一种间隙定向流动的进液机构的制作方法

本技术涉及电镀池进液结构的，尤其是涉及一种间隙定向流动的进液机构。

背景技术：

1、pet复合铜箔进行电镀加厚工艺时通常在电镀池中进行，相关技术中，如图1，电镀池1底部设置液下辊10，铜箔2呈v形绕设于液下辊10，电镀池1内还设置两组阳极板11组，两组阳极板11组分别位于液下辊10的输入端与输出端，阳极板11组均由两组与铜箔2传送方向平行的阳极板11（阳极板11为不溶性阳极板11）构成且两组阳极板11分别位于铜箔2相对两侧。

2、阳极板与铜箔之间为有效电镀区，电镀时，位于有效电镀区内电解液铜离子不断析出金属铜并附在铜箔上，导致有效电镀区内电解液铜离子数量不断降低，但由于电镀池内阳极板与铜箔自身的阻隔，导致电镀池电解液循环流动性不足，电镀有效区外的铜离子浓度正常的电解液难以及时流入有效电镀区内以进行铜离子的补充，导致铜箔电镀受影响，容易引起铜箔无效电镀（即电镀电流不变，走带速度不变，但没法达到预期的电镀厚度要求）。

3、针对这一技术问题，目前传统解决方案有以下两种：第一种是在阳极板上打孔以提升有效电镀区内外电解液流动性，但该种处理方式电解液的流速缓慢，使得电解液整体循环流动仍较为局限，且由于在阳极板上打孔影响了阳极板的反射面积，容易影响铜箔的正常电镀。另一种持续性往电镀池进行电解液的大流量喷射，此种方式虽可存进有效电镀区内外电解液循环流动来补充有效电镀区内电解液铜离子浓度，但由于待镀铜箔自身厚度较小，进行电解液的大流量喷射极易导致铜箔产生强烈的颤动甚至撕裂，导致铜箔无法正常电镀。

技术实现思路

1、为了在不影响铜箔正常电镀的前提下及时补充有效电镀区内铜离子，本技术提供了一种间隙定向流动的进液机构。

2、本技术提供的一种间隙定向流动的进液机构，采用如下的技术方案：

3、一种间隙定向流动的进液机构，包括架设在电镀池内的若干与阳极板一一对应的阳极盒，所述阳极盒平行套设在对应的阳极板外周，所述阳极盒包括设置在阳极板底部的喷液管；所述喷液管两端垂直连通有两组进液管；两组所述进液管之间设置有两组相对的连接板，两组所述连接板分别位于阳极板相对两侧且均与阳极板留有间距；所述喷液管、两组进液管以及两组连接板围合形成包裹阳极板的壳体；所述阳极盒朝向铜箔一侧的连接板开设有若干通孔，所述喷液管朝向铜箔一侧还连通有喷液通道且喷液通道的喷液方向与铜箔的传送方向平行设置。

4、通过采用上述技术方案，电镀过程中，往两组进液管内持续注入电解液，电解液经由进液管流入至喷液管内后经由喷液管上的喷液通道喷出，由于喷液管位于阳极板底部且喷液管上的喷液通道位于喷液管朝向铜箔的一侧，使得喷出的电解液可以快速由下至上定向流动至阳极板与铜箔之间的有效电镀区，实现对有效电镀区铜离子的及时补充，使得电镀过程中有效电镀区的电解液的铜离子浓度可以始终保持在工艺设定范围内，减少铜箔出现的无效电镀的情况；通过喷液通道的喷液方向与铜箔传送方向平行，减少了由喷液通道喷出的电解液对铜箔的扰动，进而减少喷液过程中铜箔出现抖动撕裂的情况，实现在不影响铜箔电镀的情况下快速补充地有效电镀区内铜离子的浓度。

5、优选的，所述喷液通道包括开设在喷液管上表面的喷液口，所述喷液口位于喷液管朝向铜箔的一侧且喷液口与阳极盒朝向铜箔一侧的连接板相对设置，所述阳极盒朝向铜箔一侧的连接板底端伸入至喷液口内并与喷液口相对两侧内壁留有间距。

6、通过采用上述技术方案，电解液可以同时喷出至与阳极盒内腔与阳极盒与铜箔之间的区域，在实现对有效电镀区注入新的电解液以补充有效电镀区铜离子浓度的同时，提升阳极盒内部电解液的循环流动性，加速阳极盒内电解液中铜离子通过连接板上的通孔均匀快速地流向有效电镀区，使得在电镀过程中有效电镀区的铜离子的及时补充。

7、优选的，两组所述进液管相对一侧均开设有滑槽且滑槽顶端开口设置，阳极板相对两侧分别滑动插接于两组进液管的滑槽内。

8、通过采用上述技术方案，实现将阳极板架设安装在电镀池内，同时使得阳极板可拆卸连接于阳极盒，便于后续阳极板的拆洗更换。

9、优选的，所述进液管顶端垂直连通有主连接管，所述主连接管轴线与喷液管长度方向平行，所述主连接管远离进液管的一端通过连接组件可拆卸连通有副连接管，所述副连接管远离主连接管的一端穿设固定于电镀池侧壁。

10、通过采用上述技术方案，电镀过程中，可将电解液从副连接管通入，再依次经由主连接管与进液管与进液管流入至喷液管内最后经由喷液通道喷出；实现对有效电镀区铜离子的及时补充。同时实现阳极盒可拆卸架设在电镀池内，使得阳极盒无需与电镀池一体成型，后续定期冲洗清洁电镀池时，还可将阳极盒从电镀池内拆除，以便于更好冲洗清洁电镀池。

11、优选的，所述连接组件包括分别同轴设置在主连接管与副连接管相互靠近一端的主法兰与副法兰，所述的主法兰与副法兰通过若干螺栓螺母副相连接。

12、通过采用上述技术方案，拆装主法兰与副法兰之间的螺栓螺母副便可实现主连接管与副连接管之间的断开与连接，使得阳极盒的拆装更加简单方便。

13、优选的，所述喷液管顶端与阳极板底端留有间距；所述阳极盒背离铜箔的一侧的连接板底部均匀开设有若干连接孔。

14、通过采用上述技术方案，使得阳极盒背离铜箔一侧的电解液可以通过连接孔进入至阳极盒内腔，再经由阳极盒朝向铜箔一侧的连接板上通孔流入阳极盒与铜箔之间间隙，提升有效电镀区外电解液的循环流动性，便于更好补充有效电镀区的铜离子。

15、优选的，还包括若干与进液管一一相对的限位件，所述限位件包括两组平行设置的限位板，所述限位板固定在电镀池与进液管相对的内侧壁，两组所述限位板形成供进液管插入的限位槽，所述阳极盒两侧的进液管分别插接于对应的限位槽内。

16、通过采用上述技术方案，安装阳极盒时，可将阳极盒相对两侧的进液管插入至对应限位槽内，以实现阳极盒的快速导向与定位，同时移动阳极盒使主连接管与副连接管相对。

17、优选的，所述进液管朝向限位板的一侧顶部均凸出设置有卡接板，当所述进液管插入对应限位槽并滑动至卡接板与限位板顶端抵接时，所述主法兰与副法兰相对设置。

18、通过采用上述技术方案，安装阳极盒时，将阳极盒两侧进液管分别滑入对应的限位槽后，进一步向下滑动阳极盒直至卡接板与限位板顶端抵接，便可实现主法兰与副法兰相对，便于通过螺栓螺母副连接主法兰与副法兰。

19、综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：

20、1.通过阳极盒平行套设在对应阳极板外周，阳极盒包括位于对应阳极板底部的喷液管，喷液管两端垂直连通有进液管，两组所述进液管之前还设置有两组连接板，两组连接板、两组进液管以及喷液管围合形成套设阳极板的壳体；喷液管朝向铜箔的一侧开设有喷液通道且喷液通道的喷液方向与铜箔传送方向平行；电镀时往进液管内持续注入电解液，电解液经由进液管流入喷液管再经由喷液通道喷出，实现由下至上定向补充有效电镀区内的铜离子，通过喷液通道的喷液方向与铜箔传送方向平行，有利于减少喷液通道喷出电解液的对铜箔正常传送造成干扰。

21、2.通过进液管顶端垂直连通有主进液管，主进液管通过连接组件可拆卸连接有副连接管，副连接管远离主连接管的一端穿设固定于电镀池侧壁，实现阳极盒可拆卸架设在电镀池内的，同时便于后续冲洗电镀池时将阳极板连同阳极板一同拆出电镀池外。

22、3.通过阳极盒背离铜箔的一侧底部均开设有若干连接孔，喷液管顶部与阳极板底端留有间距，电极液喷入阳极盒内腔的同时，阳极盒背离铜箔一侧电解液可以通过连接孔进入阳极盒内，再经由连接板上的通孔流向有效地电镀区，实现有效电镀区内外电解液的循环流动，有利于更好地补充有效电镀区内电解液的铜离子。