切割研磨机用的内循环液封式真空泵的制作方法

本实用新型有关于一种针对半导体产业中的切割研磨机所使用的冷却系统，尤指一种利用冷却系统结合冰水槽与真空泵合成一体的切割研磨机用的内循环液封式真空泵。

背景技术：

由于台湾是世界排名第十八位的缺水地区。在一般人的印象里，台湾平均每年有二千多毫米的雨量，应该是水资源不虞匮乏的地区；但是因为台湾地狭人稠、山坡陡峭、雨势集中，再加上河川短促，所以大部分的雨水都迅速地流入海洋。因此，台湾每人每年平均可以分配到的水量，只有全世界平均雨量的七分之一而已，换算成每人每年可用水量大约只有一千公吨(1,000立方公尺)，以目前世界可用水量的标准来说，台湾属于缺水地区。

请一起参阅图1，鉴于半导体产业中的切割研磨机所使用的液封式真空泵A利用液体B当作活塞，其中衍生出种种效率问题、水资源问题以及场地问题，如叶轮转动时，液体B被抛向外围形成移动的液封环，液封环内部中空，因为叶轮C相对于机体D是偏心运转，因此叶轮C转动时，在吸气口E位置逐渐离开液封环，两叶片间空间逐渐增大而吸入气体，当叶轮C转到排气口F位置时，再度进入液封环，两叶片间空气逐渐缩小，压缩气体并由排气口F排出，如此周而复始；过程中液体受到挤压产生温升而影响效率，持续排出温水却进而造成水资源浪费，利用恒温水槽、冰水机组或冷却水塔以冷却并回收利用，但受到一定的场地条件限制以及额外用电经费。

技术实现要素：

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种具有冷却系统的液封式真空泵，以控制液体的温度范围。

为达上述目的，本实用新型提供一种切割研磨机用的内循环液封式真空泵，包含有一泵系统、以及链接于该泵系统的一冷却系统。该泵系统包含有一机组框架、一设置于该机组框架内部的液封式真空泵。该冷却系统，设置于该机组框架内部，该冷却系统包含有一连接于该液封式真空泵并由冷却盘管控制水温的冰水槽、以及一连接于板式冷凝器并由电控箱带动作动的压缩机，该液封式真空泵内的水温可由该冷却系统控制，并使其维持在一范围内。

进一步地，该机组框架底下设有四只车轮，顶部设有吊环。

进一步地，该电控箱上设有一控制面板及室温感温棒，侧方设有一电源孔，顶部设有一电控箱盖。

进一步地，该板式冷凝器旁设有排风散热口。

进一步地，该冰水槽旁设有通风口，一侧设有排水口连结水槽排水口，一侧设有液位计连结该冰水槽，一侧设有补水口及水槽溢流口。

进一步地，该液封式真空泵旁设有真空吸入口，一侧设有冷却水入水口及冷却水出水口连结该板式冷凝器。

进一步地，该冰水槽内设有该冷却系统的冷却盘管。

因此，本实用新型的若干实施例与现有技术相比具有以下的有益技术效果：

1.本实用新型提供一种由冷却系统控制液封式真空泵的液体温度。

2.本实用新型可将液封式真空泵与冷却系统合并自成一体，以提高其机动性，改善场地限制的不便。

3.本实用新型可由冷却系统回收水冷却再利用，以达到节约水资源的目的。

附图说明

图1，为本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵的现有技术示意图；

图2，为本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵的外观示意图；

图3，为本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵的结构配置示意图；

图4，为本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵的侧面示意图(一)；

图5，为本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵的侧面示意图(二)；

图6，为本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵的侧面示意图；

图7，为本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵的方块示意图。

附图中标号：

A 液封式真空泵

B 液体

C 叶轮

D 机体

E 吸气口

F 排气口

100 切割研磨机用的内循环液封式真空泵

10 泵系统

11 机组框架

111 车轮

112 吊环

113 通风口

114 排水口

115 液位计

116 补水口

117 真空吸入口

12 液封式真空泵

121 泵排出口

122 泵入水口

123 泵吸入口

131 冷却水入水口

132 冷却水出水口

20 冷却系统

21 冰水槽

211 水槽入水口

212 水槽供水口

213 水槽排气口

214 水槽排水口

215 水槽溢流口

22 电控箱

221 控制面板

222 室温感温棒

223 电源孔

224 电控箱盖

23 板式冷凝器

231 排风散热口

24 压缩机

241 压缩机进出口

具体实施方式

有关本实用新型的详细说明及技术内容，现结合附图说明如下。另外，本实用新型中的附图，为说明方便，其比例未必按实际比例绘制，而有夸大的情况，该类附图及其比例不用于限制本实用新型的范围。

请先参阅图2，本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵100的外观示意图，如图所示：

本实用新型提供一种切割研磨机用的内循环液封式真空泵100，该切割研磨机用的内循环液封式真空泵100由冷却系统20保持冰水槽21内的水温，在该冰水槽21设置链接至泵系统10的管路以降低循环水的温度及供给冰水，以电控箱22控制该冷却系统20以决定该冰水槽21内保持温度范围，将所有组件装置于机组框架11内部，以达到高效率、高机动性以及不浪费水资源的目的。

接着，以下针对本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵100的详细构造进行更进一步的说明，请一起参阅图3及图5，本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵100的结构配置示意图及侧面示意图(一)、(二)，以及请一起参阅图6，本实用新型液封式真空泵12的侧面示意图，如图所示：

本实用新型的切割研磨机用的内循环液封式真空泵100主要包含有一泵系统10、以及一链接于该泵系统10的冷却系统20。该泵系统10包含有一机组框架11、一设置于该机组框架11内部的液封式真空泵12。该冷却系统20，设置于该机组框架11内部，该冷却系统20包含有一连接于该液封式真空泵12并由冷却盘管(图未示)控制水温的冰水槽21、以及一连接于板式冷凝器23并由电控箱22带动作动的压缩机24。

所述的机组框架11底下设有四只车轮111，顶部设有吊环112。该电控箱22上设有一控制面板221及室温感温棒222，侧方设有一电源孔223，顶部设有一电控箱盖224。该板式冷凝器23旁设有排风散热口231。该冰水槽21旁设有通风口113，一侧设有排水口114连结水槽排水口214，补水口116及水槽溢流口215及液位计115连结该冰水槽21。该液封式真空泵12旁设有真空吸入口117连结泵吸入口123，一侧设有冷却水入水口131及冷却水出水口132连结该板式冷凝器23。该冰水槽21内设有该冷却系统20的冷却盘管。

所述的液封式真空泵12与该冰水槽21装设于该机组框架11内合并自成一体，该液封式真空泵12是以液体当作活塞，该冰水槽21利用该冷却系统20中的该冷却盘管控制该冰水槽21内平均水温度，过程中该冷却盘管由该压缩机24压缩冷媒至该板式冷凝器23，该板式冷凝器23以冷却水与冷媒做冷凝热交换，冷媒经过膨胀阀膨胀后进而送至该冷却盘管控制该冰水槽21内温度，再送回压缩机进出口241重复循环进行该冷却盘管的冷却。

所述的切割研磨机用的内循环液封式真空泵100包括循环管路以将各部机件连接，管路内有冰水来回循环，在管路一端泵排出口121连接至水槽入水口211以回收该液封式真空泵12同时排出的冰水及气体至该冰水槽21内，而冰水与气体在该冰水槽21内做液气分离后，气体由水槽排气口213排出，液体则在该冰水槽21内由该冷却系统20中的该冷却盘管冷却降温进而提供冰水至该液封式真空泵12达真空效率。

接续，请一起参阅图7，本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵100的方块示意图，如图所示：

所述的切割研磨机用的内循环液封式真空泵100机组动作，在启动该液封式真空泵12后，分别检查该冰水槽21内水位以及设定该冰水槽21内温度范围，机组当中该冰水槽21由浮球检测水位，当水位过低时便由蜂鸣器启动声响提示应由补水口116加水，反之，水位过高时也由该水槽溢流口215自动排出，若该机组长时间使用后，该冰水槽21内累积过多杂质也可从该水槽排水口214排出，清理更换该冰水槽21内的冰水。

由所述的电控箱22设定该冰水槽21温度范围后启动该冷却系统20冷却该冰水槽21内的水温，而电子温度计设置于槽内中央测量平均水温，若该冷却系统20冷却该冰水槽21内水温低过设定温度范围后，随即由电子温度计传送信号至该电控箱22停止该冷却系统20运转，该液封式真空泵12持续运转下排出温水使其该冰水槽21内水温回升至设定温度范围内，停止该冷却系统20时间越久，该冰水槽21内水温则越高，若该冰水槽21内水温高过设定温度范围，则传送信号至该电控箱22启动该冷却系统20运转再次冷却该冰水槽21内水温，以上述如此动作控制槽内水温在设定范围内。

综上所述，本实用新型由泵系统与冷却系统的相互搭配，使其水温设定至范围内。其次，本实用新型切割研磨机用的内循环液封式真空泵，可使其液体在内部循环，以减少水资源的浪费。

以上已对本实用新型进行了详细说明，上述仅为本实用新型的一较佳实施例而已，并不能以此限定本实用新型实施的范围，即凡依本实用新型申请专利范围所作的均等变化与修饰，皆应仍属本实用新型的专利涵盖范围内。