一种真空泵的制作方法

本发明涉及一种真空泵，特别是涉及一种膜片式真空泵，属于真空泵技术领域。

背景技术：

真空泵是利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。

按工作原理划分凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。机械真空泵按其工作原理及结构特点分为变容真空泵和动量传输泵。

变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。

往复式真空泵利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。又称为活塞式真空泵；旋转式真空泵利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。

通常机械真空泵获得的真空度较低，多作为粗真空泵。另外，由于通用机械真空泵零部件主要针对空气这种介质设计制造，在含腐蚀性气体介质或易接触其他介质时，普通机械真空泵不能满足使用要求。主要问题在于接触腐蚀性介质造成真空泵的金属或其他材料零部件失效。尤其是当真空泵用于为离心泵自动上水时，普通真空泵存在的问题是：或真空度不能满足吸气上水要求；或不能满足抗离心泵内腐蚀介质的要求。

技术实现要素：

本发明是为了解决上述问题而提出的，本发明的目的是为了解决真空泵的抗腐蚀问题而提出的一种膜片式真空泵。该真空泵通过特殊的结构设计，能有效防止吸真空过程中介质对真空泵的侵蚀，又能获得足够的真空度，通过适当配置电控系统，真空泵可实现机电一体化控制。

本发明的真空泵，在用于解决离心泵的自吸上水问题时，不但能有效防止介质的侵蚀，还能同时从离心泵的低压腔、泵高压腔吸真空，有效地减少离心泵高压腔内的残余空气，实现快速、彻底排气灌泵。

本发明的目的是通过下述技术方案实现的：一种真空泵，其特征在于由传动机构(100)、吸真空机构(200)、液位检测机构(300)、吸气控制管路(400)、排气控制管路(500)组成。

此外，所述一种真空泵，其特征在于所述传动机构(100)，由电机(101)、主动锥齿轮(102)、被动锥齿轮(103)、主轴(104)、轴承(105)、偏心块(106)、摆杆(107)、传动支架(108)、销 轴(109)组成。

所述传动机构(100)的特征是：安装在电机(101)上的主动锥齿轮(102)，和与之啮合的被动锥齿轮(103)，构成直交轴减速机构，驱动主轴(104)旋转；主轴(104)驱动偏心块(106)，通过轴承(105)带动摆杆(107)做往复运动，构成曲柄摇杆机构。以上两机构把电机的回转运动，减速变向后变为吸真空机构(200)上的膜片支架(201)、膜片(202)、压板(203)的直线往复运动。所述传动机构(100)可以是单级减速机构，也可以是多级减速机构，本发明不限于此。

此外，所述一种真空泵，其特征在于所述吸真空机构(200)，由膜片支架(201)、膜片(202)、压板(203)、工作腔(204)、吸气腔接口(205)、吸气阀(206)、吸气腔(207)、阀体(208)、排气腔(209)、排气腔接口(210)、排气阀(211)组成。

所述吸真空机构(200)的特征是：膜片(202)的外凸棱(202-2)被传动支架(108)与阀体(208)夹持并固定，内凸棱(202-3)被膜片支架(201)、压板(203)夹持并随膜片支架(201)一起被摆杆(107)驱动做往复移动；基体(202-1)不受约束。

所述吸气阀(206)由阀片(206-1)、阀座(206-2)、紧固螺钉(206-3)组成。阀片(206-1)被紧固螺钉(206-3)通过安装孔(206-6)固定在阀座(206-2)的中心部位螺纹孔(206-5)上，阀片自由面(206-8)不受约束。吸气阀(206)的工作原理是：当气流由下向上移动时，气流通过通气孔(206-4)顶开阀片工作面(206-7)，使之与阀座工作面(206-10)之间形成气流通道，吸气阀(206)自动打开，气体通过；当气流由上向下移动时，气流推动阀片自由面(206-8)，于是带动阀片工作面(206-7)向下运动，使之与阀座工作面(206-10)紧密贴合，气体不能通过吸气阀(206)，吸气阀(206)自动关闭。

排气阀(211)的结构与工作原理与吸气阀(206)相同，但安装方向相反。

此外，所述一种真空泵，其特征在于所述液位检测机构(300)，由机座(301)、液位开关(302)、缓冲腔(303)构成。机座(301)安装在泵入口管线(606)及泵涡壳(603)的入口法兰之间，缓冲腔(303)与泵入口管内腔(605)及泵低压腔(604)相互联通。

所述液位开关(302)不局限于只是浮球液位计，也可以是其他有类似功能的，能发出电控信号的液位计，本发明不限于此。

此外，所述一种真空泵，其特征在于所述吸气控制管路(400)，由接泵管(401)、连阀管(402)、吸真空入口管(403)、截止阀(404)、控制阀(405)组成。

接泵管(401)首端连接泵高压腔(602)，末端连接截止阀(404)的入口；连阀管(402)首端连接截止阀(404)的出口，末端连接控制阀(405)的入口；吸真空入口管(403)首端连接控制阀(405)的出口，末端连接吸气腔接口(205)。

此外，所述一种真空泵，其特征在于所述排气控制管路(500)，由排气出口管(501)、控制阀(502)、接阀管(503)组成。

排气出口管(501)首端连接排气腔接口(210)，末端连接控制阀(502)入口，接阀管(503)首端连接控制阀(502)的出口，末端导入回收池。

本发明所述一种真空泵，是这样工作的：

a、启泵前，离心泵(600)的出口阀关闭，吸气控制管路(400)上的截止阀(404)打开。此时，泵高压腔(602)、泵低压腔(604)、泵入口管内腔(605)、缓冲腔(303)充满空气。

b、启泵时，传动装置(100)上的电机(101)首先启动，同时控制阀(405)、控制阀(502)得电处导通位，泵电机(601)暂不启动，吸气控制管路(400)导通泵高压腔(602)与吸气腔(207)，排气控制管路(500)导通排气腔(209)与回收池。电机(101)驱动主动锥齿轮(102)啮合被动锥齿轮(103)带动主轴(104)转动，主轴(104)驱动偏心块(106)通过其外部的轴承(105)带动摆杆(107)摆动，摆杆(107)通过销轴(109)驱动膜片支架(201)、膜片(202)的内凸棱(202-3)、压板(203)做直线往复运动。

当膜片(202)的内凸棱(202-3)由下向上运动时，工作腔(204)扩张，气压降低，于是排气阀(211)关闭，同时吸气阀(206)开启，泵入口管内腔(605)、泵低压腔(604)内的空气，经缓冲腔(303)、吸气腔(207)、吸气阀(206)流入工作腔(204)；泵高压腔(602)内的空气经吸气控制管路(400)流入吸气腔(207)，再经吸气阀(206)流入工作腔(204)。

当膜片(202)的内凸棱(202-3)由上向下运动时，工作腔(204)缩小，气压升高，于是吸气阀(206)关闭，同时排气阀(211)开启。工作腔(204)内的空气经排气阀(211)、排气腔(209)、排气腔接口(210)进入排气控制管路(500)，再经排气出口管(501)、控制阀(502)、接阀管(503)排入回收池。

膜片(202)的内凸棱(202-3)上、下连续往复运动，泵入口管内腔(605)、泵低压腔(604)、缓冲腔(303)内的空气，泵高压腔(602)内的空气，经吸气腔(207)被吸气阀(206)不断吸入，再经排气阀(211)不断排出，压力持续降低，于是泵入口管内腔(605)的液位在大气压的作用下持续升高，直至进入缓冲腔(303)。

c、当缓冲腔(303)内的液位升高并浮起液位开关(302)的浮球时，液位开关(302)发出电信号，启动泵电机(601)的同时，关闭控制阀(405)、控制阀(502)、电机(101)。此时，离心泵(600)的低压腔(604)、高压腔(602)内的液位满足启泵要求，离心泵(600)进入启动运行状态。

d、当离心泵(600)停泵后再次启动时，如果缓冲腔(303)内的液位足够高，且能浮起 液位开关(302)的浮球时，泵能直接启动；如果液位不能浮起液位开关(302)的浮球时，则电控系统自动启动电机(101)，传动机构(100)、吸真空机构(200)投入工作，直至缓冲腔(303)内的液位升高，并浮起液位开关(302)的浮球，然后发出启泵信号并启动离心泵(600)上的泵电机(601)，泵启动并运行。

有益效果：

本发明对比现有技术具有以下创新点：

1.真空泵有液位检测功能，能实现机电一体化控制。吸气、排气控制管路中设置电磁控制阀，介质到达预定液位后，装置中的液位计能自动发出控制信号，控制主电机启动，吸真空电机停止，自动切断吸气、排气控制管路。

2.突破传统真空泵只能从低压腔吸真空的传统吸气方法，采用从离心泵的高压腔、低压腔同时吸真空的方法，吸气效率高，能快速排除泵腔内空气。能有效排出离心泵高压腔内的空气，保证叶轮周边充满介质，避免在泵高压腔遗留气室死角。

3.真空泵的结构简单，运行可靠，故障率低。对设备加工精度要求不高，设备制造成本较低，性价比较高。

4.真空泵采用锥齿轮减速机构，使整个装置立式直线布置，配合优化设计的曲柄摇杆机构，节省空间，设备造型美观。

本发明对比已有技术具有以下显著优点：

1.介质适应性广。本发明的真空泵有液位检测功能，自动控制介质液位，防止介质对吸真空机构中的工作腔、吸气阀、排气阀的侵蚀，延长了零部件的使用寿命，降到故障率。普通真空泵无此项功能。

2.本发明的真空泵设备布置灵活，可根据现场条件、泵结构特点来布置吸真空装置，适合用来升级改造普通离心泵，使之成为自吸式离心泵。传统吸真空装置只能安装在泵体上；普通真空泵只能独立布置。

3.本发明的真空泵适用泵种类范围广，能适用于卧式离心泵、立式离心泵、单级双吸泵、多级泵等多种离心泵的自动上水。

4.本发明的真空泵能从离心泵高压腔、低压腔同时吸真空。传统吸真空装置、真空泵只能从离心泵低压腔吸真空。

5.与普通真空泵相比，本发明真空泵结构简单、可靠性高、维修方便。维保吸真空装置时，不需要拆解离心泵。

6.应用本发明真空泵，启泵时泵腔已充介质，不发尘离心泵主轴密封件“干磨”现象，有利于延长泵密封件的使用寿命，降低设备故障率，克服了真空辅助自吸泵在这点上的不足。

附图说明

图1是本发明真空泵的吸真空原理图

图2是本发明真空泵主体结构装配示意图

图3是本发明真空泵的膜片结构示意图

图4是本发明真空泵的偏心块结构示意图

图5是本发明真空泵的吸气阀(排气阀)结构示意图

图6是本发明真空泵吸气阀(排气阀)上的阀片结构示意图

图7是本发明真空泵吸气阀(排气阀)上的阀座结构示意图

图8是本发明真空泵的分离型布置原理图。

图9是本发明真空泵分离型布置时所采用的防喷水挡板结构图。

图10是本发明真空泵分离型布置时液位检测机构结构图。

其中：100.传动机构 101.电机 102.主动锥齿轮 103.被动锥齿轮 104.主轴105.轴承 106.偏心块 107.摆杆 108.传动支架 109.销轴

106-1.键槽 106-2.安装孔

200.吸真空机构 201.膜片支架 202.膜片 203.压板 204.工作腔 205.吸气腔接口 206.吸气阀 207.吸气腔 208.阀体 209.排气腔 210.排气腔接口 211.排气阀

202-1.基体 202-2.外凸棱 202-3.内凸棱

206-1.阀片 206-2.阀座 206-3.紧固螺钉 206-4.通气孔 206-5.螺纹孔206-6.安装孔 206-7.阀片工作面 206-8.阀片自由面 206-9.阀片紧固作用面206-10.阀座工作面

300.液位检测机构 301.机座 302.液位开关 303.缓冲腔

400.吸气控制管路 401.接泵管 402.连阀管 403.吸真空入口管 404.截止阀405.控制阀

500.排气控制管路 501.排气出口管 502.控制阀 503.接阀管

600.离心泵 601.泵电机 602.泵高压腔 603.泵涡壳 604.泵低压腔605.泵入口管内腔 606.泵入口管线

700.液位检测机构 701.分离型机座 702.液位开关 703.缓冲腔 704.防喷水挡板705.防喷腔

704-1.挡板角边

800.低压吸气管路 801.泵入口管线接管 802.截止阀 803.缓冲腔接管

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。图1是本发明真空泵的原理图，图2是本发明真空泵主体结构装配示意图，也是本发明实施例一的主体结构图。图3至7为本发明真空泵实施例一的零部件结构示意图。

本发明的基本思想是：真空泵上的传动装置(100)，将电机(101)的回转运动转化为吸真空机构(200)上的膜片支架(201)、膜片(202)、压板(203)的直线往复运动，当膜片(202)的内凸棱(202-3)由下向上运动时，工作腔(204)扩张，气压降低，排气阀(211)关闭，同时吸气阀(206)开启，缓冲腔(303)、泵低压腔(604)、泵高压腔(602)内的空气，经吸气腔(207)、吸气阀(206)流入工作腔(204)；当膜片(202)的内凸棱(202-3)由上向下运动时，工作腔(204)缩小，气压升高，于是吸气阀(206)关闭，同时排气阀(211)开启。工作腔(204)内的空气，经排气阀(211)排入回收池。

膜片(202)的内凸棱(202-3)上、下连续往复运动，缓冲腔(303)及泵高压腔(602)、泵低压腔(604)内的空气，经吸气腔(207)被吸气阀(206)不断吸入，排气阀(211)不断排出，泵腔气压持续降低，于是泵入口管内腔(605)的液位持续提高。

当缓冲腔(303)内的液位升高并浮起液位开关(302)的浮球时，液位开关(302)发出电信号，启动泵电机(601)的同时，关闭控制阀(405)、控制阀(502)、电机(101)。此时，离心泵(600)腔内液位满足启泵要求，进入启动运行状态。

根据所示实施例一，所述一种真空泵，由传动机构(100)、吸真空机构(200)、液位检测机构(300)、吸气控制管路(400)、排气控制管路(500)组成。

根据所示实施例一，所述传动机构(100)，由电机(101)、主动锥齿轮(102)、被动锥齿轮(103)、主轴(104)、轴承(105)、偏心块(106)、摆杆(107)、传动支架(108)、销轴(109)组成。安装在电机(101)上的主动锥齿轮(102)，和与之啮合的被动锥齿轮(103)，构成直交轴减速机构，驱动主轴(104)旋转；主轴(104)驱动偏心块(106)旋转，通过轴承(105)带动摆杆(107)构成曲柄摇杆机构，做往复摆动。以上两机构把电机的回转运动，减速变向后变为吸真空机构(200)上的膜片支架(201)、膜片(202)的内凸棱(202-3)、压板(203)的直线往复运动。

此外，根据所示实施例一，所述吸真空机构(200)，由膜片支架(201)、膜片(202)、压板(203)、工作腔(204)、吸气腔接口(205)、吸气阀(206)、吸气腔(207)、阀体(208)、排气腔(209)、排气腔接口(210)、排气阀(211)组成。膜片(202)的外凸棱(202-2)被传动支架(108)与阀体(208)夹持并固定，内凸棱(202-3)被膜片支架(201)、压板(203)夹持，并随膜片支架(201)被摆杆(107)驱动做往复移动。

此外，根据所示实施例一，所述液位检测机构(300)，由机座(301)、液位开关(302)、缓冲腔(303)构成。机座(301)安装在泵入口管线(606)及泵涡壳(603)的入口法兰之间，缓冲腔(303)与泵入口管内腔(605)及泵低压腔(604)相互联通。

此外，根据所示实施例一，所述吸气控制管路(400)，由接泵管(401)、连阀管(402)、吸真空入口管(403)、截止阀(404)、控制阀(405)组成。接泵管(401)首端连接泵高压腔(602)，末端连接截止阀(404)的入口；连阀管(402)首端连接截止阀(404)的出口，末端连接控制阀(405)的入口；吸真空入口管(403)首端连接控制阀(405)的出口，末端连接吸气腔接口(205)。

此外，根据所示实施例一，所述排气控制管路(500)，由排气出口管(501)、控制阀(502)、接阀管(503)组成。排气出口管(501)首端连接排气腔接口(210)，末端连接控制阀(502)入口，接阀管(503)首端连接控制阀(502)出口，末端导入回收池。

本发明的实施例一所述的一种真空泵，是这样工作的：

a、启泵前，离心泵(600)的出口阀关闭，吸气控制管路(400)上的截止阀(404)打开。此时，泵高压腔(602)、泵低压腔(604)、泵入口管内腔(605)、缓冲腔(303)充满空气。

b、启泵时，传动装置(100)上的电机(101)首先启动，同时控制阀(405)、控制阀(502)得电处导通位，泵电机(601)暂不启动，吸气控制管路(400)导通泵高压腔(602)与吸气腔(207)，排气控制管路(500)导通排气腔(209)与回收池。电机(101)驱动主动锥齿轮(102)啮合被动锥齿轮(103)带动主轴(104)转动，主轴(104)驱动偏心块(106)通过其外部的轴承(105)带动摆杆(107)摆动，摆杆(107)通过销轴(109)驱动膜片支架(201)、膜片(202)的内凸棱(202-3)、压板(203)做直线往复运动。

当膜片(202)的内凸棱(202-3)由下向上运动时，工作腔(204)扩张，气压降低，于是排气阀(211)关闭，同时吸气阀(206)开启，泵入口管内腔(605)、泵低压腔(604)内的空气，经缓冲腔(303)、吸气腔(207)、吸气阀(206)流入工作腔(204)；泵高压腔(602)内的空气经吸气控制管路(400)流入吸气腔(207)，再经吸气阀(206)流入工作腔(204)。

当膜片(202)的内凸棱(202-3)由上向下运动时，工作腔(204)缩小，气压升高，于是吸气阀(206)关闭，同时排气阀(211)开启。工作腔(204)内的空气经排气阀(211)、排气腔(209)、排气腔接口(210)进入排气控制管路(500)，经排气出口管(501)、控制阀(502)、接阀管(503)排入回收池。

膜片(202)的内凸棱(202-3)上、下连续往复运动，泵入口管内腔(605)、泵低压腔(604)、缓冲腔(303)内的空气，泵高压腔(602)内的空气，经吸气腔(207)被吸气阀(206) 不断吸入，再经排气阀(211)不断排出，压力持续降低，于是泵入口管内腔(605)的液位在大气压的作用下持续提高，直至进入缓冲腔(303)。

c、当缓冲腔(303)内的液位升高并浮起液位开关(302)的浮球时，液位开关(302)发出电信号，启动泵电机(601)的同时，关闭控制阀(405)、控制阀(502)、电机(101)。此时，离心泵(600)的低压腔(604)、高压腔(602)内的液位满足了启泵要求，离心泵进入启动运行状态。

d、当离心泵(600)停泵后再次启动时，如果缓冲腔(303)内的液位足够高，且能浮起液位开关(302)的浮球时，泵能直接启动；如果液位不能浮起液位开关(302)的浮球时，则电控系统自动启动电机(101)，传动机构(100)、吸真空机构(200)投入工作，直至缓冲腔(303)内的液位升高，并浮起液位开关(302)的浮球，然后发出启泵信号并启动离心泵(600)上的泵电机(601)，泵启动并运行。

图3是本发明真空泵的膜片结构示意图，所述膜片(202)由天然橡胶或其他弹性材料制成，是由断面为“H”型的图形，绕竖直轴线回转形成的回转体。所述膜片(202)由基体(202-1)、上下对称分布的外凸棱(202-2)、上下对称分布的内凸棱(202-3)组成。外凸棱(202-2)的边缘断面轮廓为半圆形，半径为R1；内凸棱(202-3)的边缘断面轮廓为半圆形，半径为R2。外凸棱(202-2)、内凸棱(202-3)与基体(202-1)交汇处的过渡圆角为r。

图4是本发明真空泵的偏心块(106)的结构示意图，所述偏心块(106)外轮廓中心02与安装孔(106-2)中心01之间存在偏心距E，安装孔(106-2)上设有键槽(106-1)，键槽(106-1)设在01与02连线方向，靠近02侧。

图5是本发明真空泵的吸气阀(排气阀)结构示意图。所述吸气阀(206)由阀片(206-1)、阀座(206-2)、紧固螺钉(206-3)组成。阀片(206-1)被紧固螺钉(206-3)通过安装孔(206-6)固定在阀座(206-2)的中心部位螺纹孔(206-5)上，阀片自由面(206-8)不受约束。吸气阀(206)的工作原理是：当气流由下向上移动时，气流通过通气孔(206-4)顶开阀片工作面(206-7)，使之与阀座工作面(206-10)之间形成气流通道，吸气阀(206)自动打开，气体通过；当气流由上向下移动时，气流推动阀片自由面(206-8)，于是带动阀片工作面(206-7)向下运动，使之与阀座工作面(206-10)紧密贴合，气体不能通过吸气阀(206)，吸气阀(206)自动关闭。

排气阀(211)的结构与工作原理与吸气阀(206)相同，安装方向相反。

图6是本发明真空泵吸气阀(排气阀)上的阀片结构示意图，阀片(206-1)由天然橡胶或其他弹性材料制成，其内圈部分设有安装孔(206-6)，直径为d1，阀片工作面(206-7)是平面，直径为D，阀片紧固作用面(206-9)为平面，直径d2，阀片自由面(206-8)为锥 面。

图7是本发明真空泵吸气阀(排气阀)上的阀座结构示意图，阀座(206-2)上表面阀座工作面(206-10)为平面，中心部位设有螺纹孔(206-5)，螺纹孔(206-5)外侧设有多个通气孔(206-4)，通气孔数量为N。

图8为本发明真空泵实施例二的原理示意图，真空泵与其所拖动的离心泵各自独立布置。

根据本发明所示实施例二，所述一种真空泵，由传动机构(100)、吸真空机构(200)、液位检测机构(700)、吸气控制管路(400)、排气控制管路(500)、低压吸气管路(800)组成。

此外，根据所示实施例二，所述液位检测机构(700)，由分离型机座(701)、液位开关(702)、缓冲腔(703)、防喷水挡板(704)、防喷腔(705)构成。

此外，根据所示实施例二，所述低压吸气管路(800)由泵入口管线接管(801)、截止阀(802)、缓冲腔接管(803)组成。

本发明真空泵实施例二与实施例一的工作原理基本相同，其主要不同点是：

1、实施例二中的液位检测机构(700)连同传动机构(100)、吸真空机构(200)，与离心泵(600)各自独立安装布置，需要增加低压吸气管路(800)，来连接泵入口管内腔(605)与液位检测机构(700)上的防喷腔(705)。而实施例一中的液位检测机构(300)连同安装在其上的传动机构(100)、吸真空机构(200)，与离心泵(600)装配并结合为一个整体，泵入口管内腔(605)和低压腔(604)与液位检测机构(300)上的缓冲腔(303)直接连通。

2、实施例二中的液位检测机构(700)的缓冲腔(703)被防喷水挡板(704)在下部隔离出一个防喷腔(705)。实施例一中的液位检测机构(300)上没有设置防喷水挡板和防喷腔。

实施例二所述的真空泵是这样工作的：

a、启泵前，离心泵(600)的出口阀关闭，截止阀(404)、(802)打开。此时，泵高压腔(602)、泵低压腔(604)、泵入口管内腔(605)、缓冲腔(703)、防喷腔(705)充满空气。

b、启泵时，传动装置(100)上的电机(101)首先启动，同时控制阀(405)、控制阀(502)得电处导通位，泵电机(601)暂不启动，吸气控制管路(400)导通泵高压腔(602)与吸气腔(207)，排气控制管路(500)导通排气腔(209)与回收池，低压吸气管路(800)导通泵入口管内腔(605)与防喷腔(705)。电机(101)驱动主动锥齿轮(102)啮合被动锥齿轮(103)带动主轴(104)转动，主轴(104)驱动偏心块(106)通过其外部的轴承(105)带动摆杆(107)摆动，摆杆(107)通过销轴(109)驱动膜片支架(201)、膜片(202)的内凸棱(202-3)、压板(203)做直线往复运动。

当膜片(202)上的内凸棱(202-3)由下向上运动时，工作腔(204)扩张，气压降低， 于是排气阀(211)关闭，同时吸气阀(206)开启，泵入口管内腔(605)、泵低压腔(604)内的空气，经低压吸气管路(800)进入防喷腔(705)再进入缓冲腔(703)，再经吸气腔(207)、吸气阀(206)流入工作腔(204)；泵高压腔(602)内的空气经吸气控制管路(400)流入吸气腔(207)，再经吸气阀(206)流入工作腔(204)。

当膜片(202)上的内凸棱(202-3)由上向下运动时，工作腔(204)缩小，气压升高，于是吸气阀(206)关闭，同时排气阀(211)开启。工作腔(204)内的空气经排气阀(211)、排气腔(209)、排气腔接口(210)进入排气控制管路(500)，经排气出口管(501)、控制阀(502)、接阀管(503)排入回收池。

膜片(202)上的内凸棱(202-3)上、下连续往复运动，泵低压腔(604)、防喷腔(705)、缓冲腔(703)及泵高压腔(602)内的空气，经吸气腔(207)被吸气阀(206)不断吸入，再经排气阀(211)不断排出，泵腔内的气压持续降低，于是泵入口管内腔(605)、泵低压腔(604)、泵高压腔(602)的液位持续升高，随后缓冲腔(703)的液位随后也持续升高。

c、当缓冲腔(703)内的液位升高并浮起液位开关(702)的浮球时，液位开关(702)发出电信号，启动泵电机(601)的同时，关闭控制阀(405)、控制阀(502)、电机(101)。此时，离心泵(600)腔内的液位满足启泵要求，离心泵进入启动运行状态。

d、当离心泵(600)停泵后再次启动时，如果缓冲腔(703)内的液位足够高，且能浮起液位开关(702)的浮球时，泵能直接启动；液位不能浮起液位开关(702)的浮球时，则电控系统自动启动电机(101)，传动机构(100)、吸真空机构(200)投入工作，直至缓冲腔(703)内的液位升高，并浮起液位开关(702)的浮球，然后发出启泵信号并启动离心泵(600)上的泵电机(601)，泵启动并运行。

图9是本发明真空真空泵与泵体分离布置时所采用的防喷水挡板结构图。防喷水挡板(704)为圆内接多边形，可以是四边形、五边形或三角形，本发明不限于此。其功能是防止介质由缓冲腔接管(803)直接高速喷入缓冲腔(703)。

图10是本发明真空泵分离型布置时液位检测机构(700)的结构图，根据本发明所示实施例二，所述液位检测机构(700)，由分离型机座(701)、液位开关(702)、缓冲腔(703)、防喷水挡板(704)、防喷腔(705)构成。