1.一种泵监视装置，对连接到同一腔室的多个真空泵的异常进行检测，其特征在于，
基于对表示多个所述真空泵的各个泵转子的旋转状态的信号进行比较的结果，推定在多个所述真空泵的任一个发生异常。
2.如权利要求1所述的泵监视装置，其特征在于，
表示所述旋转状态的信号是驱动所述泵转子旋转的电机的电机电流值，
基于相互不同的所述真空泵的所述电机电流值的差，推定在多个所述真空泵的任一个发生异常。
3.如权利要求1所述的泵监视装置，其特征在于，
所述泵转子由磁轴承以磁悬浮的方式支撑，
基于所述磁轴承的磁轴承控制量对表示所述旋转状态的信号进行计算。
4.如权利要求1所述的泵监视装置，其特征在于，
具备输入部，所述输入部从一个以上的真空处理装置被输入表示多个所述真空泵的所述旋转状态的信号，所述真空处理装置具备对腔室进行真空排气的多个真空泵，
对每个所述真空处理装置推定在多个所述真空泵的任一个发生异常。
5.一种真空处理装置，其特征在于，具备：
腔室；
多个真空泵，对所述腔室进行真空排气；
如权利要求1所述的泵监视装置。
6.一种真空泵，其特征在于，具备：
如权利要求1所述的泵监视装置；
泵转子，由电机驱动旋转；
输入部，被输入表示来自其他真空泵的旋转状态的信号，
所述泵监视装置将表示所述泵转子的旋转状态的信号与从所述输入部所输入的表示旋转状态的信号相比较，从而对泵异常进行推定。