1.一种带有制冷设备的机械真空泵机组，其特征在于，包括：
三级罗茨真空泵组，各级罗茨真空泵组中均由多个并联管路连接的罗茨真空泵；各级罗茨真空泵组由前到后依次串联管路连接，形成气体流通通道；
前端的第一级罗茨真空泵组(1)通过管路与真空罐(4)相连接，用于抽吸所述真空罐(4)中的气体；
气体冷却器(9)，串联连接在第二级罗茨真空泵组(7)和第三级罗茨真空泵组(11)间的串联管路上；所述气体冷却器(9)用于将由二级罗茨真空泵组(7)输出的气体降温，并将降温后的气体输送至三级罗茨真空泵组(11)中；
前级真空泵组(13)，由多个并联管路连接的真空泵组成，其入口与第三级罗茨真空泵组(11)的出口管路连接，其出口排空；用于抽吸气体并排入大气。
2.根据权利要求1所述的一种带有制冷设备的机械真空泵机组，其特征在于，还包括：
蓄水罐(17)，其内用于盛装1～20℃的低温水，分别与一级罗茨真空泵组(1)、二级罗茨真空泵组(7)、三级罗茨真空泵组(11)和气体冷却器(9)冷却水进口管路连接，用于输送低温水；
制冷机(16)，其低温水的进口与一级罗茨真空泵组(1)、二级罗茨真空泵组(7)、三级罗茨真空泵组(11)和气体冷却器(9)的冷却水出口均相连接；其低温水出口与所述蓄水罐(17)的进口管路连接，以形成低温水循环回路；且在低温水出口提供1～20℃的低温水；
冷却塔(15)，与所述制冷机(16)冷却水通道的进口和出口均分别管路连接，形成冷却水通道，用于对低温水降温。
3.根据权利要求2所述的一种带有制冷设备的机械真空泵机组，其特征在于，所述蓄水罐(17)还与各风机盘管(18)的低温水进口均相连接，用于向各所述风机盘管(18)输送低温水；各所述风机盘管(18)的低温水出口与所述制冷机(16)的低温水进口管路连通。
4.根据权利要求3所述的一种带有制冷设备的机械真空泵机组，其特征在于，各级罗茨真空泵组中的各罗茨真空泵的进气端，以及前级真空泵组(13)中的各前级真空泵的进气端均各连通有一水平设置的管道，相邻的两组间，前一组中的各泵的出气端与下组中的管道相连通。