1.一种纯钯电镀液,其特征在于,所述纯钯电镀液包括含钯氨络离子无机盐、导电剂、络合剂、ph 稳定剂、添加剂和去离子水,ph为7.3-8.5;
2.根据权利要求1所述的一种纯钯电镀液,其特征在于,所述聚氧乙烯山梨糖醇酐单月桂酸酯、磺基丁二酸钠、环状酰亚胺和丙烯酰胺的质量比为1:1.8:0.4:0.6混合而成。
3.根据权利要求2所述的一种纯钯电镀液,其特征在于,所述丙烯酰胺为双丙酮丙烯酰胺。
4.根据权利要求1所述的一种纯钯电镀液,其特征在于,所述络合剂由硫脲和有机脂族二胺按质量比1:(2-3)混合而成。
5.根据权利要求4所述的一种纯钯电镀液,其特征在于,所述硫脲为丙烯基硫脲。
6.根据权利要求4所述的一种纯钯电镀液,其特征在于,所述有机脂族二胺为1,6-二氨基己烷。
7.根据权利要求1所述的一种纯钯电镀液,其特征在于,所述含钯氨络离子无机盐为pd(nh3)4cl2。
8.一种权利要求1-7中任一项所述纯钯电镀液的电镀工艺,其特征在于,包括如下步骤:
9.根据权利要求8所述的电镀工艺,其特征在于,所述s3步骤的电镀温度为35-50℃。