技术特征：
技术总结
本发明提供一种金刚石表面复杂结构及其制备方法，本发明使用黄光、纳米压印、镀膜、Lift‑off等微纳加工方法结合抛光磨平工艺在金刚石表面制备多层结构作为掩模板，然后利用多层结构掩模板进行刻蚀，能得到多层复杂金刚石结构。由于本发明是以在金刚石表面制备得到多层同一材料或不同材料的掩膜图形结构为掩膜板，因此针对金刚石表面多层不同材料的掩膜，可采用相同或不同的刻蚀工艺进行干法刻蚀，最终还能够制备出多层的金刚石表面复杂结构。
技术研发人员：黄翀;彭琎
受保护的技术使用者：长沙新材料产业研究院有限公司
技术研发日：2019.06.18
技术公布日：2019.10.15