1.一种致动器装置，其为平面形式，并且能够沿着除了沿着所述致动器装置的平面以外的方向致动光电子装置，所述致动器装置包括：
2.根据权利要求1所述的致动器装置，还包括将所述中间台联接到围绕所述中间台的平台的另一致动器梁，其中，所述中间台包括多个同心中间台。
3.根据权利要求1所述的致动器装置，其中，所述致动梁由压电材料形成，并且所述方向包括与所述平面正交的方向。
4.根据权利要求3所述的致动器装置，其中，所述致动梁由复合材料形成，所述复合材料包括组合使用以产生压电效应的多个材料层。
5.根据权利要求3所述的致动器装置，其中，所述致动梁进一步将所述中心台导电联接到所述中间台中的一个或多个，并且还包括将外框架联接到所述中间台中的至少一个的挠曲梁，所述挠曲梁用作运动控制构件和导电联接构件中的至少一个。
6.根据权利要求1所述的致动器装置，其中，所述中心台包括多个可单独移动的中心台部，并且所述致动梁将所述中间台部分中的至少一个连接到所述中间台中的至少一个，所述致动梁是可变形，并适合于向所述中心台部分提供平面外运动。
7.根据权利要求6所述的致动器装置，其中，每个所述中心台部分联接到所述平面内mems致动器的平台，所述光电子装置设置在所述平台上并且所述致动梁由压电材料形成。
8.一种用于致动光电子装置的致动器组件，所述致动器组件包括：
9.根据权利要求8所述的致动器组件，其中，所述光电子装置设置在所述平台的上表面之上，并接合至所述平台的上表面，并且所述第一齿是锥形的，使得所述第一齿的所述端部比所述第一齿的其他部分窄，以及所述第二齿是锥形的，使得所述第二齿的所述端部比所述第二齿的其它部分窄。
10.根据权利要求9所述的致动器组件，其中，所述第一齿的每一者联接到固定脊部，并且所述第二齿中的每一者联接到平行于所述固定脊部定向的可移动脊部。
11.根据权利要求9所述的致动器组件，其中，所述第一齿从所述固定脊部向所述第二梳延伸，所述第二齿从所述可移动脊部向所述第一梳延伸，所述第一齿和第二齿彼此平行定向，并且所述重叠区域包括以交替顺序布置的所述第一齿和第二齿的相应端部，并且还包括悬臂，所述悬臂的一端附接到所述平台并且相对端部在所述梳状驱动区的周边部分附接到所述可移动构件。