一种真空泵出口用的消音装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种消音器，具体涉及一种真空泵出口用的消音装置。


背景技术：

2.在半导体行业及面板行业中，制成工艺应用大量真空，该行业中真空泵的特性为大流量、高真空，这就造成了真空泵出口噪音值高达110db以上，严重污染了工作环境。这就需要将真空泵出口的噪音值降低至90db以下，以改善恶劣工作环境，保证人身安全；同时不能产生超高背压导致真空泵负荷增大，还需要适应抽气不同介质条件。因此，以上问题亟需解决。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是提供一种真空泵出口用的消音装置，通过消音棉与扰流板的串联组合进行联合消音，从而提高了消音效果。
4.为解决上述技术问题，本实用新型采取如下技术方案：本实用新型的一种真空泵出口用的消音装置，其创新点在于：包括壳体、上封头、下封头、第一消音机构和第二消音机构；所述壳体为竖直设置的中空柱状体结构，且在其上下两端还分别贴合设有上封头和下封头，并密封整体成型；在所述壳体的内部从上至下还分别设有第二消音机构和第一消音机构，且气体从下封头进入壳体的内部，依次经第一消音机构、第二消音机构进行降噪处理后，再从上封头流出。
5.优选的，所述上封头和下封头的内表面均设有圆弧过渡面，且分别与所述壳体的内表面平滑过渡。
6.优选的，所述第一消音机构包括内丝网圈、外丝网圈、上端盖、下端盖和消音棉；所述内丝网圈和外丝网圈均为与所述壳体同轴心设置的圆柱体结构，且所述外丝网圈同轴心间隔套接在所述内丝网圈上；在所述外丝网圈和内丝网圈之间还同轴心套接设有消音棉，所述消音棉、内丝网圈以及外丝网圈的长度均相一致，且三者之间分别抵紧贴合在一起；在所述外丝网圈的上下两端还分别同轴心套接固定设有上端盖和下端盖，所述上端盖的下表面分别与所述消音棉以及内丝网圈的上端抵紧贴合，且所述下端盖的上表面分别与所述消音棉以及内丝网圈的下端抵紧贴合；在所述下端盖的下表面还同轴心贴合设有焊接座，所述焊接座为中空柱状体结构，且所述下端盖通过焊接座与所述下封头的内表面固定连接。
7.优选的，所述外丝网圈的外圆周面与所述壳体的内表面之间形成一空腔，且所述上端盖的上表面设于所述壳体的内部中间偏上位置处；气体依次经下封头、焊接座进入到内丝网圈的内部，通过消音棉进行一次降噪后，再经外丝网圈的外圆周面进入到空腔内。
8.优选的，在所述上端盖的上表面中间位置处还嵌入开设有一通孔，且所述通孔垂直贯穿所述上端盖的下表面，并与所述内丝网圈的内部连通；在所述下端盖与所述外丝网圈之间还同轴心水平贴合设有挡板，所述挡板为与所述外丝网圈相匹配的镂空状圆形结构，且分别与所述消音棉以及所述内丝网圈的下端抵紧贴合。
9.优选的，还包括保护装置，且所述保护装置包括伸缩杆、弹簧、第一弹簧盖、第二弹簧盖和垫片；在所述上端盖的通孔内还同轴心间隔套接设有伸缩杆，且所述伸缩杆的直径小于所述通孔的直径，并沿所述上端盖做竖直上下滑动；所述伸缩杆的上端竖直向上延伸出所述上端盖的上表面，且通过垫片与所述上端盖的上表面卡接，对伸缩杆的竖直向下运动进行限位；所述伸缩杆的下端朝所述内丝网圈的内部方向延伸，且在其上自上而下还同轴心依次间隔套接设有第一弹簧盖和第二弹簧盖，所述第一弹簧盖的外径大于所述通孔的直径，且其内径大于所述伸缩杆的直径，并与所述上端盖的下表面固定连接；所述第二弹簧盖与所述伸缩杆固定连接，且在所述第一弹簧盖和第二弹簧盖之间还设有弹簧，所述弹簧套接在所述伸缩杆上，且其两端分别与所述第一弹簧盖以及所述第二弹簧盖抵紧贴合，并对伸缩杆的竖直向上运动进行限位。
10.优选的，所述垫片与所述伸缩杆相匹配，且其直径大于所述通孔的直径，并与所述上端盖的上表面密封贴合。
11.优选的，通过压缩弹簧，伸缩杆向上运动将垫片顶起，气体从上端盖的通孔流出进入第二消音机构进行降噪。
12.优选的，所述第二消音机构包括数个扰流板；在所述壳体的内部靠其上端还自上而下平行间隔交错设有数个扰流板，且每一所述扰流板均设于所述上端盖的正上方；每一所述扰流板均为与所述壳体内部相匹配的扇形结构，且其弧长均为所述壳体内圆周长的四分之三；相邻所述扰流板之间的间距均为50~70mm，且分别与所述壳体的内表面固定连接；经一次降噪后的气体从空腔进入第二消音机构内，经扰流板降低流速进行二次降噪后，再从上封头流出。
13.优选的，还包括支腿和吊耳；在所述壳体的外表面偏下位置还竖直设有三个支腿，三个所述支腿呈三角形分布，且每一所述支腿的上端分别与所述壳体的外表面固定连接，并支承所述壳体；在所述上封头的上表面还左右对称竖直设有吊耳。
14.本实用新型的有益效果：
15.（1）本实用新型通过消音棉与扰流板的串联组合进行联合消音，从而提高了消音效果；
16.（2）本实用新型中上封头和下封头均设有圆弧过渡面，从而降低了气体阻力；
17.（3）本实用新型通过设置三个支腿，从而便于安装固定；
18.（4）本实用新型通过设置保护装置，不仅防止因内丝网圈内背压过大而影响真空泵工作的现象发生，还避免了因内丝网圈内压力过大而导致本装置损坏的现象发生。
附图说明
19.为了更清晰地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本实用新型一种真空泵出口用的消音装置的结构示意图。
21.图2为图1中壳体的内部结构剖视图。
22.图3为图2的另一视角示意图。
23.图4为图3中保护装置的结构示意图。
24.其中，1-壳体；2-支腿；3-内丝网圈；4-外丝网圈；5-下端盖；6-挡板；7-上端盖；8-消音棉；9-保护装置；10-上封头；11-下封头；12-扰流板；13-吊耳；14-焊接座；91-伸缩杆；92-弹簧；93-第一弹簧盖；94-垫片；95-第二弹簧盖。
具体实施方式
25.下面将通过具体实施方式对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述。
26.本实用新型的一种真空泵出口用的消音装置，包括壳体1、上封头10、下封头11、第一消音机构和第二消音机构；具体结构如图1~3所示，壳体1为竖直设置的中空柱状体结构，且在其上下两端还分别贴合设有上封头10和下封头11，并密封整体成型；其中，上封头10和下封头11的内表面均设有圆弧过渡面，且分别与壳体1的内表面平滑过渡，从而降低了气体阻力。
27.本实用新型在壳体1的内部从上至下还分别设有第二消音机构和第一消音机构，且气体从下封头11进入壳体1的内部，依次经第一消音机构、第二消音机构进行降噪处理后，再从上封头10流出；其中，第一消音机构包括内丝网圈3、外丝网圈4、上端盖7、下端盖5和消音棉8；如图1~3所示，内丝网圈3和外丝网圈4均为与壳体1同轴心设置的圆柱体结构，且外丝网圈4同轴心间隔套接在内丝网圈3上；在外丝网圈4和内丝网圈3之间还同轴心套接设有消音棉8，消音棉8、内丝网圈3以及外丝网圈4的长度均相一致，且三者之间分别抵紧贴合在一起；在外丝网圈4的上下两端还分别同轴心套接固定设有上端盖7和下端盖5，上端盖7的下表面分别与消音棉8以及内丝网圈3的上端抵紧贴合，且下端盖5的上表面分别与消音棉8以及内丝网圈3的下端抵紧贴合；在下端盖5的下表面还同轴心贴合设有焊接座14，焊接座14为中空柱状体结构，且下端盖5通过焊接座14与下封头11的内表面固定连接；其中，外丝网圈4的外圆周面与壳体1的内表面之间形成一空腔，且上端盖7的上表面设于壳体1的内部中间偏上位置处。本实用新型中气体依次经下封头11、焊接座14进入到内丝网圈3的内部，通过消音棉8进行一次降噪后，再经外丝网圈4的外圆周面进入到空腔内。
28.如图1~3所示，在上端盖7的上表面中间位置处还嵌入开设有一通孔，且通孔垂直贯穿上端盖7的下表面，并与内丝网圈3的内部连通；在下端盖5与外丝网圈4之间还同轴心水平贴合设有挡板6，该挡板6为与外丝网圈4相匹配的镂空状圆形结构，且分别与消音棉8以及内丝网圈3的下端抵紧贴合。
29.本实用新型中保护装置9包括伸缩杆91、弹簧92、第一弹簧盖93、第二弹簧盖95和垫片94；如图3、图4所示，在上端盖7的通孔内还同轴心间隔套接设有伸缩杆91，且伸缩杆91的直径小于通孔的直径，并沿上端盖7做竖直上下滑动；伸缩杆91的上端竖直向上延伸出上端盖7的上表面，且通过垫片94与上端盖7的上表面卡接，对伸缩杆91的竖直向下运动进行限位；其中，垫片94与伸缩杆91相匹配，且其直径大于通孔的直径，并与上端盖7的上表面密封贴合。
30.如图3、图4所示，伸缩杆91的下端朝内丝网圈3的内部方向延伸，且在其上自上而下还同轴心依次间隔套接设有第一弹簧盖93和第二弹簧盖95，第一弹簧盖93的外径大于通孔的直径，且其内径大于伸缩杆91的直径，并与上端盖7的下表面固定连接；第二弹簧盖95与伸缩杆91固定连接，且在第一弹簧盖93和第二弹簧盖95之间还设有弹簧92，弹簧92套接
在伸缩杆91上，且其两端分别与第一弹簧盖93以及第二弹簧盖95抵紧贴合，并对伸缩杆91的竖直向上运动进行限位。本实用新型当壳体1内的压力过大，超出其处理能力时，通过压缩弹簧92，使得伸缩杆91向上运动将垫片94顶起，然后气体从上端盖7的通孔流出进入第二消音机构进行降噪，从而防止因内丝网圈3内背压过大而影响真空泵工作的现象发生，还避免了因内丝网圈3内压力过大而导致本装置损坏的现象发生。
31.本实用新型中第二消音机构包括三个扰流板12；如图1~3所示，在壳体1的内部靠其上端还自上而下平行间隔交错设有三个扰流板12，且每一个扰流板12均设于上端盖7的正上方；每一个扰流板12均为与壳体1内部相匹配的扇形结构，且其弧长均为壳体1内圆周长的四分之三；相邻扰流板12之间的间距均为50~70mm，且分别与壳体1的内表面固定连接；本实用新型经一次降噪后的气体从空腔进入第二消音机构内，通过三个扰流板12降低流速进行二次降噪后，再从上封头10流出。
32.本实用新型在壳体1的外表面偏下位置还竖直设有三个支腿2，三个支腿2呈三角形分布，且每一个支腿2的上端分别与壳体1的外表面固定连接，并支承壳体1，从而便于安装固定；如图1所示，在上封头10的上表面还左右对称竖直设有吊耳13，从而便于起吊。
33.本实用新型的工作原理：
34.（1）气体依次经下封头11、焊接座14进入到内丝网圈3的内部，通过消音棉8进行一次降噪后，再经外丝网圈4的外圆周面进入到空腔内；然后经一次降噪后的气体从空腔进入第二消音机构内，通过三个扰流板12降低流速进行二次降噪后，再从上封头10流出；
35.（2）当内丝网圈3内的压力过大，超出其处理能力时，通过压缩弹簧92，使得伸缩杆91向上运动将垫片94顶起，然后气体从上端盖7的通孔流出进入第二消音机构进行二次降噪后，再从上封头10流出。
36.本实用新型的有益效果：
37.（1）本实用新型通过消音棉8与扰流板12的串联组合进行联合消音，从而提高了消音效果；
38.（2）本实用新型中上封头10和下封头11均设有圆弧过渡面，从而降低了气体阻力；
39.（3）本实用新型通过设置三个支腿2，从而便于安装固定；
40.（4）本实用新型通过设置保护装置9，不仅防止因内丝网圈3内背压过大而影响真空泵工作的现象发生，还避免了因内丝网圈3内压力过大而导致本装置损坏的现象发生。
41.上面所述的实施例仅仅是本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定，在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域中普通工程技术人员对本实用新型的技术方案作出的各种变型和改进均应落入本实用新型的保护范围，本实用新型的请求保护的技术内容，已经全部记载在技术要求书中。