一种气体分配装置的制作方法

文档序号:17823649发布日期:2019-06-05 22:28阅读:260来源:国知局
一种气体分配装置的制作方法

本实用新型涉及一种使气体通入指定出口的分配装置。



背景技术:

现有的气体分配装置存在密封不严、漏气、串气的问题,且设备加工精度要求高。现有的气体分配装置一般包括筒体21、进气管22、单孔转子23和多孔定子24,如图1和2所示,气体由进气管22进入筒体21内部,当单孔转子23未旋转时,气体不排出,当单孔转子23旋转指定角度时,如图2的旋转角度示意图,单孔转子23的孔对应多孔定子24的一个孔,此时形成通路,从而使气体通入指定的出口内。单孔转子23再次旋转时,对应多孔定子24的下一个孔,与下一个孔形成通路,依次旋转,完成气体分配工作。

但实际工作过程中单孔转子23旋转后,单孔转子23与多孔定子24经常出现无法贴合严密,出现缝隙。使得气体由缝隙通入多孔定子24的其他孔内,产生密封不严、漏气、串气的问题,无法满足密封性能,达不到性能要求。且单孔转子23与多孔定子24的贴合面积大,加工精度要求高,难度大,费用高。



技术实现要素:

本实用新型的目的是要解决气体分配装置出现密封不严、漏气、串气的问题,以及设备加工精度要求高的问题,而提供一种密封性能可靠、易于加工的气体分配装置。

本实用新型气体分配装置包括电机、减速机、分配器定子、进气口、多个出气口、上盖、转子、密封板螺丝、弹簧和密封板,减速机与电机相连,上盖和分配器定子分别盖设在圆形气室壁的顶部敞口和底部敞口形成密闭的气室,在气室的圆形气室壁上开有进气口,在分配器定子上开有多个出气口,多个出气口呈圆环形排列;

在分配器定子的上表面设置有圆形的转子,在转子上开有一个转子孔和多个安装孔,安装孔的数量与出气口的数量相同,转子孔和多个安装孔呈圆环形排列,在每个安装孔内设置有密封板,密封板的上表面开有螺纹孔,密封板螺丝从转子的上表面插入安装孔中,密封板螺丝与密封板螺纹连接,密封板与安装孔的上孔壁之间设置有弹簧,压缩的弹簧使密封板的下板面与分配器定子的上表面紧密贴合;

定子转轴从上盖圆心处的中心孔穿入气室中并与转子相连,减速机驱动定子转轴旋转运动。

本实用新型所述的气体分配装置包括以下有益效果:

1、安装孔内的密封板在弹簧的顶压下,使得密封板能与分配器定子始终紧密贴合,保证了气体分配器在不工作时的密封性能,并避免了气体分配器工作时发生漏气、串气的问题。

2、降低了设备加工精度要求,降低了加工难度,减少制造成本。

附图说明

图1是现有气体分配装置的结构示意图;

图2是图1中A-A截面的结构示意图;

图3是本实用新型气体分配装置的整体结构示意图;

图4是气室内的结构示意图;

图5是转子的结构示意图;

图6是气体分配装置在非配气工况下的结构示意图;

图7是气体分配装置在配气工况下的结构示意图。

具体实施方式

具体实施方式一:本实施方式气体分配装置包括电机2、减速机3、分配器定子4、进气口5、多个出气口6、上盖8、转子10、密封板螺丝13、弹簧14和密封板15,减速机3与电机2相连,上盖8和分配器定子4分别盖设在圆形气室壁的顶部敞口和底部敞口形成密闭的气室16,在气室16的圆形气室壁上开有进气口5,在分配器定子4上开有多个出气口6,多个出气口6呈圆环形排列;

在分配器定子4的上表面设置有圆形的转子10,在转子10上开有一个转子孔10-1和多个安装孔,安装孔的数量与出气口6的数量相同,转子孔10-1和多个安装孔呈圆环形排列,在每个安装孔内设置有密封板15,密封板15的上表面开有螺纹孔,密封板螺丝13从转子10的上表面插入安装孔中,密封板螺丝13与密封板15螺纹连接,密封板15与安装孔的上孔壁之间设置有弹簧14,压缩的弹簧14使密封板15的下板面与分配器定子4的上表面紧密贴合;

定子转轴从上盖8圆心处的中心孔穿入气室16中并与转子10相连,减速机3驱动定子转轴旋转运动。

具体实施方式二:本实施方式与具体的实施方式一不同的是定位箱1与减速机3连接,通过定位箱1控制转子10的旋转角度。

具体实施方式三:本实施方式与具体的实施方式一或二不同的是在分配器定子4上开有6~20个出气口6。

具体实施方式四:本实施方式与具体的实施方式一至三之一不同的是圆形气室壁与上盖8之间设置有密封垫9。

具体实施方式五:本实施方式与具体的实施方式一至四之一不同的是上盖8中心孔的周向上开有凹槽,在凹槽内由下至上依次设置有上套12和盘根11,压盖7套设在定子转轴外部并通过螺栓紧固在上盖8的上盖面上,压盖7的下盖面紧压盘根11。

本实施方式紧固后的压盖压紧盘根,使上盖与转子之间形成密封。

具体实施方式六:本实施方式与具体的实施方式一至五之一不同的是定子转轴从上盖8圆心处的中心孔穿入气室16中并与转子10相焊接。

实施例:本实施例气体分配装置包括电机2、减速机3、分配器定子4、进气口5、多个出气口6、上盖8、转子10、密封板螺丝13、弹簧14和密封板15,上盖8和分配器定子4分别盖设在圆形气室壁的顶部敞口和底部敞口形成密闭的气室16,在气室16的圆形气室壁上开有进气口5,在分配器定子4上开有多个出气口6,多个出气口6呈圆环形排列;

在分配器定子4的上表面设置有圆形的转子10,在转子10上开有一个转子孔10-1和多个安装孔,安装孔的数量与出气口6的数量相同,转子孔10-1和多个安装孔呈圆环形排列,在每个安装孔内设置有密封板15,密封板15的上表面开有螺纹孔,密封板螺丝13从转子10的上表面插入安装孔中,密封板螺丝13与密封板15螺纹连接,密封板15与安装孔的上孔壁之间设置有弹簧14,压缩的弹簧14使密封板15的下板面与分配器定子4的上表面紧密贴合;

定子转轴从上盖8圆心处的中心孔穿入气室16中并与转子10相连,减速机3驱动定子转轴旋转运动,上盖8中心孔的周向上开有凹槽,在凹槽内由下至上依次设置有上套12和盘根11,压盖7套设在定子转轴外部并通过螺栓紧固在上盖8的上盖面上,压盖7的下盖面紧压盘根11。

本实施例分配器定子4的圆心处的凹槽内设置有铜环,定子转轴插套在铜环内。密封板15下表面突出转子10下表面一定高度。

本实施例电机2通电后启动,带动减速机3开始旋转,减速机3带动转子10开始旋转,由定位箱1控制旋转角度,当达到分配器定子4的第一个出气口6时,定位箱1给与信号至PLC,由PLC指令电机2停止,此时进气口5与第一个出气口6相通,气体可以经进气口5由第一个出气口6排出。

本实施例将气体由入口通入指定的一个出口的分配装置工作过程如下:

非配气工况下,分配器定子4上的所有出气口6均被密封板15压住,保持密封;分配器工作时,由电机2带动减速机3转动,再由减速机3驱动转子10旋转,由定位箱1精确控制转子10的旋转角度,使转子10上的转子孔10-1与分配器定子4上的某一出气口6对应,其余出气口6仍被密封板15压住,使气体只能从特定的出气口6流出,而不能串入其余的出气口6中。出气完成后,转子10再通过定位箱1精确控制旋转至下一角度,使转子10上的转子孔10-1与分配器定子4上的下一出气口6对应,依次类推,如图7所示,完成各出气口6的进气流程,最后由定位箱1精确控制停在非配气工位,如图6所示。

无论配气工况下还是非配气工况下,以上所述的密封板15在弹簧14的顶推下,均能与分配器定子4紧密贴合,即使转子10与定子4产生缝隙,也不会影响密封板15与分配器定子4的密封,保证了气体分配器非配气工况时的密封性能并解决了气体分配器工作时发生漏气、串气的问题。同时降低了转子10的加工精度要求,降低了设备加工难度,减少了制造成本。

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