一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵的制作方法

本实用新型属于真空泵的技术领域，具体而言，涉及一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵。

背景技术：

一般而言，一款真空泵一旦制造出来，其真空度便会固定在一个范围内，无法自动调节，若要调节真空度一般是通过更换真空泵实现，但其成本太高。

目前调节真空度采取的常用办法是在真空泵进气口加装一个精密泄压阀，其原理是：打开泄压阀，外界气体进入真空泵，降低真空度，具体结构如图1所示，采用该方案的缺点是：

(1)泄压阀一般为手动控制，控制真空度不能精确；

(2)外部气体会进入泵体，对真空泵负载大为增加，在增加功耗成本的同时，还会降低真空泵使用寿命；

(3)对特殊工艺而言(比如硅烷气体)不允许外部空气直接进入进气口，否则会导致硅烷与空气反应后发生爆炸，只能外接特殊工艺气体来调真空度，工艺成本大大增加；

(4)存在安全隐患，若工艺气体为有毒有害气体，若外接精密泄压阀(4)有泄漏的风险，导致安全事故的发生。

技术实现要素：

鉴于此，为了解决现有技术存在的上述问题，本实用新型的目的在于提供一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵以达到能对真空泵的真空度在各个级别范围进行精确控制，并提高使用安全性和使用寿命的目的。

本实用新型所采用的技术方案为：一种适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，所述真空泵包括：

真空泵腔体，所述真空泵腔体内设有各级腔体且各级腔体为相互独立的密封空间；

与真空泵腔体连通的排气管路；

分别连通于各级腔体之间的单向阀，各所述单向阀的气流方向与所述排气管路的气流方向相适配；

分别与各级腔体连通的进气支管，各所述进气支管上设有阀门并通过各个阀门的启闭状态组合产生不同的真空度。

进一步地，所述真空泵腔体内设有多个隔板，通过各个隔板将真空泵腔体分隔成各级腔体。

进一步地，各所述单向阀分别设于各个隔板上，并通过各个单向阀将各级腔体单向连通，以防止在需要获取不同真空度需求时，防止其他非必要腔体的气流出现倒灌的现象。

进一步地，各所述进气支管连通于同一进气管，该进气管连接有进气源。

进一步地，所述阀门采用电磁阀，电磁阀的启闭可由信号执行。

进一步地，所述真空泵还包括：

控制器，所述控制器分别与各所述电磁阀之间电性连接，在控制器的作用下，实现真空度的全自动精确控制。

进一步地，所述真空泵腔体内设有与其同轴且转动设置的主轴，主轴上设有多段转子，且各段转子分别布置在各级腔体内。

本实用新型的有益效果为：

1.采用本实用新型所提供的适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，其通过对真空泵腔体内部进行分隔，对各个分区内的进汽量进行全自动控制，进而能够实现对真空度的各级别范围进行精确控制。

2.采用本实用新型所提供的适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，通过各个阀门的启闭状态组合产生不同的真空度，能够最大程度根据需求调节真空度，减少真空泵的负载，降低功耗成本，同时最大程度降低工艺成本，延长保养周期和使用寿命。

3.采用本实用新型所提供的适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，其能够适用于所有应用和所有特殊工艺，且整个真空泵在运行过程中为全封闭系统，不存在有害气体泄漏的风险，具有安全性高的优点。

附图说明

图1是现有真空泵解决方案的结构示意图；

图2是本实用新型所提供的适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵的整体结构示意图；

附图中标注如下：

1-真空泵腔体，2-进气管，3-排气管路，4-泄压阀，5-电动马达，6-控制器，7-主轴，8-隔板，9-单向阀，10-第一电磁阀，11-第二电磁阀，12-第三电磁阀，13-第四电磁阀，14-一级腔体，15-二级腔体，16-三级腔体，17-四级腔体。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，或者是本领域技术人员惯常理解的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型实施例的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义；实施例中的附图用以对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

实施例1

在本实施例中具体提供了适用于多行业且可自动调节真空度的真空泵，通过该真空泵旨在能对真空泵的真空度在各个级别范围进行精确控制，并提高使用安全性和使用寿命的目的，如图2所示，所述真空泵的具体设计如下：

真空泵系统的主体结构为真空泵腔体1，通过在真空泵腔体1内设有多个隔板8，通过各个隔板8将真空泵腔体1分隔成各级腔体，各个隔板8均采用密封装配的方式设于真空泵腔体1的内部，在实际应用时，可采用焊接的方式将各个隔板8密封焊接于真空泵腔体1的内腔上，且将真空泵腔体1内分为四级腔体17，分别为：一级腔体14、二级腔体15、三级腔体16和四级腔体17。

上述真空泵腔体1由中间腔筒体和密封设于中间腔筒体两端的轴承安装板构成，由于对真空泵腔体1的内部进行了多级分隔，在真空泵腔体1内设有与其同轴且转动设置的主轴7，主轴7的两端均转动设于轴承安装板上且主轴7的一端设有驱动其转动的电机马达，在主轴7上设有多段转子且各段转子分别布置在各级腔体内，在设计时，应当确保各段转子分别与一级腔体14、二级腔体15、三级腔体16和四级腔体17对应匹配，进而转子在主轴7的驱动下能够进行正常转动。

通过各个隔板8将所述真空泵腔体1内分隔为各级腔体且各级腔体为相互独立的密封空间，即：一级腔体14、二级腔体15、三级腔体16和四级腔体17之间是相互独立且相互密封的。为实现对真空度的精确控制，设于分别与各级腔体连通的进气支管，各所述进气支管上设有阀门并通过各个阀门的启闭状态组合产生不同的真空度。在一级腔体14、二级腔体15、三级腔体16和四级腔体17所对应的进气支管上分别设有第一电磁阀10、第二电磁阀11、第三电磁阀12和第四电磁阀13，通过各个电磁阀的通断状态组合来产生不同的真空度。优选的，为进一步提升对进气输送的便利性，将各所述进气支管连通于同一进气管2，该进气管2连接有进气源

设有与真空泵腔体1连通的排气管路3，在本实施例中，将排气管路3连通于四级腔体17的内部，以致使进气管2的进气沿着一级腔体14至四级腔体17的路径进行排放。

分别连通于各级腔体之间的单向阀9，将各所述单向阀9分别设于各个隔板8上，并通过各个单向阀9将各级腔体单向连通，同时，各所述单向阀9的气流方向与所述排气管路3的气流方向相适配；在本实施例中，各个单向阀9的流通方向均是朝向四级腔体17，以满足在第一电磁阀10、第二电磁阀11、第三电磁阀12和第四电磁阀13之间任何的通断组合下，均能够确保进气口的进气能够通过排气管路3排放至大气中。由于在不同腔体之间的隔板8上安装单向阀9，防止在获取不同真空度时，其他非必要腔体的气流倒灌。

为实现在对真空泵的真空度调节时，能够实现全自动控制，在本实施例中还设有预先加载有控制逻辑的控制器6，所述控制器6分别与各所述电磁阀之间电性连接，在第一电磁阀10、第二电磁阀11、第三电磁阀12和第四电磁阀13分别与控制器6的电性连接基础上，通过控制器6控制第一电磁阀10、第二电磁阀11、第三电磁阀12和第四电磁阀13的通断以获得不同程度的真空度，而对于真空度的调节举例说明如下：

当第一电磁阀10打开，第二电磁阀11、第三电磁阀12和第四电磁阀13均关闭的情况下，能够获得最高程度的真空度；

反之，当第一电磁阀10、第二电磁阀11和第三电磁阀12均关闭的情况下，第四电磁阀13打开的情况下，能够获得最低程度的真空度。

本实用新型不局限于上述可选实施方式，任何人在本实用新型的启示下都可得出其他各种形式的产品，但不论在其形状或结构上作任何变化，凡是落入本实用新型权利要求界定范围内的技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。