便携式分子泵机组的制作方法

本发明涉及真空技术领域，具体地，涉及一种便携式分子泵机组。

背景技术：

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。目前分子泵的尺寸和重量均偏大，并不适用于小型机组。

经过检索，专利文献cn208858600u公开了一种防水型分子泵机组，机械泵和分子泵连接，均安装在防水机组外壳内。防水机组外壳的相对两侧壁上均设置有若干个防水对流口。分子泵的抽气口穿过防水机组外壳的一侧壁，并且该侧壁上还设置有散热风扇、排气口、电源插座、油液观察窗；在与该侧壁相对的另一侧壁上设置有显示屏，显示屏外设置有可向上旋转掀起打开的有机玻璃防水罩，该有机玻璃防水罩上设置有防水罩把；抽气口的末端设置有抽气口密封压板。防水机组外壳的顶部安装有两个提手，底部四角处均安装有带刹车万向轮。提出了将机械泵和分子泵均安装在机壳内的机组结构，其外观为立方体，带提手和脚轮，适合在野外使用，同样不适用于实验室环境。

专利文献cn103994085a公开了一种可测压比的嵌入式分子泵，包括壳体、转子，在壳体的顶部设置有端面法兰，在壳体和转子之间设置第一级分子泵，第一级分子泵顶部连接盘状第三级分子泵，在第三级分子泵的装配槽内安装第二级分子泵，端面法兰和第三级分子泵连接。在壳体的下部外侧设置有入口测压装置，在端面法兰的顶端分别连接有第一级分子泵出口测压装置、第二级出口测压装置和第三级出口测压装置。该现有技术虽然解决了连续引压的难题，但是嵌入式分子泵体积庞大，并不能便携。

技术实现要素：

针对现有技术中的缺陷，本发明的目的是提供一种便携式分子泵机组。

根据本发明提供的一种便携式分子泵机组，包括：分子泵、隔膜泵、模拟量真空计、机组机箱、触摸屏控制器和减振器组件，其中，分子泵安装在机组机箱的上方；隔膜泵包裹安装在机组机箱的后部；减振器组件安装在隔膜泵的下方；模拟量真空计与分子泵相连；触摸屏控制器安装在机组机箱的前部；

当所述便携式分子泵机组处于自动控制模式下，触摸启动键后，机组自动开始运行隔膜泵，模拟量真空计开始测量真空度，待真空系统达到分子泵的启动压强时，系统自动启动分子泵继续抽真空；

当所述便携式分子泵机组处于手动控制模式下，需要手动控制分子泵和隔膜泵的启动和停机，在真空度不达标时，则无法启动分子泵和隔膜泵。

优选地，隔膜泵与分子泵之间通过连接件连接，在模拟量真空计的监测下，能够实时测量分子泵的前级压力。

优选地，机组机箱包括机箱壳体、隔膜泵支架和骨架内件，隔膜泵支架设置在机箱壳体的下部，骨架内件设置在机箱壳体的上部，位于分子泵的下方。

优选地，还包括前面板和盖板，机箱壳体采用半封闭式设计，机箱壳体的一侧设有开口；机箱壳体的开口处前部设置有前面板，机箱壳体的开口处顶部设置有盖板。

优选地，减振器组件包括减振器、减振环和转接板，减振器组件安装在机箱壳体的隔膜泵支架内部；减振环嵌套在隔膜泵支架上；转接板上设置有减振器；减振器嵌入减振环的内孔中；转接板的中间位置与隔膜泵支架相连。

优选地，隔膜泵设置在转接板上，当隔膜泵工作时，振动传递到转接板上，减振器和减振环进行相对滑动和阻尼消耗。

优选地，机组机箱的侧截面呈直角梯形状。

优选地，还包括报警器，报警器设置在减振器组件的骨架内件上。

优选地，还包括信号调理板和电源，电源设置在机组机箱的机箱壳体底部，位于触摸屏控制器的下方。

优选地，盖板的上方设置有小板，小板上设置多个不同的孔位，能够安装不同的分子泵。

与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：

1、本发明采用桌台型结构设计，使得分子泵机组的结构紧凑，能够放置在实验室的实验桌上，用于小型科学仪器和试验设备的抽真空。

2、本发明人采用一键式操作流程和智能化的控制设计，可以方便非真空专业技术的人员使用，并进行若干试验数据的导出。

3、本发明采用智能化设计，能够进行真空度实时监测、故障报警和蜂鸣、手机监控等。

4、本发明通过采用减振器组件，使减振器与减振环进行相对滑动和阻尼消耗，实现对隔膜泵的减振。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为便携式分子泵机组的整体结构示意图；

图2为便携式分子泵机组的侧视图；

图3为便携式分子泵机组的机箱示意图；

图4为便携式分子泵机组中减震器组件的结构示意图。

图中：

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明，但不以任何形式限制本发明。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本发明的保护范围。

如图1、图2、图3所示，本发明提供的一种便携式分子泵机组，包括分子泵1、隔膜泵2、模拟量真空计3、机组机箱4、触摸屏控制器5、减振器组件6、信号调理板7、电源8、报警器9、前面板13和盖板14，

其中，分子泵1安装在机组机箱4的上方；隔膜泵2包裹安装在机组机箱4的后部；减振器组件6安装在隔膜泵2的下方；模拟量真空计3与分子泵1相连；触摸屏控制器5安装在机组机箱4的前部。隔膜泵2与分子泵1之间通过连接件连接，在模拟量真空计3的监测下，能够实时测量分子泵的前级压力。

进一步来说，机组机箱4包括机箱壳体10、隔膜泵支架11和骨架内件12，隔膜泵支架11设置在机箱壳体10的下部，骨架内件12设置在机箱壳体10的上部，位于分子泵1的下方。机箱壳体10采用半封闭式设计，机箱壳体10的一侧设有开口；机箱壳体10的开口处前部设置有前面板13，机箱壳体10的开口处顶部设置有盖板14。盖板14的上方设置有小板，小板上设置多个不同的孔位，能够安装不同的分子泵。

再进一步来说，报警器9设置在减振器组件6的骨架内件12上。电源8设置在机组机箱4的机箱壳体10底部，位于触摸屏控制器5的下方。

如图4所示，减振器组件6包括减振器15、减振环16和转接板17，减振器组件6安装在机箱壳体10的隔膜泵支架11内部；减振环16嵌套在隔膜泵支架11上；转接板17上设置有减振器15；减振器15嵌入减振环16的内孔中；转接板17的中间位置与隔膜泵支架11相连。

更进一步来说，机组机箱4使用铝合金钣金件制造半封闭式机箱壳体10，为3块铝合金钣金件焊接成形，一侧开口；机组机箱4使用折弯钢板制造隔膜泵支架11、使用折弯钢板制作骨架内件12对机箱壳体10进行支撑。

本发明的优选例，作进一步说明。

基于上述基础实施例，减振环采用柱塞式橡胶环，减振器采用橡胶减振器，转接板采用铝合金材质。优选地，隔膜泵支架11上嵌套4个柱塞式橡胶环，铝合金转接板的四角安装4个橡胶减振器，橡胶减振器深入柱塞式橡胶环的内孔中，铝合金转接板的中间位置通过一对螺钉与隔膜泵支架11连接。

本发明的变化例，作进一步说明。

基于上述基础实施例，配套的隔膜泵2与分子泵1之间通过连接件连接中的连接件可以选择橡胶软管，也可以选择pvc管。

本发明的所有操作均可在触摸屏上完成，具有隔膜泵和分子泵启停/运行状态显示、真空度实时监测、故障报警和蜂鸣、数据存储和u盘导出、rs485和以太网通讯、手机监控等功能。

工作原理：

将便携式分子泵机组置于桌台上，使用波纹管连接分子泵机组的分子泵1进气口和需要抽真空的腔室，做好真空密封后即可开始抽真空的操作。

分子泵机组开机后可使用自动控制和手动控制两种方式，这两种方式在开机后可在触摸屏的显示界面进行切换。自动控制模式下，用户在手指触摸“启动”后，机组自动开始运行隔膜泵，真空计开始测量真空度，待真空系统达到分子泵的启动压强时，系统自动启动分子泵继续抽真空，整个过程无需用户再进行操作；关机时同样只需要用户触摸“关闭”后，便可由系统程序控制分子泵和前级隔膜泵的依次关闭。手动模式下，用户需手动控制分子泵和前级泵的启动和停机，且启停具有互锁功能，在真空度不达标时，无法启动分子泵1或关闭前级隔膜泵2。当真空度出现异常时，机组的控制系统会进行报警，在异常超出设置限度时，系统会自动停机并进行短信报警通知用户。

由于使用桌台型的结构设计，使得机组的结构紧凑，可以放置在实验室的实验桌上，用于小型科学仪器和试验设备的抽真空，另一方面，一键式的操作流程和智能化的控制设计，可以方便非真空专业的人员使用，并进行若干试验数据的导出。

以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本发明的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。