间和改善进气装置的外观，所述外壳体I的上表面为弧形结构，所述外壳体I的上表面设有弧形盖板11，外壳体I的两端设有与所述支撑板72平行的壁板12，所述弧形盖板11和壁板12均为不透光结构，甚至可以采用反光板，使照明装置6发出的光最大程度地射入制程区域41。
[0030]优选地，所述透光结构为设于所述外壳体I下表面的透光板，所述透光板的数量为多个，本实施例中，所述透光板分别设于LED灯的下方，优选地，透光板采用耐腐蚀的工程塑料高结晶度的半透明聚丙烯材料制作。
[0031]具体地，所述外壳体I通过出气口 3向制程区域41内排入的气体为新鲜空气，所述制程区域41内在远离观察区42的区域设有废气口，所述出气口 3向制程区域41排进新鲜空气，进而使制程区域41内产生的酸气废气从废气口排出。本实施例中，新鲜空气通过进气口 2进入进气装置的外壳体1，在通过出气口 3由外壳体I进入制程区域41，由于出气口 3靠近观察区42，因此进入制程区域41的新鲜空气首先排净靠近观察区42附近的酸气废气，所述观察区处设有封闭板，当需要对制程区域41进行观察的时候，先通入新鲜空气一段时间，确保排净靠近观察区42的酸气后再打开封闭板进行观察。
[0032]具体地，所述支撑板72上设有通孔73，所述通孔73用于握持支撑板72以便于将支撑板72安装入所述外壳体1，并用于流通所述外壳体I内的气体。
[0033]实施例2:与实施例1不同的是，所示加强杆71的数量为多个，所示支撑板72的数量为一个，同样能够实现增强外壳体I结构稳定性的目的，优选地，进气装置的结构采用耐腐蚀的工程塑料聚丙烯制作，加强杆71采用耐腐蚀的工程塑料聚丙烯包覆的金属方管制作。
[0034]实施例3:与实施例1不同的是，所述出气口 3和进气口 2的数量为一个，也能实现通过进气口 2向外壳体I内进气以及通过出气口 3向制程区域41进气的目的。
[0035]实施例4:与实施例1不同的是，相邻的支撑板72之间的区域内设有单个照明装置6，同样可以实现照明目的，且LED灯向下设置只是优选方案，向上设置也是可以实现给制程区域41提供照明的目的。
[0036]实施例5:与实施例1不同的是，作为更优选的方案，所述透光板不仅设于照明装置6的正下方，而是将所述透光板拼接成外壳体I下表面的底板。
[0037]实施例6:与实施例1不同的是，本实用新型提供的与制程设备配合的进气装置还设有管状的排气管，所述出气口 3与排气管的一端连接，所述排气管的另一端设有扁宽形的喷嘴，所述喷嘴靠近并朝向所述观察区42，这样能够更高效地排净制程区域41内靠近观察区42的酸气废气。
[0038]本实用新型的与制程设备配合的进气装置能够有效向远离观察区方向排出湿制程区域内的酸气废气，并且为制程区域提供高效照明，提高观测人的安全性和舒适度，结构简单、外观良好。
[0039]以上所揭露的仅为本实用新型的几种较佳实施例而已，当然不能以此来限定本实用新型之权利范围，因此依本实用新型权利要求所作的等同变化，仍属本实用新型所涵盖的范围。
【主权项】
1.一种与制程设备配合的进气装置，其特征在于，包括外壳体(I)、进气口(2)和出气口(3)，所述外壳体(I)设于制程设备(4)的制程区域(41)上方，所述出气口(3)同时与外壳体⑴和制程区域(41)连通，所述出气口(3)靠近所述制程区域(41)的观察区(42)，所述进气口(2)与外壳体(I)连通，并且偏离出气口(3)的正上方区域。2.如权利要求1所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述出气口(3)和进气口(2)的数量为一个或多个，所述出气口(3)设于外壳体(I)的下表面，所述进气口(2)设于外壳体(I)的上表面，所述进气口(2)处设有用于过滤进气的过滤棉(5)。3.如权利要求1所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述外壳体(I)内设有照明装置(6)，所述外壳体(I)下表面为透光结构，所述照明装置(6)发出的光透过外壳体(I)的下表面进入所述制程区域(41)。4.如权利要求3所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述外壳体(I)内部设有至少一个加强杆(71)及一个或多个支撑板(72)，所述支撑板(72)平行设置，所述支撑板(72)上设有供加强杆(71)穿过的通孔，所述加强杆(71)依次穿过支撑板(72)的通孔，所述加强杆(71)的两端分别抵住外壳体(I)的两端。5.如权利要求4所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，相邻的支撑板(72)之间的区域内设有至少一个照明装置(6)，所述照明装置(6)为LED灯，所述LED的供电灯座设于LED灯的上方，所述LED灯向下发光。6.如权利要求4所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述外壳体(I)的上表面为弧形结构，所述外壳体(I)的上表面设有弧形盖板(11)，外壳体(I)的两端设有与所述支撑板(72)平行的壁板(12)，所述弧形盖板(11)和壁板(12)均为不透光结构。7.如权利要求5所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述透光结构为设于所述外壳体(I)下表面的透光板，所述透光板的数量为多个，所述透光板分别设于LED灯的下方，或者，所述透光板拼接成外壳体(I)下表面的底板。8.如权利要求1-7中任意一项所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述夕卜壳体⑴通过出气口⑶向制程区域(41)内排入的气体为新鲜空气，所述制程区域(41)内在远离观察区(42)的区域设有废气口，所述出气口(3)向制程区域(41)排进新鲜空气，进而使制程区域(41)内产生的酸气废气从废气口排出。9.如权利要求8所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，还设有管状的排气管，所述出气口(3)与排气管的一端连接，所述排气管的另一端设有扁宽形的喷嘴，所述喷嘴靠近并朝向所述观察区(42)。10.如权利要求4、5、6或7所述的与制程设备配合的进气装置，其特征在于，所述支撑板(72)上设有通孔(73)，所述通孔(73)用于握持支撑板(72)进行安装入所述外壳体(I)，并用于流通所述外壳体(I)内的气体。
【专利摘要】本实用新型涉及太阳能制造设备领域，公开了一种与制程设备配合的进气装置，包括外壳体、进气口和出气口，所述外壳体设于制程设备的制程区域上方，所述出气口同时与外壳体和制程区域连通，所述出气口靠近所述制程区域的观察区，所述进气口与外壳体连通，并且偏离出气口的正上方区域。本实用新型的进气装置与太阳能湿制程设备配合，能够有效向远离观察区方向排出湿制程区域内的酸气废气，为制程区域提供高效照明，提高观测人的安全性和舒适度，结构简单、外观良好。
【IPC分类】C25D21/04
【公开号】CN204849103
【申请号】CN201520558876
【发明人】张淋, 程强强
【申请人】苏州宝馨科技实业股份有限公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年7月29日