保证产品的性能和品质。

3、分级振动撒粉装置是一种用于对石墨粉进行筛分的装置，主要包括底座、安装在底座上的振动电机以及插入至底座内的两个分级筛网，分级筛网的底侧会设置一个承托板，当石墨粉经过分级筛网筛分后，符合粒度大小的石墨粉会被撒在承托板上，形成初级产品。

4、然而，由于石墨粉具有较高的粘性，在进行筛料时，部分石墨粉会凝结在一起形成团，石墨粉团以及较大的杂质会对筛网进行堵塞，导致筛网对石墨粉进行筛分的效率不高，影响筛分石墨粉的效率。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种提高对石墨粉筛分效率的分级振动撒粉装置。

2、本技术提供的一种分级振动撒粉装置采用如下的技术方案：

3、一种分级振动撒粉装置，包括撒粉架、振动电机以及用于承托撒粉架的承托架，所述撒粉架安装在所述承托架上，所述振动电机安装于所述承托架的一侧并用于带动所述撒粉架振动，所述撒粉架内插入有用于筛分石墨粉的第一筛板和第二筛板；

4、所述撒粉架内设置有用于抚平石墨粉的两组抚平件，一组所述抚平件设置在所述第一筛板上，另一组所述抚平件设置在所述第二筛板上，所述抚平件包括抚平板和抚平杆，所述抚平杆连接在所述抚平板上，所述抚平板滑动连接在所述撒粉架上并能够带动所述抚平杆沿着所述撒粉架的长度方向往复移动。

5、通过采用上述技术方案，在将石墨粉置于第一筛板上时，此时驱动振动电机，使第一筛板和第二筛板发生振动，在振动过程中，颗粒较小的石墨粉会从第一筛板和第二筛板上的筛孔穿过，最终石墨粉被撒在承托板上，而在筛分石墨粉的过程中，抚平件沿着撒粉架的长度方向滑动，在滑动过程中，抚平杆推动第一筛板以及第二筛板上的石墨粉，使石墨粉均匀平铺于第一筛板以及第二筛板上，而对于颗粒较大的杂质以及石墨粉糅合成的石墨粉团会被推至第一筛板以及第二筛板的边沿处，第一筛板和第二筛板对石墨粉的筛分效率得到提高。

6、可选的，所述撒粉架上开设有与所述抚平板相匹配的滑槽，所述抚平板包括第一连接板和插入至所述滑槽内的第二连接板，所述第一连接板的一侧与所述抚平杆连接，所述第一连接板的另一侧与所述第二连接板连接并与所述撒粉架的内侧壁贴合。

7、通过采用上述技术方案，在抚平件进行滑动的过程中，滑槽对第二连接板的运动进行限位，阻止抚平件在移动过程中发生偏移，而第一连接板则对滑槽进行封堵，阻止石墨粉从滑槽处落出撒粉架。

8、可选的，所述抚平杆包括连接杆和套设在连接杆上的抚平套，所述抚平套与所述连接杆转动连接，所述抚平套与所述连接杆之间夹设有加热线圈。

9、石墨粉具有较高的表面活性以及亲水性，这也是石墨粉容易糅合成团的原因，通过采用上述技术方案，在抚平杆移动的过程中，加热线圈工作，抚平套在推动石墨粉使石墨粉平铺于第一筛板和第二筛板时，会对石墨粉进行加热，从而对石墨粉进行干燥，使得一部分形成团状的石墨粉解体重新回到松散状态，有利于提高筛分效率。

10、可选的，所述撒粉架与所述承托架之间设置有若干个弹性元件，所述弹性元件的一端与所述撒粉架连接，所述弹性元件的另一端与所述承托架连接。

11、通过采用上述技术方案，通过设置弹性元件，使撒粉架与承托架之间记性弹性连接，进而使得承托架上的振动电机能够更好地将振动传递至撒粉架。

12、可选的，所述撒粉架上开设有供所述第一筛板和所述第二筛板插入的插槽，所述撒粉架的一侧可拆卸连接有过滤组件，所述过滤组件包括过滤箱和过滤件，所述过滤箱内设有呈u型设置的过滤流道，所述过滤件置于所述过滤流道内；

13、所述过滤箱的底侧开设有分别与所述插槽和所述过滤流道连通的避让槽，所述过滤件包括第一过滤板和多个第二过滤板，所述第一过滤板和所述第二过滤板均连接在所述过滤箱内，所述第二过滤板倾斜设置且端部与所述第一过滤板的侧面间隙配合。

14、通过采用上述技术方案，在安装第一筛板以及第二筛板时，将第一筛板和第二筛板穿过对应过滤箱上开设的避让槽，当抚平杆将较大的杂质颗粒以及由石墨粉组合形成的团状物推至过滤流道内时，由于第一过滤板和第二过滤板之间间隙配合形成限位空间，使团状的石墨粉以及杂质颗粒被拦截在过滤箱内。

15、可选的，多个所述第二过滤板均转动连接在所述过滤箱内，所述过滤箱内设置有用于带动多个所述第二过滤板同步转动的活动板，所述活动板分别与多个所述第二过滤板连接。

16、通过采用上述技术方案，通过推动活动板，使第二过滤板的端部与第一过滤板侧面之间的间隙发生变化，以配合不同型号的筛板对石墨粉进行筛分，且当石墨粉筛分完毕后，还可以通过调大第一过滤板与第二过滤板之间的间隙，从而解除对杂质颗粒以及团状石墨粉的限制，便于对过滤箱的清理。

17、可选的，所述过滤箱的一侧设置有用于将石墨粉从所述过滤箱内排出的风机，所述风机能够置于所述过滤流道的出口端。

18、通过采用上述技术方案，风机能够输出热风，以配合抚平杆对石墨粉进行辅热干燥，并使较小颗粒的石墨粉被重新推出过滤流道，而被第一过滤板以及第二过滤板夹持的团状石墨粉也能够被风机产生的气流干燥，使团状石墨粉解体，有利于提高筛分效率。

19、可选的，所述风机滑动连接在所述过滤箱上，所述风机的一侧连接有用于封堵所述过滤流道的的封堵板，所述风机的另一侧与所述活动板连接，所述活动板可伸缩。

20、通过采用上述技术方案，当石墨粉被筛分完毕后，滑动风机，时风机位于过滤箱一侧的中央，滑动过程中，风机一侧的封堵板对过滤流道的出口端进行封堵，而风机的另一侧则推动活动板移动，使第二过滤板的端部与第一过滤板抵接，过滤流道的进口端封闭，此时将第一筛板以及第二筛板从过滤箱内抽出，抽出时，风机持续抽出热风，使第一筛板以及第二筛板上残留的石墨粉被清扫，有利于对第一筛板和第二筛板的清理。

21、可选的，所述撒粉架上转动连接有两个固定板，一个所述固定板与所述第一筛板可拆卸连接，另一个所述固定板与所述第二筛板可拆卸连接。

22、通过采用上述技术方案，当将第一筛板以及第二筛板插入至撒粉架内时，转动固定板，使第一筛板和第二筛板与对应的固定板螺纹配合，第一筛板以及第二筛板被固定，固定板的设置使得第一筛板以及第二筛板处形成台阶，以阻止石墨粉被抚平杆推入至过滤流道的出口端，阻止过滤流道的出口端淤积过多石墨粉。

23、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：

24、1.本技术中设置有抚平件，在筛分石墨粉的过程中，抚平件沿着撒粉架的长度方向滑动，滑动过程中，抚平杆推动第一筛板以及第二筛板上的石墨粉，使石墨粉均匀平铺于第一筛板以及第二筛板上，而对于颗粒较大的杂质以及石墨粉糅合成的石墨粉团会被推至第一筛板以及第二筛板的边沿处，且抚平杆能够对石墨粉进行辅热干燥，使得一部分形成团状的石墨粉解体重新回到松散状态，有利于提高筛分效率第一筛板和第二筛板对石墨粉的筛分效率得到提高。

25、2.本技术中设置有过滤组件，其中，第一过滤板和第二过滤板之间间隙配合形成限位空间，使团状的石墨粉以及杂质颗粒被拦截在过滤箱内，第二过滤板转动可调，通过推动活动板，使第二过滤板的端部与第一过滤板侧面之间的间隙发生变化，以配合不同型号的筛板对石墨粉进行筛分，且当石墨粉筛分完毕后，还可以通过调大第一过滤板与第二过滤板之间的间隙，从而解除对杂质颗粒以及团状石墨粉的限制，便于对过滤箱的清理。

26、3.本技术中的风机能够输出热风，以配合抚平杆对石墨粉进行辅热干燥，并使较小颗粒的石墨粉被重新推出过滤流道，而被第一过滤板以及第二过滤板夹持的团状石墨粉也能够被风机产生的气流干燥，使团状石墨粉解体，有利于提高筛分效率，当筛分石墨粉完毕，将第一筛板以及第二筛板抽出时，风机也能够对第一筛板以及第二筛板上残留的石墨粉进行清扫，有利于对第一筛板和第二筛板的清理。