一种铜基键合线的制备方法与流程

文档序号:35972388发布日期:2023-11-09 13:46阅读:73来源:国知局
一种铜基键合线的制备方法与流程

本技术涉及铜基键合线领域,更具体地说,它涉及一种铜基键合线的制备方法。


背景技术:

1、方法键合线是在ic工业中作为连接芯片与外部封装基板或多层线路板的主要连接方式。因为铜成本较低,且具有良好的导电导热性,因此键合铜线被广泛使用。

2、由于裸铜线容易被氧化腐蚀,通常在其表面设置至少一层镀层以增加其性能,将待镀层的铜线浸入镀液中进行电镀加工而成。相关技术中,业内人员通过镀钯提高铜线耐氧化和耐腐蚀性能,但钯的导电性不足,通常又在此基础上进行镀金,以克服镀钯铜线硬度大和电阻大的缺陷。同时,为降低成本,减少钯的用量,通常在镀钯之前镀一层镍,也能够保证得到的铜基键合线具有优异的耐氧化、耐腐蚀和导电性。

3、针对上述中的相关技术,发明人认为镀层间的相容性差,导致层间结合力差,使铜基键合线在使用过程中的延伸性能不佳,且容易被拉断,进而导致产品不良,使用寿命大大降低。因此,目前亟需提出一种方案以解决上述技术问题。


技术实现思路

1、为了提高铜基键合线上镀层间的结合力,使铜基键合线兼顾优异的延伸性能和抗拉断性能,本技术提供一种铜基键合线的制备方法。

2、本技术提供的一种铜基键合线的制备方法,采用如下的技术方案:

3、一种铜基键合线的制备方法,包括以下步骤:

4、(1)超声波脱脂阴极去除铜线表面油脂和污垢,再进行酸洗去除铜线表面氧化皮,然后经纯水冲洗,烘干后得到预处理的铜线原料;

5、(2)将步骤(1)中得到的铜线原料通过电镀系统中,并将其连接至电镀系统的阴极上,依次渡过含有镍镀液、钯镀液、氰化亚金钾镀液的镀槽中进行电镀保护层,得到电镀铜线原料;

6、(3)将步骤(2)中得到的电镀铜线原料经精拔、烫洗和烘干后得到铜基键合线,将镀好的线材放入400度以下的真空柜,小于3个小时;

7、上述步骤(2)中的镍镀液、钯镀液、氰化亚金钾镀液中分别加入有重量百分比为2-6%的增强助剂,所述增强助剂包含以下组分:

8、双氧水5-10g/l;

9、上述步骤(2)中的镍镀液、一号钯镀液、二号钯镀液、三号钯镀液、氰化亚金钾镀液中分别加入有重量百分比为2-6%的增强助剂,所述增强助剂包含以下组分:

10、柠檬酸2-5g/l;

11、正丁醇0.5-2.5g/l;

12、植酸5-10g/l;

13、有机胺盐3-5g/l;

14、去离子水20l。

15、通过采用上述技术方案,在镍镀液、一号钯镀液、二号钯镀液、三号钯镀液、氰化亚金钾镀液中加入增强助剂,一方面能够起到微蚀的作用,在电镀前对镀件表面进行修饰,改善其形貌,进而在电镀形成电镀层后,镀件表面与镀层之间能够形成较为立体交错的咬合结构,经多次电镀后,镀层间具有较强的结合力,不易出现剥离脱落;另一方面,增强助剂各组分原料形成的混合体系,能够使自身含有的极性基团吸附在晶粒生长的活性点上,增加了电沉积的化学反应电子,增大了电化学极化,从而达到细化晶粒的效果,进而使镀层更加均匀致密,相互间的结合性更加稳定牢固。由此可见,本技术在铜基键合线的制备中,通过特殊增强助剂的使用,使镀层间的结合力大大提高,使得到的铜基键合线在应用过程中,兼顾优异的延伸性能和抗拉断性能,具有持久稳定的使用寿命。

16、优选的,所述增强助剂包含以下组分:

17、柠檬酸3.5g/l;

18、正丁醇1.5g/l;

19、植酸6g/l;

20、有机胺盐4g/l;

21、去离子水20l。

22、通过采用上述技术方案,上述组分用量的增强助剂,相互间的配合效果最为稳定优异,在镍镀液、钯镀液、氰化亚金钾镀液中所发挥的作用较为优异,最终得到的铜基键合线,其上各镀层件的结合较为稳固,延伸性能和抗拉断性能最为优异,整体应用较为持久稳定。

23、优选的,所述镍镀液:光亮剂10-30ppm、平整剂50-80ppm、增强剂0.1-0.5ppm、缓释剂小于1000ppm、有机胺加入调节至ph值为7-10、电镀盐,镍浓度小于5g/l。

24、优选的,所述一号钯镀液:光亮剂100-300ppm、平整剂50-80ppm、增强剂0.1-0.5ppm、缓释剂小于1000ppm、有机胺加入调节至ph值为7-10、电镀盐,钯浓度小于8g/l。

25、优选的,所述二号钯镀液:光亮剂50-100ppm、平整剂50-80ppm、增强剂0.1-0.5ppm、缓释剂小于1000ppm、有机胺加入调节至ph值为7-10、电镀盐,钯浓度小于6g/l。

26、优选的,所述三号钯镀液:光亮剂150-200ppm、平整剂50-80ppm、增强剂0.1-0.5ppm、缓释剂小于1000ppm、有机胺加入调节至ph值为7-10、电镀盐,钯浓度小于6g/l。

27、优选的,所述氰化亚金钾镀液:增强剂0.1-0.5ppm、缓释剂小于1000ppm;柠檬酸加入调节至ph值小于7,金浓度小于1g/l。

28、通过采用上述技术方案,上述组成的镍镀液、一号钯镀液、二号钯镀液、三号钯镀液、氰化亚金钾镀液,在电镀过程中,镀层晶粒均匀细密,形成的镀层更加平整,并能够赋予镀件稳定的作用特性;且钯、镍与铜材的结合力优秀,而上述镀液形成的镀层软硬适中,不易脱落,适于延展,延伸性能和抗拉断性能均能够兼顾,同时表现较为优异。

29、优选的,所述缓释剂为硼酸、硼酸盐、氨基乙酸和氨基乙酸盐中的一种或几种的组合物。

30、通过采用上述技术方案,上述种类的缓释剂在电镀中能抑制电镀液ph值的变化,使镀液具有自行调节ph值能力,以便在电镀过程中保持ph值稳定,进而保证镀层结构的稳定。

31、优选的,所述镀槽内的槽液温度大于70℃。

32、通过采用上述技术方案,槽液温度大于70度,更有利于镍镀液、一号钯镀液、二号钯镀液、三号钯镀液、氰化亚金钾镀液在电镀过程中,保持高效稳定的金属沉积速度,有利于使形成的镀层较为致密。

33、优选的,电镀过程中的电镀参数为:温度18-70℃,电流密度1-15asd,波美度5-30,电镀时间0.1-0.5s。

34、通过采用上述技术方案,上述电镀参数的选取,有助于在电镀过程中,使镍镀液、钯镀液和氰化亚金钾镀液充分发挥作用,并能够形成均匀完整的镀层,进而有利于得到品质优异的铜基键合线。

35、综上所述,本技术具有以下有益效果:

36、1、本技术在铜基键合线的制备中,通过特殊增强助剂的使用,不仅使镀层之间能够形成较为立体交错的咬合结构,还能够使镀层更加均匀致密,相互间的结合性更加稳定牢固,在生产以及后续使用过程中,不易发生脱落,使得到的铜基键合线在应用过程中,兼顾优异的延伸性能和抗拉断性能,具有持久稳定的使用寿命;

37、2、本技术通过特定镍镀液、一号钯镀液、二号钯镀液、三号钯镀液和氰化亚金钾镀液的组合和使用,能够使镀层间的界面结合强度提高,且整体镀层软硬适中,不易脱落,适于延展,得到的铜基键合线,延伸性能和抗拉断性能均能够兼顾,并表现较为优异,整体应用更加持久稳定,寿命较长。

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