一种三氟化氮生产中电解液转运槽的制作方法

本发明涉及三氟化氮制备领域技术领域，尤其涉及一种三氟化氮生产中电解液转运槽。

背景技术：

三氟化氮在微电子工业中用作一种优良的等离子蚀刻气体。在三氟化氮生产中需要电解液，当这就需要用到三氟化氮生产中电解液转运槽。

电解液转运槽主要用于三氟化氮生产中正常电解液转运，或电解槽突发泄漏时临时存储电解液，防止环境污染，降低生产损失，同时现有的电解液的转运过程中需要保持其温度，避免热量损失电解液凝固，所以需要一种保温性能良好的三氟化氮生产中电解液转运槽来满足这一条件。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明提供了一种三氟化氮生产中电解液转运槽，其能够在槽体内的电解液温度低时自动加温，同时还能通过热水循环进行电解液的保温。

为了解决上述技术问题，本发明是这样实现的。

一种三氟化氮生产中电解液转运槽，包括槽体，槽体上贯穿设有进料管线、出液管线和放气阀门；所述槽体的内侧壁上设有防腐层；所述槽体的外侧壁上设有保温层；所述槽体的底部壁内设有多个安装槽，每个安装槽内均设有用于给槽体内电解液加热的电热丝，电热丝与控制机构电连接；

所述槽体的上端面设有电机，所述槽体内设有用于搅拌电解液的搅拌机构；所述电机的转轴贯穿槽体内连接所述搅拌机构，为搅拌机构提供动力；

所述槽体的壁内嵌设有多根互相连通的加热水管，加热水管连接设置在槽体外部的热水循环供应组件；热水循环供应组件通过第一传动组件连接提供所需动力的电机。

优选地，所述控制机构包括控制器以及设置在槽体内的温度感应器；所述温度感应器、控制器与电热丝电性连接并串联有电源。

优选地，所述搅拌机构包括固定连接在槽体内的动力箱，所述动力箱内设置有第二齿轮以及两个与第二齿轮啮合的第一齿轮；

所述电机的输出轴与第二齿轮同轴固连；两个第一齿轮分别与一个动力轴同轴固连；电机输出轴和两根动力轴均贯穿动力箱，三个轴均匀布局在槽体内空间；两根动力轴与电机的输出轴上均设有搅拌叶。

优选地，热水循环供应组件包括水箱、泵水机构和加热装置；水箱通过进水管连接泵水机构，泵水机构通过出水管连接加热装置，加热装置的热水输出管道连接槽体内的所述加热水管的入口；所述加热水管的出口通过连接管道连接水箱；泵水机构的动力输入轴通过所述第一传动组件连接电机。

优选地，所述泵水机构包括安装筒、密封滑动连接在安装筒内的活塞；所述安装筒一侧通过所述进水管连接所述水箱，另一侧通过所述出水管连接所述加热装置；所述进水管与出水管内均设有单向阀；活塞的杆部通过第二传动组件连接动力输入轴。

优选地，所述泵水机构进一步包括安装板，安装板上固定安装有转轴安装块、和所述安装筒；所述动力输入轴贯穿转轴安装块并可转动；动力输入轴上固定连接有蜗杆；

安装板上可转动的安装三个相互啮合的齿轮，位于中间的齿轮称为第三齿轮，位于左右的两个齿轮称为第四齿轮；第三齿轮同轴固连与所述蜗杆相配合的蜗轮；两个第四齿轮分别同轴固连一个半齿轮；

所述活塞的杆部伸出安装筒固定连接齿板，齿板与两个半齿轮相啮合；两个半齿轮朝向相同，交替与齿板啮合。

优选地，所述第一传动组件包括固定连接在电机输出轴与所述动力输入轴上的两个带轮，两个所述带轮之间通过皮带连接。

优选地，所述槽体的上端面贯穿设置所述进料管线，所述进料管线内设置电磁阀；所述槽体的上端贯穿设置所述放气阀门，所述槽体的右侧壁贯穿设置所述出液管线；所述槽体底部连接底座。

优选地，所述出液管线上安装有隔膜泵。

优选地，所述安装槽内的电热丝一端固定连接有固定块。

本发明与现有技术相比，其有益效果为：

1、通过设置控制机构与电热丝，实现在槽体内的电解液温度较低时，温度感应器自动进行感应，然后控制器控制多根电热丝通电，实现电解液的升温。

2、通过设置搅拌机构，实现在电机转动时，两根动力轴也进行转动，从而使得多个搅拌叶转动，实现槽体内电解液的搅拌，使得电解液内部热量吸收更加均匀。

3、通过设置防腐层、保温层，避免电解液腐蚀槽体，大大增加槽体的使用寿命，同时保温层的设置，避免电解液的热量快速流失，实现电解液的保温。

4、通过设置泵水机构，实现将水箱中的水抽进加热装置内，然后进入到水管内，最后回到水箱内，实现热水的循环，进一步增加槽体的保温效果。

5、通过设置第一传动机构与第二传动机构，实现将搅拌的动力共用到泵水机构上，实现动力资源的节约，同时使得整体的联动性更强。

附图说明

图1为本发明提出的一种三氟化氮生产中电解液转运槽的主视结构示意图；

图2为本发明提出的一种三氟化氮生产中电解液转运槽的槽体内部俯视示意图；

图3为本发明提出的一种三氟化氮生产中电解液转运槽的a处结构放大示意图；

图4为本发明提出的一种三氟化氮生产中电解液转运槽的b处结构放大示意图。

图中：1槽体、2底座、3进料管线、4放气阀门、5出液管线、6防腐层、7保温层、8电机、9安装板、10转轴安装块、11动力输入轴、12加热水管、13安装筒、15安装槽、16电热丝、17固定块、18动力轴、19第一齿轮、20第二齿轮、21搅拌叶、22活塞、23水箱、24加热装置、25蜗轮、26蜗杆、27第三齿轮、28第四齿轮、29半齿轮、30齿板、31带轮、32皮带、33温度感应器、34控制器、35隔膜泵。

具体实施方式

下面结合附图并举实施例，对本发明进行详细描述。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参照图1-4，一种三氟化氮生产中电解液转运槽，包括槽体1；槽体1底面可以安装底座2，通过底座2固定在地面上，从而保证槽体的稳固。

槽体1上贯穿设有进料管线3、出液管线5和放气阀门4。本实施例中，槽体1的上端面贯穿设置进料管线3，进料管线3内设有电磁阀，槽体1的上端贯穿设置放气阀门4，槽体1的右侧壁贯穿设有出液管线5。出液管线5上安装有隔膜泵35。

槽体1的内侧壁上设有防腐层6，槽体1的外侧壁上设有保温层7，通过设置防腐层6、保温层7，避免电解液腐蚀槽体1，大大增加槽体1的使用寿命，同时保温层6的设置，避免电解液的热量快速流失，实现电解液的保温。

槽体1的底部壁内设有多个安装槽15，每个安装槽15内均设有用于给槽体1内电解液加热的电热丝16，电热丝16与控制机构电连接。优选地，安装槽15内的电热丝16一端抵住槽体内端面，另一端固定连接有固定块17，用于固定电热丝的位置。控制机构包括控制器34、设置在槽体1内的温度感应器33；控制器34可以安装在底座2上。温度感应器33、控制器34与电热丝16电性连接并串联有电源。通过设置控制机构与电热丝，实现在槽体1内的电解液温度较低时，温度感应器33自动进行感应，然后控制器34控制多根电热丝16通电，实现电解液的升温。

槽体1的上端面设有电机8。槽体1的上端面可以设有l形板，电机8可以案子在该l形板的内侧壁上。槽体1内设有用于搅拌电解液的搅拌机构；电机8的转轴贯穿槽体1内连接所述搅拌机构，为搅拌机构提供动力。

搅拌机构包括固定连接在槽体1内的动力箱，所述动力箱内设置有第二齿轮20以及两个与第二齿轮20啮合的第一齿轮19。电机8的输出轴与第二齿轮20同轴固连；两个第一齿轮19分别与一个动力轴18同轴固连；电机8输出轴和两根动力轴18均贯穿动力箱，三个轴均匀布局在槽体1内空间；两根动力轴18与电机8的输出轴上均设有搅拌叶21。通过设置搅拌机构，实现在电机8转动时，两根动力轴18也进行转动，从而使得多个搅拌叶21转动，实现槽体1内电解液的搅拌，使得电解液内部热量吸收更加均匀。

热水循环供应组件包括水箱23、泵水机构和加热装置24；水箱23通过进水管连接泵水机构，泵水机构通过出水管连接加热装置24，加热装置24的热水输出管道连接槽体内的所述加热水管12的入口；所述加热水管12的出口通过连接管道连接水箱23；泵水机构的动力输入轴11通过所述第一传动组件连接电机8。通过设置泵水机构，实现将水箱23中的水抽进加热装置24内，然后进入到水管12内，最后回到水箱23内，实现热水的循环，进一步增加槽体1的保温效果。

所述泵水机构包括安装筒13、密封滑动连接在安装筒13内的活塞22；对于安装筒13内活塞22以下的空间，该空间一侧通过所述进水管连接所述水箱23，另一侧通过所述出水管连接所述加热装置24；所述进水管与出水管内均设有单向阀；活塞22的杆部通过第二传动组件连接动力输入轴11，动力输入轴11连接所述第一传动组件。

所述泵水机构进一步包括安装板9，安装板9上固定安装有转轴安装块10、和所述安装筒13；所述动力输入轴11贯穿转轴安装块10并可转动；动力输入轴11上固定连接有蜗杆26。安装板9上可转动的安装三个相互啮合的齿轮，位于中间的齿轮称为第三齿轮27，位于左右的两个齿轮称为第四齿轮28；第三齿轮27同轴固连与所述蜗杆26相配合的蜗轮25；两个第四齿轮28分别同轴固连一个半齿轮29；所述活塞22的杆部伸出安装筒固定连接齿板30，齿板30与两个所述半齿轮29相啮合；两个半齿轮29朝向相同，交替与齿板30啮合。

槽体1的左侧固定连接有安装板9，安装板9上固定连接有安装块10，安装块10上贯穿并转动连接有转轴11，槽体1的壁内嵌设有多根互相连通的冷却水管12，安装板9的侧壁上固定连接有安装筒13，安装筒13内设有用于使水管12内水循环的泵水机构，安装板9上转动连接有传动轴14，传动轴14上设有用于提供泵水机构需动力的第一传动机构，电机8的输出轴上设有用于提供泵水机构需动力的第二传动机构，槽体1的底部壁内设有多个安装槽15，多个安装槽15内均设有用于给槽体1内电解液加热的电热丝16，多根电热丝16上均固定连接有固定块17，槽体1内设有用于启动电热丝16的控制机构。在一优选实施例中，第一传动组件包括固定连接在电机8输出轴与动力输入轴11上的两个带轮31，两个所述带轮31之间通过皮带32连接。通过设置第一传动机构与第二传动机构，实现将搅拌的动力共用到泵水机构上，实现动力资源的节约，同时使得整体的联动性更强。

本发明使用时，首先通过进料管线3往槽体1内投入电解液。此时电解液的温度较低，温度感应器33感应，这里的温度感应器33的型号为ds18b20，使得控制器34工作，从而使得多根电热丝16通电发热，使电解液升温，然后打开电机8，电机8输出轴转动带动第二齿轮20转动，从而带动两个与之相啮合的第一齿轮19转动，从而使得两个动力轴18转动，使得电机8输出轴与动力轴18上的多个搅拌叶21转动进行搅拌，使得受热更加均匀，槽体1内部的防腐层6防止电解液腐蚀槽体1，槽体1外部的保温层7避免热量损失电解液凝固。

在电机8输出轴转动的同时带动右端的带轮31转动，通过皮带32带动左端的带轮31转动，使转轴11转动，进而使蜗杆26转动，蜗杆26转动使得蜗轮25转动，使得传动轴14转动，使第三齿轮27转动，进而带动两个第四齿轮28转动，使得两根支撑轴转动，使得两个半齿轮29转动，两个半齿轮29转动，使得齿板30上下往复运动，齿板30上下往复运动使得活塞22上下往复运动，从而将水箱23内的水抽进安装筒13内，然后进入到加热装置24，经加热装置24加热后进入到水管12内，实现一种水浴保温，然后水管12内的水又回到水箱23内，实现热水的循环，在这个过程中，两个单向阀的作用避免水的回流，当需要使用电解液时，打开隔膜泵35，将电解液抽进电解槽中。

以上的具体实施例仅描述了本发明的设计原理，该描述中的部件形状，名称可以不同，不受限制。所以，本发明领域的技术人员可以对前述实施例记载的技术方案进行修改或等同替换；而这些修改和替换未脱离本发明创造宗旨和技术方案，均应属于本发明的保护范围。