光学特性可调的微纳结构及系统的制作方法

文档序号:19155598发布日期:2019-11-16 00:43阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光学特性可调的微纳结构,其特征在于,所述微纳结构包括:衬底、膨胀材料、液态金属和两个微纳单元;

所述衬底的一个面上挖设有空腔,所述空腔内分别填充有膨胀材料和液态金属,两个所述微纳单元分别设置在所述衬底挖设空腔面的两侧。

2.根据权利要求1所述的微纳结构,其特征在于,所述衬底材料为二氧化硅。

3.根据权利要求1所述的微纳结构,其特征在于,所述液态金属为贵金属。

4.根据权利要求1所述的微纳结构,其特征在于,两个所述微纳单元的结构为棒状结构或者“u”形结构。

5.根据权利要求1所述的微纳结构,其特征在于,两个所述微纳单元材料为贵金属。

6.根据权利要求1所述的微纳结构,其特征在于,所述膨胀材料为热膨胀材料或者磁膨胀材料。

7.根据权利要求1所述的微纳结构,其特征在于,所述空腔内壁上涂覆有低阻力涂层。

8.根据权利要求7所述的微纳结构,其特征在于,所述低阻力涂层为低阻力固胶。

9.一种光学特性可调的微纳系统,其特征在于,所述微纳系统包括:调节器和至少一个权利要求1-8任意一项所述的微纳结构,所述调节器用于控制所述微纳结构中膨胀材料的膨胀程度。

10.根据权利要求9所述的微纳系统,其特征在于,所述调节器包括热调节器或者磁场强度调节器。


技术总结
本发明涉及一种光学特性可调的微纳结构及系统,具体涉及光学器件领域,该微纳结构通过在衬底上挖设一个空腔,并在该空腔内填充膨胀材料和液态金属,并在该衬底挖设空腔的面的两侧分别设置两个微纳单元,当该空腔中的膨胀材料发生膨胀的时候,该液态金属的形状和位置均发生改变,使得该液态金属与两个该微纳单元的耦合发生改变,进而使得两个微纳单元之间的耦合也发生改变,由于两个微纳单元之间的耦合发生改变,所以该微纳结构的光学特性也发生了改变,从而实现了不更换微纳结构,改变该微纳结构光学特性的目的。

技术研发人员:唐先龙;王天堃;刘翡琼
受保护的技术使用者:西安柯莱特信息科技有限公司
技术研发日:2019.08.16
技术公布日:2019.11.15
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