1.一种流量控制器,其特征在于,具备:
主流路(34),该主流路使供给至气缸(12)的高压空气和从所述气缸排出的排放空气通过;
副流路(36),该副流路与所述主流路并列设置;
排气流量调节部(42),该排气流量调节部设于所述副流路,对在所述副流路流动的所述排放空气的流量进行调节;
切换阀(38),该切换阀连接在所述气缸、所述主流路以及所述副流路之间,并在使所述气缸与所述主流路连通的第一位置和使所述气缸与所述副流路连通的第二位置之间进行切换;以及
先导空气调节部(44),该先导空气调节部对从所述第一位置到所述第二位置的切换之前的时间进行调节;
所述切换阀由滑阀形成,该滑阀通过来自所述主流路的先导压而切换至所述第一位置,并且通过所述先导压的降低而复位至所述第二位置,所述先导空气调节部具备限制所述切换阀的先导空气的流出速度的节流阀(44a)。
2.根据权利要求1所述的流量控制器,其特征在于,具有:
壳体(46、46a、46b),该壳体收容所述切换阀,并具有与所述主流路连接的阀端口(38b)、与所述副流路连接的排气端口(38c)、与所述气缸连接的气缸端口(38a)以及供所述先导空气导入的先导端口(38d);
滑柱引导部(48a),该滑柱引导部形成在所述壳体内,并具有与所述阀端口连通的第一连通槽(56a)、与所述排气端口连通的第二连通槽(56b)以及形成在所述第一连通槽与所述第二连通槽之间且与所述气缸端口连通的第三连通槽(56c);
滑柱(52),该滑柱可沿轴向滑动地配设于所述滑柱引导部,并且形成有在所述第一位置时阻止所述第二连通槽与所述第三连通槽的连通的第一密封壁(58a)、在所述第二位置时阻止所述第一连通槽与所述第三连通槽的连通的第二密封壁(58b)以及形成在所述第一密封壁与所述第二密封壁之间并且使所述第一连通槽或所述第二连通槽与所述第三连通槽连通的凹部(58c);
驱动活塞(60),该驱动活塞与所述先导端口连通,在规定的先导压的作用下对所述滑柱沿轴向施力,由此使所述滑柱向所述第一位置位移;以及
施力部件(59),该施力部件(59)对所述滑柱向与所述驱动活塞相反的方向施力,使所述滑柱复位到所述第二位置。
3.根据权利要求2所述的流量控制器,其特征在于,
在所述第一位置时,通过所述滑柱的所述凹部与所述滑柱引导部的所述第一连通槽形成的流路的截面积等于或大于所述主流路的截面积。
4.根据权利要求2或3所述的流量控制器,其特征在于,
所述先导空气调节部设置在流路(62)上,该流路在所述壳体的内部设置在所述先导端口与所述驱动活塞之间。
5.根据权利要求2~4中任意一项所述的流量控制器,其特征在于,
还具有动作速度调节部(40、72),该动作速度调节部设于所述主流路,通过调节在所述主流路流动的所述高压空气或所述排放空气的流量来调节所述气缸的动作速度。
6.根据权利要求5所述的流量控制器,其特征在于,
所述动作速度调节部(40)具备:节流阀(40a),该节流阀设于所述主流路;以及止回阀(40b),该止回阀与所述节流阀并列地连接,阻止朝向所述气缸的高压空气而使从所述气缸排放的排放空气通过。
7.根据权利要求5所述的流量控制器,其特征在于,
所述动作速度调节部(72)具备:节流阀(72a),该节流阀设于所述主流路;以及止回阀(72b),该止回阀与所述节流阀并列地连接,阻止从所述气缸排放的排放空气而使朝向所述气缸的高压空气通过。
8.根据权利要求7所述的流量控制器,其特征在于,
在所述壳体(46a)设置有复位辅助流路(74),该复位辅助流路使收容所述施力部件的施力部件收容室(59a)与所述气缸端口连通。
9.根据权利要求2~8中任意一项所述的流量控制器,其特征在于,
所述壳体(46b)还具备:排气流路(86),该排气流路具有代替所述排气端口来排出所述排放空气的排气口(88),并且连接所述第二连通槽与所述排气口;以及排气流量调节部(84),该排气流量调节部设于所述排气流路的中途,并且限制所述排放空气的流量。
10.一种驱动装置,其特征在于,具备:
高压空气供给源(18),该高压空气供给源向气缸供给高压空气;
排气口(20),该排气口对从所述气缸排放的排放空气进行排气;
主流路,该主流路与所述气缸连接,并使所述高压空气和所述排放空气流通;
副流路,该副流路与所述主流路并列设置,且与排气口连通;
动作切换阀(16),该动作切换阀连接在所述高压空气供给源、所述排气口以及所述主流路之间,并进行切换使所述高压空气供给源或所述排气口与所述主流路连通;以及
流量控制器,该流量控制器具有排气流量调节部、切换阀以及先导空气调节部,所述排气流量调节部对在所述副流路流动的所述排放空气的流量进行调节,所述切换阀连接在所述气缸、所述主流路以及所述副流路之间,并在使所述气缸与所述主流路连通的第一位置和使所述气缸与所述副流路连通的第二位置之间进行切换,所述先导空气调节部对从所述第一位置到所述第二位置的切换之前的时间进行调节,所述切换阀由滑阀形成,该滑阀通过来自所述主流路的先导压而切换至所述第一位置,并且通过所述先导压的降低而复位至所述第二位置,所述先导空气调节部具有限制所述切换阀的先导空气的流出速度的节流阀。