一种纳米连接装置的制作方法

文档序号:19524739发布日期:2019-12-27 14:48阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种纳米连接装置,其特征在于,包括真空腔(101)、近场光发生装置、电子束发射及调控模块(102)、电子束物镜(103)、纳米操作装置和控制装置(107);所述纳米操作装置包括样品台和执行端操作装置,所述纳米操作装置设置于所述真空腔(101)内部,所述近场光发生装置包括激光发射装置和执行端,所述执行端设置于所述真空腔(101)内部且可拆卸安装于所述执行端操作装置上,所述电子束发射及调控模块(102)与所述电子束物镜(103)相连接,所述近场光发生装置、所述电子束发射及调控模块(102)、所述纳米操作装置分别与所述控制装置(107)相连接。

2.根据权利要求1所述的纳米连接装置,其特征在于,所述纳米连接装置还包括保护气体引入装置(105),所述保护气体引入装置(105)通过管道与所述真空腔(101)相连接。

3.根据权利要求1所述的纳米连接装置,其特征在于,还包括ccd相机(106),所述ccd相机(106)安装于所述真空腔(101)内,所述ccd相机(106)与所述控制装置相连接。

4.根据权利要求1所述的纳米连接装置,其特征在于,所述执行端操作装置包括:第一运动机构(203)、第二运动机构(204),所述第一运动机构(203)包括多个平动自由度和至少一个旋转自由度,所述第二运动机构(204)包括多个旋转自由度和至少一个平动自由度,所述第一运动机构(203)和所述第二运动机构(204)上均可拆卸安装有执行端,所述第一运动机构(203)和所述第二运动机构(204)分别与所述控制装置(107)相连接。

5.根据权利要求4所述的纳米连接装置,其特征在于,所述执行端为钨针(207)或者afm探针(205),所述控制装置(107)适于控制所述第一运动机构(203)和所述第二运动机构(204)分别带动所述执行端运动形成微镊子对纳米结构进行夹取。

6.根据权利要求5所述的纳米连接装置,其特征在于,所述样品台包括精定位样品台(202),所述精定位样品台(202)包括三个相互垂直的平动自由度,所述精定位样品台(202)适于置放所述纳米结构并带动所述纳米结构移动。

7.根据权利要求6所述的纳米连接装置,其特征在于,所述样品台还包括:粗定位样品台(201),其与所述精定位样品台(202)固定连接;所述粗定位样品台(201)包括多个平动自由度和至少两个旋转自由度,所述粗定位样品台(201)适于带动所述精定位样品台(202)运动。

8.根据权利要求1所述的纳米连接装置,其特征在于,所述激光发射装置位于所述真空腔(101)外部,所述激光发射装置包括激光器(301)、激光偏振器(310)和激光参数放大器(302)。

9.根据权利要求1所述的纳米连接装置,其特征在于,所述近场光发生装置还包括光纤耦合器(303),所述光纤耦合器(303)通过光纤(304)与所述执行端连接。

10.根据权利要求1所述的纳米连接装置,其特征在于,所述执行端包括光纤探针(319)和钨针(207),所述光纤探针(319)的其中一端与所述光纤(304)连接,另外一端设置有直径为纳米级的小孔,所述钨针(207)位于近场光的辐照范围内,所述钨针(207)适于对所述近场光进行增强。

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