技术总结
本发明公开了一种可对MEMS微结构表面指定区域进行激励的装置及其激励方法，其装置包括基板，在基板上设有四个手动三轴位移台，超声探头单元、激光器单元、遮挡板和微结构单元依次安装在四个手动三轴位移台上；超声探头单元包括探头安装板，在探头安装板上设有点聚焦空气耦合超声探头；激光器单元包括固定板和转动板，转动板上设有第一、第二手动角位移台，第二手动角位移台上设有激光器；遮挡板上设有圆锥孔，圆锥孔底面中心设有小直径微孔；微结构单元的MEMS微结构靠近遮挡板的微孔一侧；点聚焦空气耦合超声探头、激光器、遮挡板和MEMS微结构依次排列。优点是能够对尺寸较小的微结构表面指定区域进行激励，可提高检测到的微结构振动响应信号的信噪比。
技术研发人员：佘东生;杨一柳;魏泽飞;于震;赵辉;刘继行
受保护的技术使用者：渤海大学
文档号码：201610899628
技术研发日：2016.10.15
技术公布日：2017.05.10