电镀封孔槽调温结构的制作方法

文档序号:16797168发布日期:2019-02-01 19:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电镀封孔槽调温结构,包括封孔槽,在所述封孔槽的侧壁上部设置有进液通道,在所述封孔槽的侧壁下部设置有排液通道,其特征在于:在所述封孔槽的底部设置有加热室,在所述封孔槽的底壁上设置有与所述加热室相连通的导热柱杆,在所述加热室内设置有电热块,在所述封孔槽的侧壁内设置有螺旋冷却导管,在所述封孔槽的外壁上设置有与所述螺旋冷却导管相连通的制冷液连接端口,在所述封孔槽内设置有温度传感器,在所述封孔槽的侧壁上设置有与所述温度传感器相连接的温度指示计,在所述螺旋冷却导管上设置有电磁控制阀,在所述加热室上设置有与所述电热块相连接的电磁调节开关,所述温度传感器通过控制器分别与所述电磁控制阀及电磁调节开关相连接。

2.根据权利要求1所述的电镀封孔槽调温结构,其特征在于:在所述导热柱杆内设置有空腔,在所述空腔内填充有导热油,在所述导热柱杆的表面均匀设置有用于增大接触面积的半球形凸起。

3.根据权利要求2所述的电镀封孔槽调温结构,其特征在于:在所述封孔槽的内壁上设置有与所述螺旋冷却导管相连通的n形引流凸管。

4.根据权利要求3所述的电镀封孔槽调温结构,其特征在于:在所述封孔槽的顶部还设置有散热风扇,在所述封孔槽的顶部还设置有与所述散热风扇相连接的控制开关。

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