一种微型石英玻璃原子气室的制造方法与流程

文档序号:12854588阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种微型石英玻璃原子气室的制造方法,包括如下步骤:将碱金属原子封装到玻璃微腔中,并充入惰性气体;制造下层封装块、中层封装块和上层封装块;组装下层封装块、中层封装块、上层封装块和玻璃微腔,并密封,形成一个密闭的腔体;以高于玻璃微腔软化点的温度加热多个密闭的腔体,直至玻璃微腔结构被破坏后,停止加热;以中层封装块为基准,切割停止加热后的多个密闭的腔体,形成微型石英玻璃原子气室。本发明通过设置玻璃微腔,确保了原子气室的纯净度,解决了传统微型原子气室制造工艺难度大且腔室纯净度差的问题;通过同步加热多个密闭腔体,实现了原子气室的量产,弥补了传统微型原子气室制造设备要求高且不易批量生产的缺陷。

技术研发人员:李新坤;刘院省;阚宝玺;梁德春;刘福民;王学锋;徐宇新;石猛;邓意成
受保护的技术使用者:北京航天控制仪器研究所
技术研发日:2017.06.28
技术公布日:2017.11.03
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