一种电镀搅拌装置及电镀设备的制作方法

文档序号:37064595发布日期:2024-02-20 21:16阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电镀搅拌装置,其特征在于,包括电镀槽和搅拌组件,所述搅拌组件包括设置于电镀槽内的匀流板、夹持匀流板的夹持件、悬浮组件以及旋转组件;

2.根据权利要求1所述的电镀搅拌装置,其特征在于,所述运动悬浮磁力件以及运动旋转磁力件为永磁体,固定悬浮磁力件和固定旋转磁力件为可通电线圈。

3.根据权利要求1所述的电镀搅拌装置,其特征在于,所述固定悬浮磁力件固定于运动悬浮磁力件的下方,固定悬浮磁力件与运动悬浮磁力件间同极相对。

4.根据权利要求1所述的电镀搅拌装置,其特征在于,所述固定悬浮磁力件固定于运动悬浮磁力件的上方,固定悬浮磁力件与运动悬浮磁力件间异极相对。

5.根据权利要求1所述的电镀搅拌装置,其特征在于,所述运动悬浮磁力件与运动旋转磁力件为同一磁力件,该磁力件与固定悬浮磁力件及固定旋转磁力件三者均与重力方向及匀流板的旋转面具有夹角。

6.根据权利要求1所述的电镀搅拌装置,其特征在于,所述电镀槽内设置有两个搅拌组件即第一搅拌组件和第二搅拌组件,第二搅拌组件和第一搅拌组件所包含的两个匀流板呈上下设置且两个匀流板存在转速差。

7.根据权利要求6所述的电镀搅拌装置,其特征在于,所述第一旋转组件和第二旋转组件的若干固定旋转磁力件均为可通电线圈,第一旋转组件和第二旋转组件的固定旋转磁力件分别通电产生磁极交错布置的磁场,使第一匀流板和第二匀流板沿着相同的方向旋转;调整第一旋转组件和第二旋转组件,使第一旋转组件和第二旋转组件产生的旋转驱动力大小不同,从而使第一匀流板和第二匀流板存在转速差。

8.根据权利要求6所述的电镀搅拌装置,其特征在于,所述第一旋转组件和第二旋转组件的若干固定旋转磁力件均为可通电线圈,第一旋转组件和第二旋转组件的固定旋转磁力件分别通电产生磁极交错布置的磁场;调整第一旋转组件和第二旋转组件,使第一旋转组件和第二旋转组件产生的旋转驱动力方向相反,从而使第一匀流板和第二匀流板沿着相反的方向旋转。

9.根据权利要求6所述的电镀搅拌装置,其特征在于,所述第二搅拌组件的固定悬浮磁力件设置于第一搅拌组件的夹持件的上方。

10.一种电镀设备,其特征在于,包括权利要求1至9任一项所述的电镀搅拌装置。


技术总结
本发明提供了一种电镀搅拌装置及电镀设备,其中电镀搅拌装置包括电镀槽和搅拌组件,搅拌组件包括匀流板、夹持件、悬浮组件及旋转组件;悬浮组件包括运动悬浮磁力件及固定悬浮磁力件,运动悬浮磁力件设置于夹持件上,固定悬浮磁力件与运动悬浮磁力件相互配合以使夹持件带动匀流板处于悬浮状态;旋转组件包括固定旋转磁力件和运动旋转磁力件,固定旋转磁力件环绕夹持件设置,运动旋转磁力件设置于夹持件上,固定旋转磁力件与运动旋转磁力件相互配合以使夹持件带动匀流板旋转。本发明中,匀流板在悬浮状态下旋转,一方面能够消除电镀液内的气泡,且提高离子交互;另一方面,避免磨损颗粒的产生,确保电镀液不被污染,由此提高电镀品质。

技术研发人员:史蒂文·贺·汪,林鹏鹏,刘立安,王铮
受保护的技术使用者:新阳硅密(上海)半导体技术有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/19
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1