扩散泵扩散器结构的制作方法

文档序号:11907347阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种扩散泵扩散器结构,包括扩散泵的扩散器,扩散器由喇叭管和直管连接而成,扩散器的喇叭管与直管连接处的喇叭管一侧侧壁由倾斜设置的平板构成、形成导流板;连接处的直管的两端外拐角处呈45°设置;直管的内壁上设有若干倾斜设置的导向板,每一个导向板下方的直管管壁上均设有一个转动安装的平衡板。本实用新型结构设计巧妙、合理,可以有效的降低扩散泵排出的气体损失的能量,导向板在起到导向作用的同时可以吸收扩散泵油,降低扩散泵油被排出的量,提高扩散泵的性能。

技术研发人员:崔应文
受保护的技术使用者:铜陵日科电子有限责任公司
文档号码:201621253140
技术研发日:2016.11.22
技术公布日:2017.05.17

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