微型气压动力装置的制作方法

文档序号:11585120阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种微型气压动力装置,包括:微型流体控制装置,包括堆叠设置的进气板、共振片、压电致动器及集气板,其中集气板具有介于6mm至18mm之间的长度、介于6mm至18mm之间的宽度,共振片与压电致动器之间具有间隙形成的第一腔室,使压电致动器受驱动时,气体由进气板导入,经共振片以进入第一腔室内,再向下传输,以形成压力梯度流道持续推出气体;微型阀门装置包括堆叠设置的阀门片以及出口板;当气体自微型流体控制装置向下传输至微型阀门装置内,以因应气体的单向流动而使阀门片的阀孔进行开或关,俾进行集压或卸压。

技术研发人员:陈世昌;黄启峰;韩永隆;廖家淯;陈寿宏;黄哲威;廖鸿信;陈朝治;程政玮;张英伦;张嘉豪;李伟铭
受保护的技术使用者:研能科技股份有限公司
技术研发日:2016.09.05
技术公布日:2017.08.08
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